天水标准半导体晶圆

    在晶圆15010上形成具有间距w的图案结构15034。在空化过程中形成的一些气泡15046位于图案结构15034的间距内。参考图15b所示，随着气泡气穴振荡的继续，气泡15048内的气体和/或蒸汽的温度升高，这导致气泡15048的尺寸增大。当气泡15048的尺寸大于间距w时，如图15c所示，气泡气穴振荡的膨胀力会损坏图案结构15034。因此，需要一种新的晶圆清洗工艺。如图15c所示，由气泡膨胀引起的损伤点可能小于由气泡内爆引起的损伤点，如图4b所示。例如，气泡膨胀可能会导致100nm量级的损伤点，而气泡内爆会导致更大的损伤点，1μm量级的损伤点。图15d揭示了根据本发明的一个实施例的晶圆清洗工艺的流程图。该晶圆清洗工艺从步骤15210开始，将超声波或兆声波装置置于晶圆的上表面附近。在步骤15220中，将清洗液，可以是化学液或掺了气体的水喷射到晶圆表面以填满晶圆和声波装置之间的间隙。在步骤15230中，卡盘携带晶圆开始旋转或振动。在步骤15240中，频率为f1及功率水平为p1的电源被应用于声波装置。在步骤15250中，在气泡的尺寸达到间距w的值之前，设置电源输出为零，由于清洗液的温度远低于气体的温度，所以气泡内气体和/或蒸汽的温度开始冷却。在步骤15260中。国外半导体晶圆产品品质怎么样？天水标准半导体晶圆

    结构500所包含的该金属层510的第四表面514并不是像该结构400所包含的该金属层310的第四表面314一样是平面。第四表面514的剖面相应于该金属层的第三表面513的剖面。该金属层510的第四表面514与该晶圆层320的***表面321的**短距离，要小于该金属层310的第四表面314与该晶圆层320的***表面321的**短距离。由于该结构500的金属层510的大部分比该结构400的金属层310的大部分较薄，因此可以节省金属本身的成本，也可以节省制作该金属层510的步骤的成本。请参考图5b所示，其为根据本申请一实施例的半导体基板的结构500的剖面示意图。图5b所示的实施例是图5a所示实施例的一种变形。和图5a的金属层510相比，图5b所示实施例的金属层510比较厚。图5b所示实施例的其余特征均与图5a所示实施例相同。请参考图6所示，为根据本申请一实施例的半导体基板的结构的剖面600的一示意图。该结构的剖面600可以是图3所示结构300的aa线剖面，也可以是图4所示结构400的aa线剖面，还可以是图5b所示结构500的bb线剖面。为了方便说明起见，图6所示的实施例是图3所示的结构300，因此使用了金属层310与晶圆层320的符号。但本领域普通技术人员可以理解到，剖面600可以适用于结构400或500。洛阳半导体晶圆好选择半导体晶圆定制价格？

    请参考图10a所示，其为根据本申请一实施例的半导体基板的结构1000的剖面示意图。和图9所示的实施例不同之处，在于该结构1000包含了金属层1010与树酯层1040。为了减薄在边框结构与内框结构之间的金属层810，可以在上述区域中使用较厚的树酯层1040来替换掉金属层1010的金属。和图9所示的结构900相比，该金属层1010的第四表面1014与该晶圆层820的***表面821的**短距离，要小于该金属层810的第四表面与该晶圆层820的***表面的**短距离。由于该结构1000的金属层1010的大部分比该结构900的金属层810的大部分较薄，因此可以节省金属本身的成本，也可以节省制作该金属层810的步骤的成本。请参考图10b所示，其为根据本申请一实施例的半导体基板的结构1000的剖面示意图。图10b所示的实施例是图10a所示实施例的一种变形。和图10a的金属层1010相比，图10b所示实施例的金属层1010比较厚。图10b所示实施例的其余特征均与图10a所示实施例相同。请参考图11a所示，其为根据本申请一实施例的半导体基板的结构的剖面1100的一示意图。该结构的剖面1100可以是图8a所示结构800的cc线剖面，也可以是图9所示结构900的cc线剖面，还可以是图10b所示结构1000的dd线剖面。为了方便说明起见。

