所述一多孔磁性层对含硫气体具有明显的吸附作用，防止含硫气体造成的传感器中毒现象。附图说明为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图**是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本实用新型实施例提供的mems催化燃烧传感器的结构示意图；图2是mems催化燃烧传感器的加工流程示意图。其中，图中各附图标记为：100-一薄膜部分；200-第二薄膜部分；300-一多孔磁性层；101-硅基底；102-一氮化硅薄膜层；103-一氧化硅薄膜层；104-一加热敏感电阻层；105-第三氧化硅薄膜层；106-第三氮化硅薄膜层；107-第五氮化硅薄膜层；202-第二氮化硅薄膜层；203-第二氧化硅薄膜层；204-第二加热敏感电阻层；205-第四氧化硅薄膜层；206-第四氮化硅薄膜层；207-贵金属催化层。具体实施方式下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的。EX-6165红外二氧化碳传感器 带有红外传感器的二氧化碳/ CO 2传感器/变送器；山东传感器制造商
EX-5150-MOS使用MOS传感器。这些传感器的响应特性范围很广。可以使用不同类型的MOS传感器，这些传感器可以针对特定的气体进行优化，但是它们本质上是非特定的。MOS传感器可以提供与经典催化珠或热线传感器类似的监视功能，但是可以针对多种烃和有机溶剂的％LEL或ppm检测水平进行校准。MOS传感器还可用于检测某些常见的无机有害气体，包括氨（NH3），一氧化碳（CO），硫化氢（H2S）等。MOS传感器的工作温度低于催化性磁珠/热线传感器，从而使其更不容易中毒。因此，MOS传感器是存在铅，磷酸盐或含硫化合物的应用中的优先传感器。在各种油，润滑剂，胶粘剂和许多其他产品中使用的有机硅会毒化热线传感器，并在某些条件下影响MOS传感器的性能。产品亮点：固态MOS传感器三个警报LED24VDC，4-20毫安NEMA4X。 重庆传感器代理美国enmet进口气体传感器价格；
我国目前危化品生产流通过程中，出现了一些危险品仓库存放监管不合格、不合理的地方，前些年发生的危化品新闻层出不穷，每想起4年前天津港812危化品仓库重大火灾事件（死亡112人），都感到触目惊心。近几年，通过大力针对危化品仓库进行严格的管控和整改，这类事件相对发生率在明显下降，不过还是存在很多安全问题的，而传感器技术的运用，特别是针对各类毒性气体、可燃气体传感器的安装和使用，实现实时监控，从而能降低危化品仓库的安全问题。危化品仓库配备可燃气体传感器，搭建信立无线数据采集监控系统，保证全天候实时监控。化工厂的安全生产和设备质量、机械密封的保障对环境的影响和周围居民的正常生活有很大的影响，化工厂事件的发生原因包括人、机器设备、物质材料、环境等各个方面，但是设备密封性能不好导致气体泄漏，引发是众多化工厂容易忽视的原因之一。设备密封水平有待提高，易燃易爆气体传感器监测也很重要。一旦超出气体监测的下限，必须立即通风排气，疏散人员。事件现场的救助人员必须佩戴相关呼吸防护设备。对于危化品仓库防爆防火灾防治。
催化燃烧式和半导体式气体传感器的优缺点催化燃烧式传感器是白金电阻表面制备耐高温催化剂层，一定温度下，可燃性气体其表面催化燃烧，燃烧是白金电阻温度升高，电阻变化，变化值是可燃性气体浓度函数。催化燃烧式气体传感器选择性检测可燃性气体：凡是可以燃烧，都能够检测；凡是不能燃烧，传感器都没有任何响应。当然，"凡是可以燃烧，都能够检测"这一句有很多例外，总来讲，上述选择性是成立。催化燃烧式气体传感器计量准确，响应快速，寿命较长。传感器输出与环境危险直接相关，安全检测领域是一类主导位传感器。缺点：可燃性气体范围内，无选择性。