半导体芯片超纯水设备。半导体芯片用水主要在于前端晶棒硅切片冷却用水,基板晶圆片检测清洗用水,中段晶圆片溅镀、曝光、电镀、光刻、腐蚀等工艺清洗,后段检测封装清洗。LED芯片主要是前段在MOCVD外延片生长用水,中段主要在曝光、显影、去光阻清洗用水,后段检测封装用水。同时,半导体行业对TOC的要求较高。设备优点:采用反渗透作为预处理再配上离子交换其特点为初投次比采用离子交换树脂方式要高,但离子再生周期相对要长,耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。但对环境还有一定破坏性。 超纯水设备生产厂家怎么选?找硕科,实力水处理设备生产厂家。去离子超纯水设备系统
锂电池行业用超纯水包括蓄电池生产用超纯水,锂电池生产用超纯水,太阳能电池生产用超纯水,蓄电池格板用超纯水。电池中电解液的配备对纯水要求十分严格,通常要求水的电导率在(电阻率在10兆欧姆)以上,传统用来制备电池用超纯水的工艺是常采用阴阳树脂交换设备,该工艺的缺点在于阴阳树脂在使用一段时间以后要经常再生。随着工业膜分离技术的不断成熟,现在常常采用反渗透膜法水处理工艺,或者是采用一级反渗透后面再经过离子交换混床(或电去离子EDI)工艺来制取超纯水。本纯水系统设计结合化工行业用纯水的要求,制定适合在锂电池行业使用的纯水系统。锂电池行业制备超纯水的工艺大致分成以下几种工艺:1、采用离子交换方式流程如下:市政自来水→源水增压泵→多介质过滤器→精密过滤器→阳树脂交换床→阴树脂交换床→混合树脂胶换床→微孔过滤器→超纯水用水点2、采用反渗透+混床方式流程如下:市政自来水→源水增压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透主机→中间水箱→增压泵→混床→微孔过滤器→超纯水用水。 大型超纯水设备维护保养内容硕科工业超纯水设备具备高效、稳定的生产能力,提高生产效率。
多晶硅超纯水设备主要用在多晶硅片清洗中,多晶硅片,半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于去除表面污染杂质,包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态,有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。有机污染包括光刻胶、有机溶剂残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等,严重影响少数载流子寿命和表面电导;碱金属如钠等,引起严重漏电,颗粒污染包括硅渣、尘埃、细菌、微生物、有机胶体纤维等,会导致各种缺陷。针对多晶硅加工工艺需求和当地水源情况,可采用工艺流程:ASS+UF+1RO+2RO+EDI+SMB或MMF+ACF+1RO+2RO+EDI+SMB工艺流程,硕科环保采用国内先进设计理念,确保系统设备产水达到标准。
动力电池超纯水设备。动力电池即为工具提供动力来源的电源,多指为电动汽车、电动列车、电动自行车、高尔夫球车提供动力的蓄电池。其主要区别于用于汽车发动机起动的起动电池。多采用阀口密封式铅酸蓄电池、敞口式管式铅酸蓄电池以及磷酸铁锂蓄电池。在动力电池的生产工艺制程中,电池的正负极匀浆,电池电解液的配置,电池注液盖帽后的成品清洗,均需要用到超纯水。设备优点;采用离子交换树脂其优点在于初投资少,占用的地方少,但缺点就是需要经常进行离子再生,耗费大量酸碱,而且对环境有一定的破坏。其优点在于初投资少,占用的地方少,但缺点就是需要经常进行离子再生,耗费大量酸碱,而且对环境有一定的破坏。 在工业生产中,超纯水设备的选择和应用直接影响到生产效率和经济效益。
太阳能电池片超纯水设备。太阳能电池片的生产工艺流程分为硅片检测--表面制绒及酸洗--扩散制结--去磷硅玻璃--等离子刻蚀及酸洗--镀减反射膜--丝网印刷--快速烧结等。在去磷硅玻璃工艺用于太阳能电池片生产制造过程中,通过化学腐蚀法也即把硅片放在氢氟酸溶液中浸泡,使其产生化学反应生成可溶性的络和物六氟硅酸,以去除扩散制结后在硅片表面形成的一层磷硅玻璃。在扩散过程中,POCL3与O2反应生成P2O5淀积在硅片表面。P2O5与Si反应又生成SiO2和磷原子,这样就在硅片表面形成一层含有磷元素的SiO2,称之为磷硅玻璃。去磷硅玻璃的设备一般由本体、清洗槽、伺服驱动系统、机械臂、电气控制系统和自动配酸系统等部分组成,主要动力源有氢氟酸、氮气、压缩空气、纯水,热排风和废水。氢氟酸能够溶解二氧化硅是因为氢氟酸与二氧化硅反应生成易挥发的四氟化硅气体。若氢氟酸过量,反应生成的四氟化硅会进一步与氢氟酸反应生成可溶性的络和物六氟硅酸。 石墨烯新材料超纯水设备生产厂家。大型超纯水设备维护保养内容
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超纯水设备技术特点1、第一种采用离子交换树脂其优点在于初投资少,占用的地方少,但缺点就是需要经常进行离子再生,耗费大量酸碱,而且对环境有一定的破坏。2、第二种采用反渗透作为预处理再配上离子交换设备,其特点为初投次比采用离子交换树脂方式要高,但离子设备再生周期相对要长,耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。但对环境还是有一定的破坏性。3、第三种采用反渗透作预处理再配上电去离子(EDI)装置,这是目前制取超纯水比较经济,环保用来制取超纯水的工艺,不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水,对环境没什么破坏性。其缺点在于初投资相对以上两种方式过于昂贵。超纯水设备应用场合1.半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;2.超纯材料和超纯化学试剂;3.实验室和中试车间4.汽车、家电表面抛光处理。 去离子超纯水设备系统
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