如图1所示，控制装置80统一控制搬运系统100。控制装置80通过无线或者有线的通信控制悬挂式起重机30以及高架搬运车50的动作。此外，控制装置80也可分为控制悬挂式起重机30的控制装置、和控制高架搬运车50的控制装置。另外，悬挂式起重机30用的控制装置可以以存储库区域10a为单位分开地配置，也可统一控制多个存储库区域10a、10b。另外，控制高架搬运车50的控制装置也可以控制在规定区域内行驶的多个高架搬运车50。如图1～图3所示，连结轨道60a连结存储库区域10a的起重机轨道20与高架搬运车轨道40的机架间轨道43。另外，第二连结轨道60b连结存储库区域10b的起重机轨道20与高架搬运车轨道40的第二机架间轨道44。起重机用行驶部31能够在以及第二连结轨道60a、60b行驶。悬挂式起重机30的起重机用行驶部31能够经由连结轨道60a从起重机轨道20进入高架搬运车轨道40，并行驶到其它存储库区域10b。另外，起重机用行驶部31能够经由第二连结轨道60b从高架搬运车轨道40进入起重机轨道20行驶。搬运车用行驶部51能够在以及第二连结轨道60a、60b行驶。此外，以及第二连结轨道60a、60b的与起重机用行驶部31的行驶方向正交的平面的剖面与起重机轨道20以及高架搬运车轨道40相同或者大致相同。惠山区长途商铺搬运报价哪家好，诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。锡山区学校商铺搬运打包
是在装载端口lp的上方不设置保管部220，在、第二处理装置tl1、tl2与、第二处理装置tl1、tl2之间(或者装载端口lp与装载端口lp之间)设置保管架80的结构。例如，也可以是在图1所示的处理装置tl1与处理装置tl1之间、或者第二处理装置tl2与第二处理装置tl2之间(或者装载端口lp与装载端口lp之间)设置保管架80的结构。根据该结构，与上述相同地，能够将在、第二处理装置tl1、tl2间(装载端口lp间)产生的空间作为保管区域有效地活用。这样，通过配置保管部220、和具备保管部320的保管架80，在搬运系统100中，能够容易地使物品2的保管数量增大。此外，在搬运系统100中，保管部220或者保管架80的设置数量能够任意地设定。以上，对实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述的说明，在不脱离本发明的主旨的范围内能够进行各种变更。例如，在上述的搬运系统100中，也可以在高架搬运车50的移动路径中配置储料机(自动仓库)等。储料机例如可以设置于区段间顶棚轨道13和第二区段间顶棚轨道14中的任一方或者双方。高架搬运车50可以能够针对该储料机的交接端口进行物品2的交接，例如，能够在储料机与、第二交接端口30a、30b之间搬运物品2。另外，在法律法规允许的范围内。徐州长途商铺搬运收费梁溪区写字楼商铺搬运报价哪家好，诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。
在半导体制造工厂等制造工厂中，配置有保管收纳半导体晶圆的foup或者收纳中间掩膜的中间掩膜盒等物品的存储库。存储库具备用于在多个保管架与交接口之间移载物品的起重机。作为该起重机公知有在被配置于顶棚的轨道上行驶的悬挂式起重机，为了提高物品的移载效率，提出了两种悬挂式起重机在共用的轨道上行驶的构成(例如，参照文献1)。文献1：国际公开第2016/178347号对于文献1所记载的存储库，两种悬挂式起重机虽在共用的轨道上行驶，但其行驶范围被限制在配置了存储库的一个存储库区域内。因此，在使该悬挂式起重机向其它的存储库区域移动时，或者为了维护而使悬挂式起重机向维护区域移动时，需要从轨道取下并搬运悬挂式起重机。但是，从轨道取下悬挂式起重机的作业麻烦且费事，作业者的负担大。并且，由于使用特殊的搬运设备搬运已取下的悬挂式起重机，所以不仅成本提高，而且存在搬运也需要时间这样的问题。技术实现要素：本发明目的是提供一种能够容易地使悬挂式起重机在存储库区域内与规定区域之间移动而不使用特殊的搬运设备的搬运系统以及搬运方法。本发明的搬运系统具备：被配置于存储库区域内的存储库。
