长宁区常见真空搬运机品牌

本发明涉及搬运系统以及搬运方法。背景技术：在半导体制造工厂等制造工厂中，为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运，提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如，参照文献1)。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的轨道行驶，因此需要与高架搬运车和起重机对应地，分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此，存在不仅对轨道的设置花费成本，需要用于铺设各轨道的空间，而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应，因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素：本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本，并且分担高架搬运车与起重机的作用，由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备：第1区段内顶棚轨道，其从第1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第1处理装置的装载端口设置；第二区段内顶棚轨道。雨花台区多功能真空搬运机推荐厂家！长宁区常见真空搬运机品牌

    发明内容本实用新型的目的在于克服以上不足，提供一种新型真空搬运机械手，利用真空原理，吸附物体，进而平衡物体的重力，使操作人员在基本感觉不到物体重力的情况下，轻松完成物体的搬运、翻转、装配等工序，操作简单、运作省力、高效安全。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是含有万向轮、移动小车、拉杆、立柱、主升降气缸、主旋转座、主旋转轴、主关节锁死装置、大侧板、摆动主臂、摆动副臂、副关节锁死装置、连接板、横臂旋转座、旋转臂主轴、旋转臂、垂臂旋转座、副旋转轴、下垂臂、扶手、真空吸盘，移动小车截面呈长方形，其底部四角各设有一万向轮，移动小车顶端中部设有立柱，左侧设有拉杆，立柱顶端设有主旋转座，可旋转360°，主旋转座通过主旋转轴与大侧板相连接，大侧板内设有气压控制阀，气压控制阀与主升降气缸相连接，大侧板左侧下端设有主升降气缸，大侧板上设有内侧板，主旋转座和大侧板之间设有主关节锁死装置，摆动主臂和摆动副臂一端分别与大侧板相连接，另一端分别与连接板相连接，摆动主臂位于摆动副臂下侧并与摆动副臂相平行，横臂旋转座通过旋转臂主轴与旋转臂相连接，旋转臂可旋转300°，旋转臂和横臂旋转座之间设有副关节锁死装置。长宁区常见真空搬运机品牌六合区多功能真空搬运机推荐厂家！

    第1、第二起重机40a、40b能够在上下的第1、第二保管部20a、20b之间搬运物品2。另外，在物品2被高架搬运车50载置于第1交接端口30a的情况下，若第1起重机40a能够搬运至作为搬运目的地的第1处理装置tl1的装载端口lp，则将物品2搬运至该装载端口lp，若第1起重机40a不能搬运至作为搬运目的地的装载端口lp，则将物品2搬运至第1保管部20a，在变为能够搬运的时刻将物品2从第1保管部20a搬运至作为搬运目的地的第1处理装置tl1的装载端口lp。另外，在物品2被高架搬运车50载置于第二交接端口30b的情况下，若第二起重机40b能够搬运至作为搬运目的地的第二处理装置tl2的装载端口lp，则将物品2搬运至该装载端口lp，若第二起重机40b不能搬运至作为搬运目的地的装载端口lp，则将物品2搬运至第二保管部20b，在变为能够搬运的时刻将物品2从第二保管部20b搬运至作为搬运目的地的第二处理装置tl2的装载端口lp。在搬运系统100中，高架搬运车50在不同的第1保管区域sa1与第二保管区域sa2之间搬运物品2。高架搬运车50的行驶速度被设定为比第1、第二起重机40a、40b快。其结果是，即便是在远离的第1、第二保管区域sa1、sa2之间也能够通过高架搬运车50在短时间内搬运物品2。此外。

