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    由此在第1、第二保管部20a、20b等的下方，例如能够作为能够供操作人员等通行的通路利用。第1、第二保管部20a、20b沿着装载端口lp在y方向上排列配置多个。第1、第二保管部20a、20b在各个第1、第二保管区域sa1、sa2配置两列。第1、第二保管部20a、20b的各个列相对于装载端口lp的列在x方向对置配置。第1保管部20a配置于相对于第1区段内顶棚轨道11的直线部11a的正下方在x方向错开的位置。第二保管部20b配置于相对于第二区段内顶棚轨道12的直线部12a的正下方在x方向错开的位置。在第1、第二保管区域sa1、sa2中，第1、第二保管部20a、20b在上下方向设置两层。但是，第1、第二保管部20a、20b并不限定于两层，可也以设置一层或者三层以上。另外，第1、第二保管部20a、20b也可以设置于地板面上，来代替从顶棚悬挂。第1交接端口30a设置于第1保管部20a的列。第二交接端口30b设置于第二保管部20b的列。第1、第二交接端口30a、30b具有与第1、第二保管部20a、20b相同的结构，第1、第二保管部20a、20b中的一个或者多个作为第1、第二交接端口30a、30b使用。在本实施方式中。浦口区常见真空搬运机推荐厂家！贾汪区包装袋真空搬运机品牌

    控制装置60针对高架搬运车50进行指示以将第1保管区域sa1的第1交接端口30a的物品2搬运至第二保管区域sa2的第二交接端口30b。高架搬运车50沿着第1区段内顶棚轨道11移动至第1交接端口30a，使横向伸出机构55向-x方向或者+x方向突出，驱动升降驱动部54并通过保持部53保持第1交接端口30a的物品2。此外，高架搬运车50根据来自控制装置60等的信息，获取接收到的物品2的搬运目的地亦即第二保管区域sa2的第二交接端口30b的位置信息(地址)。接下来，高架搬运车50维持将物品2保持的状态地在第1区段内顶棚轨道11上沿顺时针的方向行驶，从第1区段内顶棚轨道11的直线部11a经由第二连接轨道16的出口部16b(参照图1)向第二区段间顶棚轨道14移动。此外，第二连接轨道16的截面形状与第1区段内顶棚轨道11和第二区段间顶棚轨道14相同或者大致相同(参照图6)，因此高架搬运车50能够从第1区段内顶棚轨道11无障碍地移动至第二区段间顶棚轨道14。接下来，高架搬运车50在第二区段间顶棚轨道14上朝向+x方向行驶，从第二区段间顶棚轨道14经由第二连接轨道16的入口部16a向第二区段内顶棚轨道12移动。其后，高架搬运车50在第二区段内顶棚轨道12上环绕行驶。贾汪区包装袋真空搬运机品牌栖霞区象鼻子真空搬运机推荐厂家！

    并且沿着装载端口lp设置。第1区段内顶棚轨道11是以包围第1保管区域sa1的方式配置为环状的环绕轨道，第二区段内顶棚轨道12是以包围第二保管区域sa2的方式配置为环状的环绕轨道，但并不限定于该结构。第1区段内顶棚轨道11具有直线部11a和循环部11b。直线部11a在装载端口lp的正上方沿着多个装载端口lp在y方向上配置。直线部11a在俯视下分别配置于第1保管区域sa1与隔着第1保管区域sa1对置配置的多个装载端口lp之间。循环部11b包含曲线部且配置于y方向的两端，将两个直线部11a彼此连接。第二区段内顶棚轨道12与第1区段内顶棚轨道11相同地，具有直线部12a和循环部12b。直线部12a在装载端口lp的正上方沿着装载端口lp与y方向平行地配置。直线部12a在俯视下分别配置于第二保管区域sa2与隔着第二保管区域sa2对置配置的多个装载端口lp之间。循环部12b包含曲线部且配置于y方向的两端，将两个直线部12a彼此连接。此外，在本实施方式中，示出第1区段内顶棚轨道11与第二区段内顶棚轨道12是同一形状或者大致同一形状的例子，但第1区段内顶棚轨道11与第二区段内顶棚轨道12也可以是不同形状。第1区段间顶棚轨道13和第二区段间顶棚轨道14被设置为分别沿着x方向呈直线状延伸。