    其为根据本申请一实施例的晶圆1400的一示意图。除了下列的不同之处以外，先前有关于晶圆1300的叙述都可能可以套用在晶圆1400的实施例上。晶圆1400包含了三种不同形状或尺寸的芯片，分别是芯片1310、1420与1430。在一实施例中，这三个芯片1310~1430可以是同一种设计的芯片。换言之，这三个芯片1310~1430可以包含上述基板结构300~1200当中的其中一种。或者说整个晶圆1300所包含的所有芯片都包含同一种基板结构。在另一实施例当中，这三个芯片1310~1430可以是不同种设计的芯片。也就是说，这三个芯片1310~1330可以包含上述基板结构300~1200当中的其中两种或三种。换言之，整个晶圆1400的多个芯片包含两种以上的基板结构。举例来说，芯片1310可以包含基板结构500，芯片1420可以包含基板结构900，芯片1430可以包含基板结构400。在另一范例中，芯片1310可以包含基板结构300，芯片1420可以包含基板结构800。图14所示的芯片也可以包含图6、7、11、12分别所示的四种剖面600、700、1100与1200。换言之，本申请并不限定同一个晶圆上的任两颗芯片使用相同的剖面。从图13与14所示的晶圆1300与1400当中可以得知，本申请并不限定同一晶圆上的芯片是否都具有同一尺寸与形状。半导体晶圆推荐厂家..

    半导体制造领域普通技术人员可以理解到，本申请并不限定是哪一种环氧树酯。该树酯层440可以用于保护该结构400的金属层310，并且降低物理应力与热应力的影响，进而保护器件。该树酯层440包含彼此相对的一第五表面445与一第六表面446，该第五表面445与该金属层310的第四表面314彼此相接或相贴。因此，该第五表面445与该第四表面314的形状彼此相应。在一实施例当中，该树酯层440的该第五表面445与该第六表面446的距离可以介于50~200um之间。在图3与图4的实施例当中，在芯片中间的金属层310比较厚。由于金属层310的金属价格比树酯层440的树酯还要贵，制作较厚金属层310的步骤也比制作树酯层440的步骤更贵。如果在设计规格允许的情况下，可以制作较薄的金属层310，以便减少成本。请参考图5a所示，其为根据本申请一实施例的半导体基板的结构500的剖面示意图。和图4所示的结构400相比，该结构500依序包含了半导体组件层130、晶圆层320、金属层510、和树酯层540。图5a所示的结构500所包含的各组件，如果符号与图4所示的结构400所包含的组件相同者，则可以适用图4所示实施例的叙述。和图4所示的结构400相比。半导体晶圆推荐货源.?天津半导体晶圆

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    目的是使得气泡内气体和/或蒸汽的温度降至接近室温t0。图12a-12b揭示了根据本发明的另一个实施例的声波晶圆清洗工艺。本实施例的声波晶圆清洗工艺与图10a-10c所示的实施例的差异*在步骤10050。在本实施例的声波晶圆清洗工艺中，在时间段τ2内，电源的频率增至f2，功率水平p2基本上等于功率水平p1。图13a-13b揭示了根据本发明的另一个实施例的声波晶圆清洗工艺。本实施例的声波晶圆清洗工艺与图10a-10c所示的实施例的差异*在步骤10050。在本实施例的声波晶圆清洗工艺中，在时间段τ2内，电源的频率增至f2，功率水平从p1降至p2。图14a-14b揭示了根据本发明的另一个实施例的声波晶圆清洗工艺。本实施例的声波晶圆清洗工艺与图10a-10c所示的实施例的差异*在步骤10050。在本实施例的声波晶圆清洗工艺中，在时间段τ2内，电源的频率从f1增至f2，功率水平从p1增至p2。由于频率f2高于频率f1，因此，声波能量对气泡的加热不那么强烈，功率水平p2可略高于功率水平p1，但是不能太高，以确保在时间段τ2内，气泡内气体和/或蒸汽的温度降低，如图14b所示。图15a至图15c揭示了在声波清洗晶圆的过程中，稳定的气穴振荡损伤晶圆上的图案结构。参考图15a所示。天水标准半导体晶圆

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