    图2为吸盘主视剖面示意图；图3为吸盘仰视图示意图；图4为子吸盘剖面图示意图；其中：1-吊架，2-吸盘，3-舵把，4-吊环，5-控制按钮，6-密封腔，7-子吸盘，8-夹板，9-气管，10-气罩，11-皮套，12-拉杆，13-挡板，14-限位环，15-气孔，16-缓冲环，17-支撑杆。具体实施方式以下结合具体实施例对本实用新型的技术方案进行说明。实施例1如图1-4所示，一种真空吸吊机，包括吊架1，吊架1正面安装有6个吸盘2，吸盘2截面为圆形，吸盘2包括密封腔6，密封腔6由厚度为3-5mm的不锈钢材料围制焊接而成，密封腔6上端连接有气管9，密封腔6下端呈梅花状安装有5个子吸盘7，各子吸盘7下端面相平，子吸盘7包括气罩10，气罩10截面为圆形，气罩10靠近下端的截面面积大于靠近上端的截面面积，气罩10上端与密封腔6连通，气罩10下端密封固定有皮套11，皮套11由乳胶制成，皮套11中间位置夹有夹板8，夹板8为圆形，夹板8夹紧在皮套11两面，夹板8上端中间围制固定有向上的拉杆12，气罩10上端与拉杆12对应位置处开有导向孔，气罩10上环绕导向孔还环绕开有4个气孔15，气孔15下端外侧还固定有缓冲环16，缓冲环16由乳胶制成，拉杆12上还固定有挡板13，挡板13截面为向下的锥形。六合区常见真空搬运机推荐厂家！

    第1、第二起重机40a、40b和高架搬运车50的行驶速度能够任意地设定，也可以使其与第1、第二起重机40a、40b和高架搬运车50的行驶速度相同。图7～图9是表示通过高架搬运车50搬运物品2时的移动路径的一个例子的图。在图7～图9中示出从第二保管区域sa2开始以第1保管区域sa1或者第1装置区域ta1为下一个搬运目的地的物品2被第二起重机40b载置于第二交接端口30b的例子。例如，如图7所示，在物品2被载置于在第二保管区域sa2的+y侧端部和-x侧配置的第二交接端口30b的情况下，控制装置60(参照图1)针对高架搬运车50进行指示以将第二保管区域sa2的第二交接端口30b的物品2搬运至第1保管区域sa1的第1交接端口30a。高架搬运车50沿着第二区段内顶棚轨道12移动至第二交接端口30b，使横向伸出机构55向+x方向突出，并驱动升降驱动部54使保持部53下降，由此通过保持部53保持第二交接端口30b的物品2。此外，高架搬运车50根据来自控制装置60等的信息，获取以下信息：接收到的物品2的搬运目的地是在第1保管区域sa1的+y侧端部和+x侧配置的第1交接端口30a。此外，第二起重机40b和高架搬运车50在第二区段内顶棚轨道12内，例如沿与顺时针相同方向环绕行驶。其结果是。六合区工业真空搬运机推荐厂家！秦淮区糖袋真空搬运机有几种

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    保持部53与线材或者带状物等悬挂部件53b连接。保持部53从升降驱动部54悬挂且以能够摆动的状态升降。保持部53可以与上述的第1、第二起重机40a、40b的保持部49是同一结构，也可以是不同结构。升降驱动部54例如是升降机，通过抽出悬挂部件53b而使保持部53下降，通过卷绕悬挂部件53b而使保持部53上升。升降驱动部54被控制装置60等控制，使保持部53以规定的速度下降或者上升。另外，升降驱动部54被控制装置60等控制，将保持部53保持于目标高度。横向伸出机构55例如具有在上下方向重叠配置的可动板。可动板能够向行驶部51的行驶方向的侧方(与行驶方向正交的方向)移动。在可动板安装有转动部和升降驱动部54。主体部52具有引导横向伸出机构55的未图示的引导件、和驱动横向伸出机构55的未图示的驱动部等。横向伸出机构55通过来自电动马达等驱动部的驱动力，使升降驱动部54和保持部53沿着引导件，在突出位置与收纳位置之间移动。突出位置是从主体部52向侧方突出的位置。收纳位置是收纳于主体部52内的位置。转动部具有未图示的转动部件和转动驱动部。转动部件被设置为能够围绕上下方向的轴进行转动。转动部件安装于升降驱动部54或者保持部53。转动驱动部使用电动马达等。长宁区常见真空搬运机品牌

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