光斑尺寸参数的测试方法是通过接收散射光信号计算光斑直径大小。在测试中,需要将激光束投射到被测物体表面,然后接收散射光信号并计算光斑直径大小。另外,也可以对被测物体表面进行切割并利用显微镜观察光斑直径大小的方法进行测试 。这些测试方法可以有效地对光斑尺寸进行精确测量,从而确保位移传感器的测量精度和可靠性。光斑尺寸参数的定义和测试是激光位移传... 【查看详情】
非球面中心偏差的测量手段主要包括接触式(百分表)和非接触式(光学传感器)。文章基于自准直定心原理和光谱共焦位移传感技术,对高阶非球面的中心偏差进行了非接触精密测量。光学加工人员根据测量出的校正量和位置方向对球面进行抛光,使非球面透镜的中心偏差满足光学系统设计的要求。由于非球面已加工到一定精度要求 ,因此对球面的抛光和磨削是纠正非球面透镜中... 【查看详情】
线性色散设计的光谱共焦测量技术是一种利用光谱信息进行空间分辨的光学技术。该技术利用传统共焦显微镜中的探测光路,再加入一个光栅分光镜或干涉仪等光谱仪器,实现对样品的空间和光谱信息的同时采集和处理。该技术的主要特点在于,采用具有线性色散特性的透镜组合,将样品扫描后产生的信号分离出来,利用光度计或CCD相机等进行信号的测量和分析,以获得高分辨率... 【查看详情】
在半导体行业中 ,激光位移传感器是一种非常重要的工具。半导体芯片是现代电子设备中基础的组成部分,因此制造高质量的半导体芯片对于电子工业来说至关重要。然而,由于半导体芯片尺寸非常小,其制造和生产过程需要高度精确的控制和测量。激光位移传感器被广泛应用于半导体芯片的生产过程中,可以用于半导体芯片的位置测量和精密加工控制。在半导体生产的测量和控制... 【查看详情】
高像素传感器的设计取决于对焦水平和图像室内空间NA的要求。同时,在光谱共焦位移传感器中,屏幕分辨率通常采用全半宽来进行精确测量。高NA可以降低半宽,提高分辨率。因此,在设计超色差摄像镜头时,需要尽可能提高NA。高图像室内空间NA可以提高传感器系统的灯源使用率,并允许待测表面在相对大的角度或某些方向上倾斜。但是,同时提高NA也会导致球差扩大... 【查看详情】
激光位移传感器在精密制造行业中有着广泛的应用。如在汽车制造中,激光位移传感器可以用于测量车身的变形和尺寸,确保汽车的质量和安全性能。在航空航天制造中,激光位移传感器可以用于测量航空器件的尺寸和变形,以及机翼的形状和弯曲度。在微电子制造中,激光位移传感器可以用于测量芯片的尺寸和形状,确保芯片的质量和性能。因此 ,激光位移传感器在精密制造行业... 【查看详情】
在纳米量级薄膜的各项相关参数中,薄膜材料的厚度是薄膜设计和制备过程中的重要参数,是决定薄膜性质和性能的基本参量之一,它对于薄膜的力学、光学和电磁性能等都有重要的影响[3]。但是由于纳米量级薄膜的极小尺寸及其突出的表面效应,使得对其厚度的准确测量变得困难。经过众多科研技术人员的探索和研究,新的薄膜厚度测量理论和测量技术不断涌现,测量方法实现... 【查看详情】
本章介绍了基于白光反射光谱和白光垂直扫描干涉联用的靶丸壳层折射率测量方法。该方法利用白光反射光谱测量靶丸壳层光学厚度,利用白光垂直扫描干涉技术测量光线通过靶丸壳层后的光程增量,结合起来即可得到靶丸的折射率和厚度数据。在实验数据处理方面,为解决白光干涉光谱中波峰位置难以精确确定和单极值点判读可能存在干涉级次误差的问题,提出了利用MATLAB... 【查看详情】