    在上述的实施方式中，例举将第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的架部配置于第1、第二保管区域sa1、sa2内的结构进行了说明，但并不限定于该结构，保管部和交接端口也可以配置于第1、第二保管区域sa1、sa2的外侧。图10是表示保管部和交接端口的其他例子的图。在以下的说明中，对与上述的实施方式相同或者等同的构成部分标注同一附图标记并省略或者简化说明。如图10所示，保管部220(或者交接端口330)在第1、第二装置区域ta1、ta2中也可以配置于第1、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp的上方。根据该结构，能够将装载端口lp的上方的空间作为保管区域有效地活用。此外，针对该保管部220(或者交接端口230)，第1、第二起重机40a、40b和高架搬运车50双方能够进行物品2的交接。但是，在该结构中，高架搬运车50无法针对装载端口lp直接进行物品2的交接。另一方面，第1、第二起重机40a、40b能够针对装载端口lp进行物品2的交接。另外，如图10所示，也可以在第1、第二处理装置tl1、tl2与第1、第二处理装置tl1、tl2之间设置保管架80。保管架80在内部的上下方向和左右方向(y方向)设置多个保管部320，并在上表面80a设置有交接端口330。根据该结构。浦口区多功能真空搬运机推荐厂家！

    搬运系统100也能够应用于除半导体制造领域以外的设备，物品2可以是由用于设置搬运系统100的设备处理的各种物品。在本实施方式中，搬运系统100在配置于第1、第二装置区域ta1、ta2的第1、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之间搬运物品2。第1、第二处理装置tl1、tl2例如是曝光装置、涂布显影装置、制膜装置、或者蚀刻装置等，对收容于搬运系统100所搬运的物品2的半导体晶圆实施各种处理。各第1、第二处理装置tl1、tl2分别具备两处装载端口lp。图2是表示第1、第二处理装置tl1、tl2和装载端口lp的一个例子的图。在图2中表示从+x侧观察第1、第二处理装置tl1、tl2和装载端口lp的情况的一个例子。如图1和图2所示，第1处理装置tl1在设定于制造工厂等的地板部的第1装置区域ta1内沿一个方向(y方向)排列配置。第二处理装置tl2在第二装置区域ta2内沿一个方向(y方向)排列配置。第1、第二装置区域ta1、tl2分别沿x方向配置多个。沿y方向排列的多个第1、第二处理装置tl1、tl2沿x方向设置多列。此外，多个第1、第二处理装置tl1、tl2的配置是一个例子，也可以是其他配置。另外。六合区包装袋真空搬运机推荐厂家！徐州牛皮袋真空搬运机品牌

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    以下结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。图I为本实用新型的结构示意图；图2为本实用新型中支柱的放大剖视结构示意图；图3为本实用新型中控制头的结构示意图。·具体实施方式如图I、图2、图3所示，本实用新型轻型真空搬运机，包括立柱I、支柱2、旋臂3、斜拉杆4、真空泵13、连接管14、搬运管15、真空吸盘装置。支柱2包括套置在固定柱5外壁上的旋转轴套6，固定柱5固定在立柱I的上端，旋臂3—端直接与旋转轴套6的下端固定连接，另一端则通过斜拉杆4与旋转轴套6的上端固定连接。连接管14一端与真空泵13连通，另一端与搬运管15连通，真空吸盘装置安装在搬运管15的底端，搬运管15滑动连接安装在旋臂3上。其中，固定柱5通过上盖7和下盖8固定在立柱I上。固定柱5与旋转轴套6之间且由上而下依次安装有并帽9、垫圈10、上轴承11、下轴承12。旋臂3的下端面上开设有导轨17，搬运管15的顶端与导轨17滑动连接。导轨17上还滑动连接有数个挂钩18，靠近搬运管15端的连接管14通过挂钩18安装在旋臂3上。真空泵13安装在箱体16内，箱体16置于地面上；搬运管15为可伸缩式搬运管。真空吸盘装置包括控制头19、数个吸盘20、操作手柄21。贾汪区包装袋真空搬运机品牌

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