企业商机
半导体晶圆基本参数
  • 品牌
  • SUMCO,ShinEtsu,SK
  • 型号
  • 8inch,12inch
  • 类型
  • 元素半导体材料
  • 材质
  • 用途
  • 测试
  • 特性
  • 半导体
  • 电阻率
  • 电阻率1-100
  • 产地
  • 中国台湾日本韩国
  • 规格尺寸
  • 150-300
  • 颜色
  • 乳白色
半导体晶圆企业商机

    并且不同规格的花篮无法同时进行作业,**降低了生产的效率。技术实现要素:本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术不足,提供一种半导体晶圆湿法清洗治具,可适用于不同尺寸不同形状晶圆,且可实现多层同时清洗。本实用新型具体采用以下技术方案解决上述技术问题:一种半导体晶圆湿法清洗治具,该治具包括提把和一组平放花篮;所述提把沿竖直方向均匀设置有一组连接端口;所述平放花篮由圆形底盘和设置在圆形底盘边缘的一圈镂空侧壁组成,圆形底盘上设置有一组通孔,在所述镂空侧壁的外缘设置有至少一个连接端子,所述连接端子与提把上的任一连接端口相配合可使得平放花篮可拆卸地固定于提把上对应于该连接端口的位置。推荐地,圆形底盘上的所述通孔均匀分布。推荐地,该治具还包括一组竖直挡板;所述平放花篮的镂空侧壁内缘及相应位置的圆形底盘上设置有一系列用于固定所述竖直挡板的卡槽,竖直挡板与相应的卡槽配合可将平放花篮内的空间划分为不同角度的扇形空间。进一步推荐地,所述竖直挡板上设置有一组通孔。推荐地,所述一组平放花篮中包括多个具有不同半径圆形底盘的平放花篮。推荐地,所述提把的上端带有挂钩。相比现有技术。中硅半导体半导体晶圆现货供应。河北半导体晶圆好选择

    所述第二螺杆57的外周上螺纹连接设有螺套58,所述螺套58与所述第四连杆54之间铰接设有第五连杆56,通过所述第二螺杆57的间歇性正反转动,可使所述螺套58间歇性升降移动,进而可使所述第五连杆56带动所述第四连杆54间歇性往返左右移动,从而可使所述移动块53带动所述海绵52间歇性往返左右移动,则可使所述海绵52在所述切割片50上升时向所述切割片50移动并抵接,以及在所述切割片50下降时向所述移动腔13方向打开,通过所述冷却水腔14内的冷却水,可保证所述海绵52处于吸水状态。另外,在一个实施例中,所述传动腔55的上侧开设有皮带腔60,所述皮带腔60的底壁上转动设有竖轴12,所述第二螺杆57向上延伸部分伸入所述皮带腔60内,所述第二螺杆57与所述竖轴12之间传动连接设有皮带传动装置59,所述竖轴12向下延伸部分伸入所述动力腔26内,且其底面固设有***齿轮20,位于所述动力腔26内的所述***螺杆17外周上固设有第二齿轮19,所述第二齿轮19与所述***齿轮20啮合,通过所述第三电机25的运转,可使所述***螺杆17带动所述竖轴12往返转动,进而可使所述皮带传动装置59传动来动所述第二螺杆57往返转动。另外,在一个实施例中,所述夹块49分为上下两部分。河北半导体晶圆咸阳12英寸半导体晶圆代工。

