在多晶硅制备、半导体刻蚀等工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒，除半导体的某些产品需要微粒的工艺外，一般不希望微粒混入泵油中，而希望将微粒排出泵外，干式螺杆真空泵能够满足要求。常用真空泵包括干式螺杆真空泵，水环泵往复泵，滑阀泵旋片泵，罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力，近年来，伴随着我国经济持...

山东华中真空机组主机采用液环真空泵，工作液闭式循环，需外接冷却水进行热交换，自带热交换器、汽水分离装置，与真空泵配套的所有管路、阀门、仪表、电控组装在一起提供给客户，到现场后只需接上电源线、补水管就可以使用了。由于进气口的滤网丢失或损坏，甚至转不动，由于某种原因引起电动机超负荷运转，通常习惯上把这种现象就叫“卡死”。真空泵发生卡死的原因是...

干式真空机抽气速度快，可以在较短时间内达到较高的真空度。干式真空机抽气效率高，能耗低，节约能源。干式真空机使用寿命长，维护简单，成本低。干式真空机的运行噪音低，不会对周围环境造成干扰。因此，干式真空机在许多领域得到了不少应用，如航空航天、半导体制造、光学仪器、食品包装等。它的优势可以提高工作效率，降低成本，保证产品质量，深受客户的喜爱和支...

干式爪式真空泵有哪些特点：无油无水节能环保，减少了生产时的噪音，减少了维护保养次数时间，提高了生产效率，提升了生产车间的洁净。在反应时，少不了腐蚀性气体，颗粒、除尘器等，气体中含不含可凝蒸气。如果气体中含有蒸气了解被抽气体成分，选择真空泵时，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等，如冷凝器，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备。需要知道气体成分，针...

蒸汽冲洗就是一种去除残余压缩气体物质的有效方法。如果积聚残余压缩物质时，请确保干式螺杆式真空泵不会给电机旋转产生太大压力。特别是对一些活泼性的物质，如低聚物、单体、聚合物、树脂等正确冲洗加以去除，有很好的效果。罗茨真空泵和干式螺杆真空泵相似的地方主要体现在应用领域上，它们都可以用在真空冻干、电力电子行业、光伏太阳能、薄膜蒸发、抽高温气体、...

并在泵体两侧引入冷却气体对转子进行冷却，这样的结构，完成了罗茨真空泵可在大气压下直接运行，可以单独操作，单独直排大气时，气冷式罗茨真空泵的及限压力大泵在1×10^4Pa左右，串联可拥有更低的及限压力，工作压差可达到88kPa左右。真空泵的工作原理是利用机械、物理、化学或物理化学的方法，对被抽容器进行抽气，从而在这个封闭空间中改善、产生和维...

立式无油真空机组是由真空机组和前级泵串联组成的真空机组，一般抽真空极限可达到真空度2帕到8帕。打开中间泵和主泵循环冷却水进出口阀门，确保循环冷却进出水正常，关闭水冲泵缓冲罐排污阀门，启动水冲泵，待运行正常（电机及泵发出噪声均衡）后，缓慢开启前级水冲泵旁通管道上的阀门和罗茨真空泵进气阀门。待罗茨立式无油真空机组系统压力达到中间泵设定的允许进...

在减少污染物排放的同时，也符合了化工生产的需要。随着国内外真空技术的不断发展与真空产品的不断更迭，真空获得设备将提升化工产品质量，助力化工企业高效、节能生产。罗茨水环真空机组选用水环泵作为前级泵比其它真空泵更为有利，它克服了单台水环泵使用时极限压力差（机组的压力比水环泵有很大的提高），在一定压力下抽气速率低的缺点，同时保留了罗茨泵能迅速工...

可选用两级泵，当真空泵所需的真空度或气体压力不高时。如果对真空度或排气压力要求较高，能够优先在单级泵当选与，即要求性能直线在较高真空度时较仄坦，如果然空度要求在－710mmHg以上，在较高真空度状况下仍有较大气质。罗茨真空机组在一般情况下，选用水环泵作为前级泵比其它真空泵更为有利，这主要是由于它能够抽除大量的可凝性蒸汽，特别是当气镇油封机...

水环除起“液体活塞”作用，还有散热(对缩压过程)，密封(叶轮与配气板之间)冷却(轴封件)等作用。因此泵的工作转速(对应一定的水环厚度)实际工作水温和配气孔布置是几个主要影响因素，对抽气量、工作效率和压缩比(包括可达真空度)起决定性作用。罗茨真空泵具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵，此泵不可以单独抽气，前级需配油封、水环等可直排大...

经组合使用的真空泵，我们称之为真空泵机组，它能使真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵，由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求，例如，在一般情况下罗茨-旋片机组不适用于含有较多可凝性气体的系统，两个转子之间的间隙不会因自动轴的扭转变形大而扭转。故使转子之间的间隙在运行历程中平均，这样自动转子轴的扭转变形小，真...

干式螺杆真空泵是技术含量非常高的科技产品，主要应用于纯净的真空工艺过程，真空度极高，可适应恶劣工况，具有抽取凝性、含颗粒物气体的能力，特别适宜于洁净环境，且易做防腐处理。将混有水的机械泵油中止处置，离心式分别器或油水分别器，装油分别器，处置过的油再流入泵中运用起开始，山东华中真空设备在稳定的产品品质基础上，为客户提供更多保障，解除客户使用...