无尘室的定义：空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除，而得到一个相当洁净的环境。也就是这个环境中的微尘粒子相当少，称之为洁净室。洁净室被普遍地应用在对环境污染特别敏感的行业，例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药行业等，其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内，才不会对制程产生影响。作为生产设施，洁净室可以占据厂房很多位置。无尘室系统制造符合规格之洁净空气，连续且稳定供给足够之洁净空气于使用端，洁净室内的制造区。以下由立净简单介绍洁净室的处理流程：外气经由外气空调箱初步过滤微尘并控制其温湿度后，经由回风管道间，将洁净室之循环风量与外气空调箱之补充风量混合，经由冷却盘管将回风管道间之回风降温至净室要求之规格，通过循环风扇或FFU带动洁净室的气流循环带走微尘及热量，后经过超高性能过滤网或过滤后，供应至Fab区。无尘室的适用范围很广，只要洁净要求比较高的都会用到；河源1000级无尘室方案
无尘室环境在线监控系统功能：（1）远程控制：可在控制室通过计算机进行远程实时监控及设定报警，数据储存，报告编辑,打印输出；（2）声光报警：报警系统具有采样流量报警、通讯失败报警、数值超标报警、硬件故障报警等多种报警功能，以声、光等方式进行报警提醒，以保证系统长期安全、稳定地运行；（3）粒子监测功能：通过WCH-R80粒子计数器（、，，内置真空泵）用以监测空气中的粒子数；（4）流量监测功能：监测每一台粒子监控设备的运行流量，并提供流量是否运行正常的状态，如设定点流量+/-10％时提供报警信息反馈；（5）连续监测功能：在无菌环境中工作的粒子计数器可以24小时进行连续的监测工作，并内置流量监控；（6）在线浮游菌检测功能：通过外置气泵收集浮游在空气中的生物性粒子于专门的培养基，经流量传感器测得采样量提供的采样流量可达。实现无菌灌装区内不干扰采样，外置取盘行动方案。（7）温湿度、压差、风速监测功能：监测布置点位的实时温湿度、压差、风速数据。深圳十万级无尘室咨询无尘室内的气流是左右无尘室性能的重要因素。
简易无尘室通常都是建在无尘车间内，所以不需要考虑风淋室、传递窗以及空调送风系统，成本与无尘车间比较会有很大降低，当然这与简易无尘室所需材料、大小以及洁净级别有一定的关系。会将简易无尘室建在无尘室之内，但有的客户不想单独建无尘车间，在简易无尘室不考虑空调系统及风淋室、传递窗等净化设备的情况下，简易无尘室的成本约是无尘车间造价的40%~60%，这取决于客户对简易无尘室材料的选择，以及简易无尘室的大小。需要洁净的区域越大，简易无尘室与无尘车间的成本相比差别会越小。
复合式无尘室为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易;B.维修设备时可在维修区轻易执行。⑵洁净管道(CleanTube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为**适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。⑶并装局部无尘室(CleanSpot):将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。 在制药和生物工学工业，无尘室的墙壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止滤过性的病毒或细菌的污染之特性。
无尘室温湿度控制方法：
1、无尘室温湿度维护管理。
①无尘室适当之正压保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏气，人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作，空气过滤器适当的管理和设置。
②隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘控制、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室专门使用器等。
2、室内发尘不积留。
墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。
3、发生尘埃排除。
换气次数应足够，适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。
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无尘室的厂家发展趋势。河源1000级无尘室方案
无尘室洁净工作台普遍应用于医疗卫生、制药、生化实验、电子、精密仪器、仪表等行业，并提供无菌无尘洁净环境的局部净化设备。
洁净工作台使用时的操作流程：
1.新安装或长期未使用的工作台，使用前用超净真空吸尘器或不产生纤维的物品认真进行清洁工作。
2.接通电源，使用前应提前15~30 分钟同时开启紫外灯和风机组工作。
3.当需要调节风机风速时，用工作台操作面板上的风速调节钮进行调节。风机、照明均由批示灯指示其工作状态，工作时，发光。
4.工作台面上禁止存放不必要的物品，以保持工作区的洁净气流不受干扰。
5.禁止在工作台面上记录书写，工作时应尽量避免作明显扰动气流的动作；禁止在预过滤进风口部位放置物品，以免挡住进风口造成进风量减少，降低净化能力。
6.使用结束后，用消毒液清理工作台面后打开紫外灯，15~30 分钟后关闭紫外灯，关闭洁净台电源。
7.长期不使用的工作台请拨下电源插头。
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