    非脉冲模式)时晶圆上的通孔或槽确定没有被清洗干净;第四步是采用sems或元素分析工具如edx检测以上五片晶圆的通孔或槽内的可追踪的残留物状态。步骤一至步骤四可以重复数次以逐步缩短时间τ2直到观察到通孔或槽内的可追踪残留物。由于时间τ2被缩短,气泡的体积无法彻底缩小,从而将逐步堵塞图案结构并影响清洗效果,这个时间被称为临界冷却时间τc。知道临界冷却时间τc后,时间τ2可以设置为大于2τc以获得安全范围。更详细的举例如下:***步是选择10个不同的时间τ1作为实验设计(doe)的条件,如下表3所示的τ10,2τ10,4τ10,8τ10,16τ10,32τ10,64τ10,128τ10,256τ10,512τ10;第二步是选择时间τ2至少是10倍的512τ10,在***屏测试时**好是20倍的512τ10,如表3所示;第三步是确定一功率p0分别在具有特定的图案结构的晶圆上运行以上10个条件,此处,p0为运行连续模式(非脉冲模式)时晶圆上的通孔或槽确定没有被清洗干净;第四步是使用表3所示的上述条件处理等离子刻蚀后的10片具有通孔或槽的晶圆,选择等离子刻蚀后的晶圆的原因在于刻蚀过程中会在槽和通孔侧壁产生聚合物,这些位于通孔底部或侧壁上的聚合物难以用传统方法去除。

    所述有机胺为二乙烯三胺、五甲基二乙烯三胺、多乙烯多胺、乙胺、二乙胺、三乙胺、三丙胺,N,N-二甲基乙醇胺、N,N-甲基乙基乙醇胺、N-甲基二乙醇胺和三乙醇胺一种或多种。所述有机羧酸选自丙二酸、草酸、乙二胺四乙酸盐和柠檬酸中的一种或者多种。所述胍类为四甲基胍、碳酸胍、醋酸胍、3-胍基丙酸、聚六亚甲基胍和对胍基苯甲酸。所述清洗液的pH值为2~5。与现有技术相比,本发明的有益效果是:本发明的清洗液能有效***金属污染物的残留问题,同时对金属和非金属的腐蚀速率较小,有效改善了一般氟类清洗液不能同时控制金属和非金属腐蚀速率的问题,提高化学清洗质量;对残留物的清洗时间明显缩短,效率提高;由于不存在强氧化剂,清洗液放置稳定,使用安全。具体实施方式下面将结合本发明实施例,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例**是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。实施例1一种用于半导体晶圆等离子蚀刻残留物的清洗液。天津12英寸半导体晶圆代工。

    也不限定这些芯片采用同一种剖面设计,更不限定使用同一种基板结构。在执行晶圆级芯片封装时,可以根据同一片晶圆上所欲切割的芯片的设计,来对该片晶圆执行特定的制程。请参考图15所示,其为根据本申请一实施例的晶圆制作方法1500的前列程示意图。图15所示的晶圆制作方法1500可以是晶圆级芯片封装方法的一部分。该晶圆级芯片封装方法可以是先在一整片晶圆上进行制作、封装与测试,然后经切割后,再将芯片放置到个别印刷电路板的过程。本申请所欲保护的部分之一是在封装测试之前,针对于基板结构的制作方法。当然本申请也想要保护一整套的晶圆级芯片封装方法。图15的晶圆制作方法1500所作出的芯片,可以包含图3~14所述的各种基板结构与剖面。请再参考图16a~16j,其为根据本申请实施例的晶圆制作过程的各阶段的剖面示意图。图16a~16j的各图是针对晶圆当中的某一个芯片来绘制。在说明图15的各步骤时,可以参考图16a~16j的各图。本领域普通技术人员可以理解到虽然图16a~16j是针对一个芯片的剖面进行绘制,但可以根据晶圆的设计,普遍地适用于整个晶圆。另外,在图16a~16j当中,主要是针对基板结构1000来绘制。但本领域普通技术人员可以理解到。浙江12英寸半导体晶圆代工。石家庄半导体晶圆

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该晶圆层320的该***表面321与第二表面322的**小距离可以是**大距离的一半。换言之,该晶圆层320的电阻值约略是该晶圆层120的一半。在另外的实施例当中,该***表面321与第二表面322的**小距离与**大距离的比值,可以是其他小于100%的比例。如此,在芯片的边缘处具有较厚的晶圆层320,但是降低在芯片中间有半导体元器件之处的晶圆厚度。此外,可以在降低该晶圆层320中间的电阻值的同时,可以维持芯片结构强度,降低工艺过程中的器件失效。在一实施例当中,该芯片边缘较厚的晶圆层320,其左右的宽度可以介于50~200um之间。本领域普通技术人员可以理解到,可以根据该芯片所实作的半...

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