暗火工作，有引燃危险。大部分元素有机蒸汽对传感器都有中毒作用。目前这种传感器主要供应商中国、日本、英国（发明国）！目前中国是这种传感器比较大用户，也拥有比较好传感器生产技术，尽管不断有各种各样代理商宣传上干扰社会对这种传感器认识，毕竟，催化燃烧式气体传感器主流制造商国内。苏州热测催化燃烧式气体传感器产品推荐：美国ENMET催化燃烧式可燃气体传感器- SE-5175产品介绍一、催化燃烧式可燃气体传感器 SE-5175描述： SE-5175-D00是催化燃烧式的气体传感器，可以检测%LEL水平的氢气。EX-5175 电化学气体传感器 用于H 2，O 2，CO，H 2 S和其他有害气体的防爆远程气体监测传感器变送器；
EX-6165是24VDC，4-20mA传感器/变送器，并且具有ATEX和IECEx认证的防爆等级，可在危险区域使用。它由环氧漆铝制变送器外壳组成，用于电子设备，支持液晶显示器，两个警报和故障继电器，以及不锈钢外壳中的红外传感器。产品亮点：红外线感应器内部报警继电器24VDC，4-20毫安两个进/出口液晶显示器非侵入式校准认证防爆显示：LCD传感器类型：红外线菜单/校准：4键，磁力操作电压：24VDC供电输出：4-20mA湿度范围：5至90％rH，无凝结温度范围：-4至+140°F（-20至+60°C）继电器触点额定值：3Amps，300VAC重量：（2公斤）IP等级：外壳IP68；传感器IP65二氧化碳红外传感器燃气范围二氧化碳CO20-2,000ppm二氧化碳CO20-5,000ppm二氧化碳CO20-10,000ppm二氧化碳，CO20-2％（体积）。二氧化碳，CO2按体积计为0-5％。二氧化碳CO20-10至0-100。 美国enmet进口气体传感器高精度；山东传感器制造商
CD-1300-ST： CO2C传感器 二氧化碳传感器/变送器；山东传感器制造商
高温退火(>900℃)处理来释放应力。氮化硅薄膜层和氧化硅薄膜层通过应力测试(张应力和压应力抵消)，其挠曲度较小，约为80～100mpa。在腐蚀硅基底后，**硅基底的部分结构后，桥面不会塌陷。步骤s03中，在氧化硅薄膜层上溅射沉积加热敏感电阻层，刻蚀加热敏感电阻层，得到一薄膜部分100和一薄膜部分200；可采用现有常规工艺进行沉积和刻蚀；通过刻蚀加热敏感电阻层，调整其阻值，在进行催化燃烧反应时，反应时间短，响应迅速，恢复时间短，恢复迅速。作为本实用新型一具体实施例，可以采用vecoo设备进行pt铂溅射。对所述加热敏感电阻层进行刻蚀时，可以通过增粘处理，显影，刻金出图形，具体为：hmds(六甲基乙硅氮烷)作增粘处理，正胶甩胶，采用像面分割，覆盖比较大芯片面积的单次曝光区作为**小成像单元，波长是3650～4358埃，实际分辨率约为1微米；tmah((tetramethylammoniumhydroxide，四甲基氢氧化铵)显影后，采用80℃的质量浓度为10％koh碱性溶液，去胶；在120℃下烘干10分钟；刻金出图形，sf6六氟化硫作为刻蚀气体，内衬温度120℃，内管温度100℃，气管温度35℃，腔室温度60℃。所述步骤s04中，一薄膜部分200的加热敏感电阻层上设置贵金属氧化层207。山东传感器制造商
热测测试技术(苏州)有限公司成立于2017-06-12，注册资本：500-700万元。该公司服务型的公司。是一家私营有限责任公司企业，随着市场的发展和生产的需求，与多家企业合作研究，在原有产品的基础上经过不断改进，追求新型，在强化内部管理，完善结构调整的同时，优良的质量、合理的价格、完善的服务，在业界受到***好评。公司目前拥有***员工11~50人人，具有[ "空气弹簧减振器", "减振垫", "盐雾箱", "气体检测仪" ]等多项业务。苏州热测以创造***产品及服务的理念，打造高指标的服务，引导行业的发展。
