白光干涉在零光程差处,出现零级干涉条纹,...
激光位移传感器在精密制造行业中有着***的...
薄膜是一种特殊的二维材料,由分子、原子或...
激光位移传感器在新能源光伏等行业应用范围...
基于白光干涉法的晶圆膜厚测量装置,其...
激光三角测量是一种成熟的测量方法 ,具...
激光位移传感器是一种常见的工业生产中使用...
为了分析白光反射光谱的测量范围 ,开展了...
目前,常用的显微干涉方式主要有Mirau...
干涉测量法是基于光的干涉原理实现对薄膜厚...
常用白光垂直扫描干涉系统的原理:入射的白...
微纳制造技术的发展推动着检测技术进入微纳...