复合式无尘室为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易;B.维修设备时可在维修区轻易执行。⑵洁净管道(CleanTube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为**适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。⑶并装局部无尘室(CleanSpot):将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。 无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级。河源100000级无尘室咨询
洁净室的主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。清远无尘室无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
万级无尘室，亦称为无尘室或清净室。在FED-STD-2里面，无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。世界各国均有自定规格，但普遍依据美国联邦颁布的标准【FederalStandard(FS)209E,1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为μm，例如，1级、10级、100级无尘室比较大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是μm，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。
主要的无尘室设备包括风机过滤网装置、风淋室及传递箱。风机过滤网装置共同形成一个净化无尘室室内空气的特别的逻辑控制风扇系统。风淋室旨在于物体进入无尘室之前，透过高压及大流量空气将该物体吹洗及冲洗乾净。传递箱旨在透过互锁装置在无尘室和非无尘室的环境之间传递产品。这些设备均是旨在避免运作中的无尘室设施免受污染及干扰的设备。
无尘室的主要终端用户行业为半导体、电子、医药、医院及医疗保健等，其中半导体行业以及医药及医疗保健行业为无尘室设施市场的主要驱动力。 无尘室的清洁有什么要求？
根据国际标准ISO 14644-6以及我国国家标准GB/T 25915-6'洁净室及相关受控环境“和”洁净厂房设计规范“G 50073-2001中名词解释，无尘室就是”室内空气中的悬浮粒子（灰尘、微生物......）浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生和滞留粒子。同时，还要根据不同生产工艺的要求对室内的温度、湿度、压力、静电、振动、噪声等各种参数也要进行控制的房间。无尘室已普遍应用于电子制造、光学光电、印刷包装、日化行业、生物制药等各行各业。并用，随着科学技术和国民经济的迅猛发展，洁净室和洁净技术的应用将越来越普遍、越深入、越重要。尘室目前是半导体工业、生物医药行业不可或缺的重要设施，其主要的作用是控制产品所接触空气环境的洁净度。吉安十万级无尘室
对无尘室 C/R 而言，较严格要求的部分为地板、天花板，以及墙壁的部分。河源100000级无尘室咨询
简易无尘室通常都是建在无尘车间内，所以不需要考虑风淋室、传递窗以及空调送风系统，成本与无尘车间比较会有很大降低，当然这与简易无尘室所需材料、大小以及洁净级别有一定的关系。会将简易无尘室建在无尘室之内，但有的客户不想单独建无尘车间，在简易无尘室不考虑空调系统及风淋室、传递窗等净化设备的情况下，简易无尘室的成本约是无尘车间造价的40%~60%，这取决于客户对简易无尘室材料的选择，以及简易无尘室的大小。需要洁净的区域越大，简易无尘室与无尘车间的成本相比差别会越小。
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