无尘室工程的换气次数及风速规定,根据我国洁净厂房设计规范(GB 50073-2001)规定不同级别的非单向流无尘室工程、洁净室工程、无菌室工程等送风量的计算所需的换气次数以及无尘室工程的气流速度/换气次数,一直是无尘室工程设计中受到关注的问题,随着无尘室污染源的控制效果增加及末端过滤器效率的提高等,对有关规范、导则等提出的推荐或参考值是否偏于保守,已有不少讨论;FFU在应用中人们担心的噪音、损坏维修等问题已在实践中得到解决,随着FFU的不断改进,对是否采用FFU回风系统也是个热点:悬浮分子污染(AMC)的控制在微电子及IC工业中已日益提到日程上来,受到关注无尘室能防止微尘粒子之产生。佛山10万级无尘室安装
如果我们要建造一个简易的无尘室需要按照以下步骤酌情进行:首先第一步要确定无尘室的具体环境参数,根据业主的用途,可能包括但不仅限于洁净度、温湿度、细菌数量、风速、气流分布要求等等。然后找专业的设计师进行工程设计,同时做好相应的报建、消防备案等行政审批工作。第二步再寻找专业的洁净室施工企业,根据图纸报价,并组织竞标。第三步就是签订施工合同,施工方准备好材料进行施工。完工之后进行测试,验收。无尘室就可以正式投入使用了。
郴州百级无尘室方案无尘室日常管理需要注意的问题;
复合式无尘室为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易;B.维修设备时可在维修区轻易执行。⑵洁净管道(CleanTube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为**适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。⑶并装局部无尘室(CleanSpot):将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
影响无尘室的气流因素很多,如制程设备、人员、无尘室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部分的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。无尘室内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少比较低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。 尘室目前是半导体工业、生物医药行业不可或缺的重要设施,其主要的作用是控制产品所接触空气环境的洁净度。
无尘室温湿度控制方法:
1、无尘室温湿度维护管理。
①无尘室适当之正压保持(>0.5mmAq),做好施工工程之不漏气,人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作,空气过滤器适当的管理和设置。
②隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘控制、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室专门使用器等。
2、室内发尘不积留。
墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。
3、发生尘埃排除。
换气次数应足够,适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。
无尘室施内禁止吸烟、食物或喝水,并在明显的位置警示所有进出人员。清远100000级无尘室安装
无尘室有什么用途呢?佛山10万级无尘室安装
洁净室的主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。佛山10万级无尘室安装
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