影响无尘室的气流因素很多,如制程设备、人员、无尘室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部分的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。无尘室内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少比较低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。 无尘室内的气流是左右无尘室性能的重要因素。四川百级无尘室方案
高 效过滤器的安装密封是空气净化的关键,也是长期以来的一个难点。过滤器安装后的检漏是很难通过的一项检验,许多洁净室的不成功就是因为密封没做好,即使洁净度达标,其捡漏也未必达标。这在其他洁净室可能不是大问题,但在制药行业的生物洁净室泄漏就意味着生菌,所以密封对生物洁净室来说是关键中的关键。 目前常用的密封方式有: 负压密封:效果很好。FFU是其典型**。 机械压紧:效果一般。高 效送风口采用较多。 液槽密封:效果好,但施工难度较大。往往因施工影响其密封效果。郴州万级无尘室无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。
复合式无尘室为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易;B.维修设备时可在维修区轻易执行。⑵洁净管道(CleanTube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为**适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。⑶并装局部无尘室(CleanSpot):将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
由于生产的产品各不相同,其原料在物理性和化学性方面的差别也很大,对环境和人的身体产生不同程度的伤害。我们要处理的多数是化学性方面的性质,如有毒原料,挥发性、刺激性、腐蚀性气体原料等。这就要求生产车间的通风工程根据实际情况有着科学的设计。 洁净区的风速、尘埃粒子数、菌落数根据空调系统操作规程,定时监测。温湿度通过温湿度传感器对不符合要求的温湿度进行室外监控记录,达到及时调节的目的。以制药厂的三苯精烘包结晶间为例,风量的压强差经过风量的调节使其平衡基本保持恒定,因为这里和工艺走廊相比要求维持一个相对负压,当各级过滤器出现阻挡和栓塞的情况时,可以适当调节送风量变频,改变送风机的频率,增大压头,克服过滤器的栓塞的情况时,可以适当调节送风量变频,改变送风机的频率,增大压头,克服过滤器的栓塞阻力,保证房间的送风量,保证结晶间的压差,从而达到净化的目的。进入无尘室严禁吸烟,吃(饮)食,外来杂物(如报章,杂志,铅笔...等)不可携入,并严禁嘻闹奔跑及团聚谈天。
无尘室价格、无尘室工程、无尘室厂家、无尘室装修无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。无尘室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。如表所示。 无尘室该怎么清洁呢?湖南万级无尘室施工
无尘室的适用范围很广,只要洁净要求比较高的都会用到。四川百级无尘室方案
有关推荐或参考值的应用无尘室内一定洁净度下气流速度的确定,随无尘室用途等具体情况而异,它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响,就工业无尘室工程而言,影响洁净度及选择气流速度的因素主要是:(1)无尘室内污染源:建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源,根据具体情况而异,变化很大;(2)无尘室内气流流型及分布:单向流要求均匀、平等的流线,但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流;而非单向流要求充混合,避免死角及温度分层;(3)自净时间(恢复时间)的控制要求:无尘室中事故释放或带入污染物。
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