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    驱动部45b被控制装置60等控制，使第1、第二升降台43a、43b以规定的速度下降或者上升。另外，驱动部45b被控制装置60等控制，将第1、第二升降台43a、43b保持于目标高度。虽然第1、第二升降驱动部45a、45b设置于上部支承体47(第1、第二行驶部41a、41b)，但并不限定于该结构。第1、第二升降驱动部45a、45b例如也可以设置于第1、第二升降台43a、43b。作为在第1、第二升降台43a、43b设置第1、第二升降驱动部45a、45b的结构，例如可以利用搭载于第1、第二升降台43a、43b的升降机等对从上部支承体47悬挂的带状物或者线材等进行卷起或者抽出而使第1、第二升降台43a、43b升降。另外，也可以在第1、第二升降台43a、43b搭载用于驱动小齿轮的电动马达等，在第1、第二桅杆42a、42b形成供该小齿轮啮合的齿条，驱动电动马达等而使小齿轮旋转由此使第1、第二升降台43a、43b升降。如图4所示，第1、第二起重机40a、40b在第1、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp、第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之间搬运物品2。另外，第1、第二起重机40a、40b将物品2从当前的第1、第二保管部20a、20b向其他第1、第二保管部20a、20b搬运。例如。溧水区多功能真空搬运机推荐厂家！江阴工业真空搬运机哪里可以买到

    本发明涉及搬运系统以及搬运方法。背景技术：在半导体制造工厂等制造工厂中，为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运，提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如，参照文献1)。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的轨道行驶，因此需要与高架搬运车和起重机对应地，分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此，存在不仅对轨道的设置花费成本，需要用于铺设各轨道的空间，而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应，因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素：本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本，并且分担高架搬运车与起重机的作用，由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备：第1区段内顶棚轨道，其从第1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第1处理装置的装载端口设置；第二区段内顶棚轨道。江阴工业真空搬运机哪里可以买到雨花台区多功能真空搬运机推荐厂家！

    在图1至图3中包括有：1——机械手安装架11——固定安装竖板111——活动槽12——竖板固定座2——中间活动板3——前端活动架4——水平导轨副41——水平导轨42——水平滑块5——竖向导轨副51——竖向导轨52——竖向滑块61——吸盘安装架62——真空吸盘71——活动架驱动块72——活动架驱动轴73——轴承8——机械手驱动电机9——驱动轴拨动块。具体实施方式下面结合具体的实施方式来对本实用新型进行说明。如图1至图3所示，一种新式真空搬运式机械手，包括有机械手安装架1，机械手安装架1包括有呈竖向布置的固定安装竖板11，固定安装竖板11的下端侧装设有竖板固定座12，竖板固定座12的上端部与固定安装竖板11螺接。进一步的，固定安装竖板11的前端侧可相对活动地装设有分别呈竖向布置的中间活动板2、前端活动架3，前端活动架3位于中间活动板2的前端侧，中间活动板2与固定安装竖板11之间装设有呈水平横向布置的水平导轨副4，前端活动架3与中间活动板2之间装设有呈竖向布置的竖向导轨副5，前端活动架3的下端部装设有吸盘安装架61，吸盘安装架61装设有真空吸盘62。更进一步的，固定安装竖板11的前表面开设有呈“n”形状的活动槽111，前端活动架3螺装有活动架驱动块71。

    吸盘20在没有了真空作用力下，失去吸附力，被搬运物体脱离吸盘20，到此完成整个的搬运过程。本实用新型安装时，只需将立柱I底端固定在地面上即可。上述实施例只用于解释说明本实用新型的发明构思，而非对本实用新型权利保护的限定，凡利用此构思对本实用新型进行非实质性的改动，均应落入本实用新型的保护范围。权利要求1.一种轻型真空搬运机，其特征在于包括立柱、支柱、旋臂、斜拉杆、真空泵、连接管、搬运管、真空吸盘装置；支柱包括套置在固定柱外壁上的旋转轴套，固定柱固定在立柱的上端，旋臂一端直接与旋转轴套固定连接，另一端则通过斜拉杆与旋转轴套固定连接；连接管一端与真空泵连通，另一端与搬运管连通，真空吸盘装置安装在搬运管的底端，搬运管滑动连接安装在旋臂上。2.如权利要求I所述的轻型真空搬运机，其特征在于所述固定柱通过上盖和下盖固定在立柱上。3.如权利要求I所述的轻型真空搬运机，其特征在于所述固定柱与旋转轴套之间且由上而下依次安装有并帽、垫圈、上轴承、下轴承。4.如权利要求I所述的轻型真空搬运机，其特征在于所述旋臂一端直接与旋转轴套的下端固定连接，另一端则通过斜拉杆与旋转轴套的上端固定连接。浦口区室内深加工真空搬运机推荐厂家！

    第1、第二起重机40a、40b和高架搬运车50的行驶速度能够任意地设定，也可以使其与第1、第二起重机40a、40b和高架搬运车50的行驶速度相同。图7～图9是表示通过高架搬运车50搬运物品2时的移动路径的一个例子的图。在图7～图9中示出从第二保管区域sa2开始以第1保管区域sa1或者第1装置区域ta1为下一个搬运目的地的物品2被第二起重机40b载置于第二交接端口30b的例子。例如，如图7所示，在物品2被载置于在第二保管区域sa2的+y侧端部和-x侧配置的第二交接端口30b的情况下，控制装置60(参照图1)针对高架搬运车50进行指示以将第二保管区域sa2的第二交接端口30b的物品2搬运至第1保管区域sa1的第1交接端口30a。高架搬运车50沿着第二区段内顶棚轨道12移动至第二交接端口30b，使横向伸出机构55向+x方向突出，并驱动升降驱动部54使保持部53下降，由此通过保持部53保持第二交接端口30b的物品2。此外，高架搬运车50根据来自控制装置60等的信息，获取以下信息：接收到的物品2的搬运目的地是在第1保管区域sa1的+y侧端部和+x侧配置的第1交接端口30a。此外，第二起重机40b和高架搬运车50在第二区段内顶棚轨道12内，例如沿与顺时针相同方向环绕行驶。其结果是。溧水区牛皮袋真空搬运机推荐厂家！宝山区多功能真空搬运机

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    可以起重机是悬挂式起重机。另外，可以第1区段内顶棚轨道和第二区段内顶棚轨道是环绕轨道，第1起重机和高架搬运车在第1区段内顶棚轨道朝向同一方向环绕行驶，第二起重机和高架搬运车在第二区段内顶棚轨道朝向同一方向环绕行驶。另外，可以第1交接端口和第二交接端口配置于第1保管部和第二保管部各自的较上层。另外，本发明所涉及的搬运方法是如下搬运系统的搬运方法，上述搬运系统具备：第1区段内顶棚轨道，其从第1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第1处理装置的装载端口设置；第二区段内顶棚轨道，其从第二处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第二处理装置的装载端口设置；区段间顶棚轨道，其将第1区段内顶棚轨道与第二区段内顶棚轨道连结；第1保管部和第二保管部，它们在第1区段内顶棚轨道和第二区段内顶棚轨道各自的下方且侧方沿上下方向设置有多层，并用于保管物品；第1交接端口和第二交接端口，它们设置于第1区段内顶棚轨道和第二区段内顶棚轨道各自的下方且侧方；第1起重机，其具备沿着第1区段内顶棚轨道行驶的第1行驶部、从第1行驶部垂下的第1桅杆、以及被第1桅杆引导而升降的第1移送部；第二起重机。江阴工业真空搬运机哪里可以买到

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