复合式无尘室为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易;B.维修设备时可在维修区轻易执行。⑵洁净管道(CleanTube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为**适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。⑶并装局部无尘室(CleanSpot):将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。 空气由空调箱经风管与无尘车间内的空气过滤器(HEPA)进入无尘室，并由无尘车间两侧隔间墙板或高架地板回风。江门1000级无尘室施工
无尘室是污染控制的基础。没有无尘室，污染敏感零件不可能批量生产。那么无尘室是由哪几个部分组成的呢？无尘室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一完整且品质良好的无尘室:⑴天花板系统包括吊杆、纲梁、天花板格子梁。⑵空调系统包括空气舱、过滤器系统、风车等。⑶隔墙板包括窗户、门。⑷地板包括高架地板或防静电地板、以及环氧自流平及滚涂地面。⑸照明器具包括日光灯、黄色灯管等。⑹无尘室之建筑主体构造，这个一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如下之条件:A.不会因温度变化与振动而发生裂痕;B.不易产生微尘粒子，且很难附着粒子;C.吸湿性小;D.为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高。成都万级无尘室方案对无尘室 C/R 而言，较严格要求的部分为地板、天花板，以及墙壁的部分。
21世界，产业的发展，加速了产业结构的变革，无尘室设立之必要性也相对地提高。商品日渐的小型化和精密化，尘埃和温湿的变化对商品的完成度亦造成极大的危害，导致品质低下。伴随商品的***要求，环境无尘化的需求也日益提高。因此在无尘室中用防尘材料及商品都显得格外重要。所谓的无尘室是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路的级数的快速成长，也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求，在工业上即使使粒子之尺寸想小于。优于纳米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断地增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。
简易无尘室通常都是建在无尘车间内，所以不需要考虑风淋室、传递窗以及空调送风系统，成本与无尘车间比较会有很大降低，当然这与简易无尘室所需材料、大小以及洁净级别有一定的关系。会将简易无尘室建在无尘室之内，但有的客户不想单独建无尘车间，在简易无尘室不考虑空调系统及风淋室、传递窗等净化设备的情况下，简易无尘室的成本约是无尘车间造价的40%~60%，这取决于客户对简易无尘室材料的选择，以及简易无尘室的大小。需要洁净的区域越大，简易无尘室与无尘车间的成本相比差别会越小。
无尘室是一个非常干净的房间。
乱流式洁净室是空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板进行回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级千级至-十万级。 优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室扩充比较容易； 缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再***，欲需达到设定要求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间进行自净。 无尘室的等级分类及应用标准；清远百级无尘室方案
无尘室日常管理需要注意的问题；江门1000级无尘室施工
根据《建筑设计防火规范》要求及工艺生产中的使用原料性质，涂布生产线厂房属戊类火灾危险性生产厂房。涂装净化车间运行时基本处于正压状态，简单来说即气流方向向外，排气处理要科学。洁净室都处于封闭状态，密闭性好，人流通道，物流通道复杂曲折，一旦发现火警，疏散，扑救均较困难，要科学设置消防通道。同时，由于火源热量不易散发，因此室内的升温快，易扩大火灾面。 目前，《洁净厂房设计规范》对洁净室内疏散走道，装修材料及耐火极限作了严格的规定，对排风系统防火，防爆措施，防火阀设置，防排烟措施，消防给水，自动喷淋都作了具体规定. 工业涂布废气处理要能有效去除工厂车间产生的入苯、甲苯、二甲苯，醋酸乙酯，乙醇，丙烯酸，甲醛等有机废气。涂布无尘车间建设，对洁净室的防排烟系统的施工必须遵照有关规定认真实施，特别要注意的是防排烟的布管及预埋件必须与建筑专业相配合，同步进行，确保不漏项。 无尘车间广泛应用于特种产品的生产加工，是优化产品质量的前提。江门1000级无尘室施工
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