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    能够比第1、第二起重机40a、40b更快移动，因此通过高架搬运车50进行区段间(例如第1保管区域sa1与第二保管区域sa2之间)的物品2的搬运，从而能够在短时间内搬运物品2。这样，将第1、第二起重机40a、40b与高架搬运车50的作用分开，由此能够使搬运系统100整体的物品2的搬运效率提高。另外，将第1区段内顶棚轨道11由第1起重机40a与高架搬运车50共享，并将第二区段内顶棚轨道12由第二起重机40b与高架搬运车50共享，因此无需另外设置顶棚轨道，能够减少顶棚轨道10的铺设所需要的成本。另外，高架搬运车50能够在第1区段内顶棚轨道11和第二区段间顶棚轨道14上行驶，因此如图5的单点划线所示，能够在与第1、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp之间进行物品2的交接。其结果是，在产生第1、第二起重机40a、40b的故障、或者产生第1、第二起重机40a、40b因其他物品2的搬运而顾及不到等状况的情况下，能够暂时通过高架搬运车50进行与装载端口lp之间的物品2的交接，能够防止搬运效率的降低。并且，高架搬运车50在作为从其他区域搬运来的物品2的搬运目的地的装载端口lp空置的情况下(能够搬运的情况)，保持原样地将物品2搬运至作为搬运目的地的装载端口lp，由此能够提高物品2的搬运效率。栖霞区牛皮袋真空搬运机推荐厂家！徐汇区粉尘真空搬运机哪家有

    可旋转360°，垂臂旋转座与副旋转轴相连接，副旋转轴与下垂臂相连接，下垂臂上设有扶手，扶手上设有电脑控制盒，下垂臂末端设有真空吸盘，真空吸盘下端吸有工件。摘要一种新型真空搬运机械手，属于一种机械手。机械手立柱顶端设有主旋转座，主旋转座通过主旋转轴与大侧板相连接，大侧板左侧下端设有主升降气缸，主旋转座和大侧板之间设有主关节锁死装置，摆动主臂和摆动副臂一端分别与大侧板相连接，另一端分别与连接板相连接，横臂旋转座通过旋转臂主轴与旋转臂相连接，旋转臂和横臂旋转座之间设有副关节锁死装置，旋转臂末端设有垂臂旋转座，垂臂旋转座与副旋转轴相连接，副旋转轴与下垂臂相连接，下垂臂末端设有真空吸盘。该机械手利用真空原理，吸附物体，进而平衡物体的重力，使操作人员在基本感觉不到物体重力的情况下，轻松完成物体的搬运、翻转、装配等工序，操作简单、运作省力、高效安全。徐汇区粉尘真空搬运机哪家有溧水区多功能真空搬运机推荐厂家！

    本发明涉及搬运系统以及搬运方法。背景技术：在半导体制造工厂等制造工厂中，为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运，提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如，参照文献1)。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的轨道行驶，因此需要与高架搬运车和起重机对应地，分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此，存在不仅对轨道的设置花费成本，需要用于铺设各轨道的空间，而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应，因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素：本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本，并且分担高架搬运车与起重机的作用，由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备：第1区段内顶棚轨道，其从第1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第1处理装置的装载端口设置；第二区段内顶棚轨道。

    第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二保管区域sa2。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1区段内顶棚轨道11的下方且侧方。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二区段内顶棚轨道12的下方且侧方。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于在第1区段内顶棚轨道11能够通过后述的第1起重机40a和高架搬运车50进行物品2的交接的范围。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于在第二区段内顶棚轨道12能够通过后述的第二起重机40b和高架搬运车50进行物品2的交接的范围。图3是表示第1、第二保管区域sa1、sa2的第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的一个例子的图。在图3中示出从+x侧观察第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的情况的一个例子。如图3所示，第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b使用能够载置物品2的架部等。在载置物品2的架部也可以设置进入在物品2的底面设置的槽部的多个销。该销进入物品2的槽部，由此相对于架部定位物品2。各第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b例如被支承为从建筑物的顶棚等悬挂的状态。第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b从顶棚悬挂。雨花台区工业真空搬运机推荐厂家！

    因此高架搬运车50能够从第二区段内顶棚轨道12无障碍地移动至第1区段间顶棚轨道13。接下来，如图9所示，高架搬运车50在第1区段间顶棚轨道13上朝向-x方向行驶，从第1区段间顶棚轨道13经由第1连接轨道15的入口部15a向第1区段内顶棚轨道11移动(参照图9的箭头)。其后，高架搬运车50从第1连接轨道15的入口部15a移动至第1区段内顶棚轨道11的直线部11a，并在与作为搬运目的地的第1交接端口30a对应的位置停止。接着，高架搬运车50使横向伸出机构55向-x方向突出，驱动升降驱动部54使保持部53下降，由此将物品2载置于第1交接端口30a。通过以上的动作，能够将物品2从第二保管区域sa2搬运至第1保管区域sa1。另外，如上述那样，在第1、第二保管区域sa1、sa2的+y侧或者-y侧端部配置第1、第二交接端口30a、30b，由此能够避免高架搬运车50为了物品2的交接而停止在第1、第二保管区域sa1、sa2内的中间部分等，能够扩大第1、第二起重机40a、40b的运行范围。另外，例如，通过第1起重机40a将物品2(搬运目的地是第二保管区域sa2的第二交接端口30b)载置于第1保管区域sa1的第1交接端口30a的情况下。江宁区常见真空搬运机推荐厂家！无锡真空搬运机品牌

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    吸盘20在没有了真空作用力下，失去吸附力，被搬运物体脱离吸盘20，到此完成整个的搬运过程。本实用新型安装时，只需将立柱I底端固定在地面上即可。上述实施例只用于解释说明本实用新型的发明构思，而非对本实用新型权利保护的限定，凡利用此构思对本实用新型进行非实质性的改动，均应落入本实用新型的保护范围。权利要求1.一种轻型真空搬运机，其特征在于包括立柱、支柱、旋臂、斜拉杆、真空泵、连接管、搬运管、真空吸盘装置；支柱包括套置在固定柱外壁上的旋转轴套，固定柱固定在立柱的上端，旋臂一端直接与旋转轴套固定连接，另一端则通过斜拉杆与旋转轴套固定连接；连接管一端与真空泵连通，另一端与搬运管连通，真空吸盘装置安装在搬运管的底端，搬运管滑动连接安装在旋臂上。2.如权利要求I所述的轻型真空搬运机，其特征在于所述固定柱通过上盖和下盖固定在立柱上。3.如权利要求I所述的轻型真空搬运机，其特征在于所述固定柱与旋转轴套之间且由上而下依次安装有并帽、垫圈、上轴承、下轴承。4.如权利要求I所述的轻型真空搬运机，其特征在于所述旋臂一端直接与旋转轴套的下端固定连接，另一端则通过斜拉杆与旋转轴套的上端固定连接。徐汇区粉尘真空搬运机哪家有

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