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    其包含轴、与所述轴连动的马达转子、具有使所述马达转子旋转的定子芯的马达定子、每3相至少分成第1线圈组和第2线圈组这两个系统且用3相交流电对所述定子芯进行励磁的多个线圈组、以及在内侧收纳所述马达转子、所述马达定子和所述多个线圈组的筒状的壳体；电子控制装置，其是为了对所述电动马达进行驱动控制而设置的，包含设于所述轴的靠负载相反侧的端部的磁体、以及位于所述轴的负载相反侧且配置在所述轴的轴向的延长线上的电路基板；第1线圈布线，其将所述第1线圈组和所述电路基板连接起来；以及第2线圈布线，其将所述第2线圈组和所述电路基板连接起来，所述电路基板具有：检测电路，其包含对所述磁体的旋转进行检测的磁传感器；第1电力电路，其包含向所述第1线圈组供给电流的多个电子元器件；第2电力电路，其包含向所述第2线圈组供给电流的多个电子元器件；以及控制电路，其包含对所述第1电力电路和所述第2电力电路中的至少一者所供给的电流进行控制的电子元器件，所述第1线圈布线和所述第2线圈布线均具有：第1部位，其在与所述轴的轴向交叉的方向上突出到所述壳体的外侧；以及第2部位，其在所述外侧自所述第1部位朝向所述电路基板突出。雨花台区米袋气动悬臂吊推荐厂家！建邺区包装袋气动悬臂吊哪家便宜

    本发明能够有效解决现有技术中机械手运行速度低，定位精度差的问题。本机械手包含3个轴，分别为升降轴、旋转轴和伸展轴，其中伸展轴又包含3个关节，三个关节分别为一级关节、二级关节和三级关节，三个关节之间的传动比为1:2:1，伸展电机通过谐波减速机驱动一级伸展臂转动，通过一级关节、二级关节和三级关节之间设置有传动结构，同时带动二级伸展臂和手指固定座的移动，间接将第1级关节远端的一级同步带轮变为主动轮，通过这种结构，可以在一级伸展臂和二级伸展臂移动时，保持手指固定座的始终直线运动，既晶圆中心始终保持直线运动，晶圆的角度也保持不变。这种结构还提高了机械手整体强度，达到高速度运行和重复定位精度高的双重目的。与现有技术相比，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。附图说明图1是本发明示意图。图2是本发明伸展轴示意图。图3是本发明伸展轴内部俯视示意图。具体实施方式下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述。实施例1。建邺区包装袋气动悬臂吊哪家便宜溧水区常见气动悬臂吊推荐厂家！

    本发明涉及一种半导体制造技术，尤其是一种用于晶圆搬运的机械手。背景技术：在半导体加工设备中，经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送，在传送的过程中，传送精度越高，设备工艺一致性就越好，速度越快，单台设备的产能就越大。随着半导体工艺的发展，设备处理的工艺越来越复杂，对设备自动化程度、柔性化程度要求也越来越高，这就需要一种定位精度高，速度快的多自由度的机械手。技术实现要素：本发明针对现有技术中的不足，提供了一种晶圆搬运机械手，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。为了解决上述技术问题，本发明通过下述技术方案得以解决：一种晶圆搬运机械手，包括升降轴、旋转轴和伸展轴，其特征为，所述的伸展轴包括伸展电机、一级伸展臂、二级伸展臂和手指固定座，所述的一级伸展臂与所述伸展电机之间设置有一级关节，所述的一级伸展臂与所述的二级伸展臂之间设置有二级关节，所述的二级伸展臂和所述的手指固定座之间设置有三级关节。

    安装板7远离立柱1一侧的侧壁上安装有横板4，横板4远离安装板7一端的底壁上安装有固定夹板5，横板4的顶壁上安装有第二电机3，第二电机3的驱动端安装有第1转盘11，第1转盘11远离第二电机3一侧的侧壁上安装有转轴13，第1转盘11的外侧设有三角形传动件14，转轴13与三角形传动件14的顶端转动连接，三角形传动件14的底端贯穿横板4的顶壁并延伸至的横板4的下侧，横板4上开设有与三角形传动件14相匹配的矩形槽，三角形传动件14的外侧对称设有两个第二转盘12，第二电机2转动时带动第1转盘11转动，第1转盘11通过三角形传动件14可带动两个第二转盘12转动，两个第二转盘12靠近三角形传动件14一侧的侧壁上同样安装有转轴13，两个转轴13分别转动在三角形传动件14的底端，两个第二转盘12远离三角形传动件14一侧的侧壁上均安装有转杆17，两转杆17的侧壁上均套设有螺纹套管16，第二转盘12转动后带动转杆17在螺纹套管16转动，两个螺纹套管16的顶壁上均安装有固定板15，两个固定板15的顶端均安装在横板4的底壁上。本发明中，横板4的底壁上对称安装有两个滑槽板19，横板4的下侧设有移动夹板6，移动夹板6的顶端安装有滑杆20，且滑杆20的两端分别与两个滑槽板19滑动连接。江宁区室内深加工气动悬臂吊推荐厂家！

    能够使第1线圈布线和第2线圈布线在与轴的轴向交叉的方向上进一步远离磁传感器。作为理想的技术方案，所述散热器具有凹部和凸部中的一者，所述适配器具有所述凹部和所述凸部中的另一者，所述凸部能嵌入所述凹部。由此，能够将适配器相对于散热器定位。作为理想的技术方案，还具备配置于所述凹部的第1粘接剂，利用所述第1粘接剂将所述散热器和所述适配器粘接起来。由此，能够确保适配器不脱离散热器。作为理想的技术方案，还具备：盖体，其覆盖所述电路基板；以及快速装配机构，其将所述盖体固定于所述散热器，所述快速装配机构的卡定部和被卡定部中的一者设于所述盖体的外周部，所述卡定部和所述被卡定部中的另一者设于所述散热器的外周部。由此，能够将盖体和散热器容易地固定在一起。作为理想的技术方案，还具备设于所述盖体的阀，所述盖体和所述散热器构成收纳所述电路基板的收纳体，所述阀根据所述收纳体的内部与外部的压力差进行开闭。由此，能够减小温度变化所导致的收纳体内部的压力变化。作为理想的技术方案，所述散热器具有在所述散热器的外周部设置的槽部，所述盖体的外周部能嵌合于所述槽部。由此，能够将盖体相对于散热器定位。江宁区包装袋气动悬臂吊推荐厂家！南京工业气动悬臂吊有几种

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