入口部15a形成供高架搬运车50从区段间顶棚轨道13向区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12行驶的路径。出口部15b形成供高架搬运车50从区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12向区段间顶棚轨道13行驶的路径。第二连接轨道16与连接轨道15相同地,具有入口部16a和出口部16b作为两个轨道。入口部16a形成供高架搬运车50从第二区段间顶棚轨道14向区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12行驶的路径。出口部16b形成供高架搬运车50从区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12向第二区段间顶棚轨道14行驶的路径。此外,在本实施方式中,示出连接轨道15与第二连接轨道16是同一形状或者大致同一形状的例子,但连接轨道15与第二连接轨道16也可以是不同的形状。如图1所示,保管部20a和交接端口30a配置于保管区域sa1。如图1所示,第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二保管区域sa2。保管部20a和交接端口30a配置于区段内顶棚轨道11的下方且侧方。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二区段内顶棚轨道12的下方且侧方。保管部20a和交接端口30a配置于在区段内顶棚轨道11能够通过后述的起重机40a和高架搬运车50进行物品2的交接的范围。梁溪区学校商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。江苏公司商铺搬运公司电话
在半导体制造工厂等制造工厂中,为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运,提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如,参照文献1)。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口,但由于在不同的轨道行驶,因此需要与高架搬运车和起重机对应地,分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此,存在不仅对轨道的设置花费成本,需要用于铺设各轨道的空间,而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应,因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素:本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本,并且分担高架搬运车与起重机的作用,由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备:区段内顶棚轨道,其从处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着处理装置的装载端口设置;第二区段内顶棚轨道。江阴企业商铺搬运费用滨湖区长途商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。
具体实施方式以下,参照附图对实施方式进行说明。在以下的各图中,使用xyz坐标系对图中的方向进行说明。在该xyz坐标系中,将铅直方向设为z方向,将水平方向设为x方向、y方向。x方向是水平方向内的一个方向,是沿着后述的区段间顶棚轨道13和第二区段间顶棚轨道14的方向。y方向是与x方向正交的方向,是沿着区段内顶棚轨道11的直线部11a、和第二区段内顶棚轨道12的直线部12a的方向。另外,关于x、y、z方向的各方向,适当地将与箭头相同一侧称为+侧(例如,+x侧),将其相反侧称为-x侧(例如,-x侧)。图1是表示本实施方式所涉及的搬运系统100的一个例子的俯视图。图1所示的搬运系统100例如设置于半导体设备的制造工厂等,对收容有在半导体设备的制造中使用的半导体晶圆的foup、或者收容有中间掩模等的中间掩模盒等物品2进行搬运。在本实施方式中,使用物品2是foup的例子来进行说明,但物品2也可以是除foup以外的物品。另外,搬运系统100也能够应用于除半导体制造领域以外的设备,物品2可以是由用于设置搬运系统100的设备处理的各种物品。在本实施方式中。
所述存储库具备:在上下方向设置多层来保管物品的保管部、用于交接物品的交接口、沿着保管部以及交接口设置的起重机轨道、沿着起重机轨道行驶的起重机用行驶部、从起重机用行驶部垂下的桅杆、以及具有被桅杆引导地升降的物品移载部并且在保管部与交接口之间搬运物品的悬挂式起重机;高架搬运车轨道,其被设置于存储库区域之外,沿着交接口以及处理装置的装载端口延伸至规定区域;高架搬运车,其具有沿着高架搬运车轨道行驶的搬运车用行驶部、以及保持并升降物品的物品保持部,并且在交接口与装载端口之间搬运物品;以及连结轨道,其连结起重机轨道与高架搬运车轨道,所述搬运方法包含以下步骤:使起重机用行驶部从起重机轨道通过连结轨道进入高架搬运车轨道,在高架搬运车轨道行驶至规定区域,或者使起重机用行驶部从规定区域进入高架搬运车轨道行驶至连结轨道,通过连结轨道进入起重机轨道而在起重机轨道行驶。根据本发明的搬运系统以及搬运方法,通常沿着存储库区域内的起重机轨道行驶并且在存储库区域内在保管部与交接口之间移载物品的悬挂式起重机能够根据需要,通过连结轨道以及高架搬运车轨道移动到存储库区域外的规定区域。根据该结构。梁溪区货车商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。
起重机用行驶部31以及搬运车用行驶部51均能在起重机轨道20以及高架搬运车轨道40行驶。这样,起重机用行驶部31以及搬运车用行驶部51是共用的结构,所以不需要以与起重机用行驶部31及搬运车用行驶部51不同的其他结构进行制造,能够减少悬挂式起重机30以及高架搬运车50的制造成本。此外,可以由一台悬挂式起重机30使用多台(例如两台)起重机用行驶部31。根据该结构,能够经由桅杆32适当地保持作为重量物的载置部39以及物品2等。起重机用行驶部31以及搬运车用行驶部51具备共用的车轮71a以及供车轮71a安装的行驶部主体71b。多个车轮71a分别与起重机轨道20或者高架搬运车轨道40的下方的内表面抵接。供多个车轮71a安装的行驶部主体71b具备用于驱动车轮71a的行驶驱动部、或者各种传感器。起重机轨道20以及高架搬运车轨道40具备供电部70。供电部70具有供电导轨75、以及被设置于供电导轨75的非接触供电线76。供电部70被配置于起重机轨道20以及高架搬运车轨道40的下方,沿着起重机轨道20以及高架搬运车轨道40连续地或者断续地设置。另外,在悬挂式起重机30的安装部36以及高架搬运车50的安装部52a设置有受电部73。受电部73经由非接触供电线76而受电,向行驶部主体71b等供给电力。惠山区学校商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。学校商铺搬运费用
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供人员或者其他设备通过2.可以局部移动,以临时腾开公共空间供第三方使用3.可以提升到一定高度,将公共资源空间让出来供第三方使用不好扩展离散式的搬运系统,如果效率箱想进一步提升,或者接驳方式要改变,可以通过增加单体离散搬运设备数量和改造装载方式即可实现。而对于连续性搬运设备而言,却很难实现。借鉴离散型搬运系统中由单个搬运设备组成的特点,可以将连续搬运设备采用模块化的设计。总结:一个完整的自动化仓储物流系统,不会只由一种搬运形式所组成,往往是由多个离散式搬运子系统和连续式搬运子系统利用各自的优势和特点实现整个系统的功能。目前某些前沿的面向未来的厂内物流自动化技术在研究如何将离散和连续各自的优势结合到一起形成既有柔性、机动性,又能高搬运效率的综合搬运系统。比如配置有滚筒的智能搬运小车,为了提高搬运效率,可以自行拼接成连续搬运的滚筒输送线。再比如德国研发的Celluveyor,使输送机不再是固定的一成不变的输送装置,而是采用模块化的设计,使其更加灵活,搬运路径和方式可变。另外,以上的讨论的搬运都是建立在以电机驱动的形式下而展开的,实际应用中的搬运也有通过气动的方式来搬运的。江苏公司商铺搬运公司电话
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