MEMS 动态测试技术，因其能够测试 MEMS 三维运动，分析 MEMS 动态特 性、材料特性以及机械力学参数等关键数据，已成为 MEMS 测试技术的重要组 成部分。而研究如何在 MEMS 运动过程中记录瞬间运动状态，并恢复 MEMS 表 面的离面运动历程，则是 MEMS 动态测试技术实现离面运动测量的关键，因而 必须解决。 本文在充分调研的基础上，结合频闪成像技术和相移显微干涉技术，建立了 MEMS 离面运动测试系统，提出新的用于恢复离面运动信息的双向相位展开算 法，并实现对微谐振器离面运动的测量。显微镜选什么样的隔振系统好？江苏ZEISSS显微镜隔振
随着科学技术的发展和人类社会的进步,人们对各类高精尖技术领域振动的控制要求也日趋严格。各种振动很大程度上限制着超精密仪器的性能发挥,例如扫描探针显微镜(SPM)在加工检测时易受到外界干扰。尤其在各类高.分辨率测量场合和超精密加工制造过程更是如此,因此开展对超精密仪器隔振技术研究具有非常重要的理论意义和实用价值。本论文课题源自于国家自然科学基金资助项目“弹性浮动研磨新技术及其金刚石研磨应用研究”()和广东省科技计划项目“超微量基因注射检测装置开发”(),目的在于解决普通实验室下SPM易受到外界干扰而影响其纳米检测过程抗干扰能力的问题,在此基础上进行了主被动隔振相结合的混合隔振研究。 安徽基恩士电镜显微镜主动消磁减振如何解决试验中显微镜的振动问题；
以金属橡胶隔振构件疲劳试验数据为基础,将柱-块摩擦样品表面刻槽以嵌入并固定钢丝,在SRV高温摩擦磨损试验机上评价φ0.3 mm的冷拉拔1Cr18Ni9不锈钢钢丝在不同载荷下的微动摩擦磨损性能,用激光扫描共焦显微镜对其磨痕表面进行分析.结果表明:冷拉拔不锈钢丝的表面粗糙度Ra值为3.447μm;在磨损初期阶段,需要约28s打磨其表而的凹凸体;由不锈钢丝"微动单元"的摩擦曲线可以将其磨损过程划分为表面打磨、接触面黏着、第三体床形成以及稳定磨损4个阶段,其中稳定磨损阶段的摩擦系数相对平稳,磨痕表面光滑程度高于基体的原始表面,磨痕深度介于50～60μm之间.
一种基于原子力显微镜(AFM)的微注射量检测的新方法,设计聚酯悬臂感应结构,利用原子力显微镜具有纳米级高度分辨率的特点,对聚酯悬臂在注射微滴重力作用产生的挠度进行检测,达到微滴量检测的目的。通过改进检测装置隔震系统的阻尼器结构,抑.制影响微滴检测过程的低频扰动因素。对30pl内的微注射量进行检测试验。文章提出了基于原子力显微镜(AFM)的悬臂感应微注射滴量检测方法，微滴质量的检测结果不受流体粘度等性质影响。检测原理是设计低弹性系数的悬臂，微注射液体加载到其上，产生挠曲，通过AFM探针对悬臂挠曲进行监测，从而将微滴量转化为AFM扫描管电压的偏移量，实现微滴质量检测的目的。本研究首先设计了微注射针拉制装置与压力注射机构，以获取检测对象(微液滴)，并对注射针驱动进给机构设计进行实验分析。在数学分析与实验测试的基础上，对悬臂上的微滴注射位置与AFM探针检测位置进行了优化选择。 扫描探针显微镜主动隔振解决办法；
超滤作为典型的膜分离技术在环保、医疗、食品、生物和污水处理等领域具有重要的应用价值,超滤膜是其中的关键器件。超滤膜的表面形貌和抗污性是直接影响分离效率和使用寿命的两个重要指标。本文针对实际应用需求,结合扫描探针显微镜(SPM)技术,在真空和大气环境下对超滤膜的表面形貌和抗污性的表征机理和方法进行了系统研究,提出了解决现有表征技术存在问题的多种思路和方法。这对于超滤膜的研制、生产和加工具有重要的指导意义。论文的主要工作和创新点包括:1.研究和探索了超滤膜表征理论和方法,提出了基于超高真空扫描隧道显微镜的超滤膜表面形貌表征方法和基于大气环境下原子力显微镜的超滤膜抗污性表征方法,并就实验结果对影响抗污性的多种因素进行了对比和分析。2.研究了适用于超滤膜特性表征的超高真空扫描隧道显微镜系统,设计了新型隧道电流提取电路和反馈控制电路,提高了隧道电流的采样准确度,设计了测头部分、样品加持装置和弹簧─阻尼隔振系统的机械结构,编写了实时数据采集和图像处理软件,**终实现了超滤膜形貌信息的拾取。实验研究了超高真空环境下超滤膜表面形貌的表征方法。3.提出了修饰不同蛋白的AFM探针弹性系数的可溯源标定方法。 主动隔振系统可抵消尼康显微镜的有害振动。天津日立显微镜显微镜隔振装置
蔡司显微镜的隔振解决方案；江苏ZEISSS显微镜隔振
提出了一种基于加权邻域相关性的显微镜自动聚焦函数,并在研究显微镜聚焦原理及成像过程的基础上,分析了显微镜图像中像素邻域灰度相关性及像散现象对聚焦评价的影响。首先,分别计算每幅显微镜序列图像中各像素与其四邻域像素的灰度相关性。然后,计算基于此相关性加权平均值的二次多项式聚焦函数,其中的权值则根据对应像素与显微镜视场中心的距离来确定。,选取该函数值比较大的图像为聚焦图像。实验结果表明,与经典的聚焦函数(如方差函数、***梯度函数、Roberts梯度函数及Tenengrad函数)相比,本文方法的聚焦灵敏度因子提高了。该方法能够准确地评价图像聚焦的程度,并具有较高的灵敏度和较强的抗噪性。 江苏ZEISSS显微镜隔振
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