但通过与上述相同的动作能够将物品2也在保管区域sa1与其他保管区域之间、或者在第二保管区域sa2与其他保管区域之间进行搬运。另外，载置于其他保管区域的交接端口的物品2被存在于该保管区域的起重机搬运至保管部或者处理装置的装载端口这点如上所述。如上所述，根据本实施方式所涉及的搬运系统100，、第二起重机40a、40b能够边行驶边使、第二升降台43a、43b升降，因此与必须在停止后使保持部53升降的高架搬运车50相比，物品2的移送所需要的时间更短，能够使区段内(、第二保管区域sa1、sa2内)的物品2的搬运效率提高。并且，通过、第二起重机40a、40b进行区段内的物品2的搬运，从而能够使物品2的保管数量增加。另外，高架搬运车50不具有、第二起重机40a、40b的、第二桅杆42a、42b那样的垂下的部件，能够比、第二起重机40a、40b更快移动，因此通过高架搬运车50进行区段间(例如保管区域sa1与第二保管区域sa2之间)的物品2的搬运，从而能够在短时间内搬运物品2。这样，将、第二起重机40a、40b与高架搬运车50的作用分开，由此能够使搬运系统100整体的物品2的搬运效率提高。另外，将区段内顶棚轨道11由起重机40a与高架搬运车50共享。滨湖区货车商铺搬运报价哪家好，诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。
搬运系统100在配置于、第二装置区域ta1、ta2的、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp、以及后述的、第二保管部20a、20b、、第二交接端口30a、30b之间搬运物品2。、第二处理装置tl1、tl2例如是曝光装置、涂布显影装置、制膜装置、或者蚀刻装置等，对收容于搬运系统100所搬运的物品2的半导体晶圆实施各种处理。各、第二处理装置tl1、tl2分别具备两处装载端口lp。图2是表示、第二处理装置tl1、tl2和装载端口lp的一个例子的图。在图2中表示从+x侧观察、第二处理装置tl1、tl2和装载端口lp的情况的一个例子。如图1和图2所示，处理装置tl1在设定于制造工厂等的地板部的装置区域ta1内沿一个方向(y方向)排列配置。第二处理装置tl2在第二装置区域ta2内沿一个方向(y方向)排列配置。、第二装置区域ta1、tl2分别沿x方向配置多个。沿y方向排列的多个、第二处理装置tl1、tl2沿x方向设置多列。此外，多个、第二处理装置tl1、tl2的配置是一个例子，也可以是其他配置。另外，并不限定于、第二处理装置tl1、tl2具备两处装载端口lp，也可以具备一处或者三处以上。另外，在制造工厂等中配置用于暂时保管物品2的、第二保管区域sa1、sa2。保管区域sa1与处理装置tl1对应设置。惠山区写字楼商铺搬运报价哪家好，诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。徐州写字楼商铺搬运公司
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所述存储库具备：在上下方向设置多层来保管物品的保管部、用于交接物品的交接口、沿着保管部以及交接口设置的起重机轨道、沿着起重机轨道行驶的起重机用行驶部、从起重机用行驶部垂下的桅杆、以及具有被桅杆引导地升降的物品移载部并且在保管部与交接口之间搬运物品的悬挂式起重机；高架搬运车轨道，其被设置于存储库区域之外，沿着交接口以及处理装置的装载端口延伸至规定区域；高架搬运车，其具有沿着高架搬运车轨道行驶的搬运车用行驶部、以及保持并升降物品的物品保持部，并且在交接口与装载端口之间搬运物品；以及连结轨道，其连结起重机轨道与高架搬运车轨道，起重机用行驶部能够从起重机轨道通过连结轨道进入高架搬运车轨道，在高架搬运车轨道行驶至规定区域，或者能够从规定区域进入高架搬运车轨道行驶至连结轨道，通过连结轨道进入起重机轨道而在起重机轨道行驶。另外，起重机轨道、高架搬运车轨道、以及连结轨道的与起重机用行驶部行驶的方向正交的剖面形状也可相同或者大致相同。另外，起重机用行驶部与搬运车用行驶部也可具备共用的车轮以及供车轮安装的行驶部主体。另外，高架搬运车在从停止状态开始基于搬运车用行驶部的行驶时。锡山区学校商铺搬运打包
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