江苏高精度传感器智能充氮氮气柜适用范围

    全功能洁净氮气柜：产品应用：适合半导体前端单晶硅制程中硅片及晶圆盒的存放,防止硅片的返颗粒，返雾现象；由于大部分的存储柜或者是氮气柜设计都为全封闭环境，只控制湿度及氧含量浓度这块，并无自净功能,故内部容易积聚大量灰尘，而这些灰尘极可能粘附在存储品上。宏誉洁净柜则适合存放需要低湿保存，同时又需要避免灰尘污染的物品.相关技术指标：1）洁净等级专业高效洁净过滤装置，滤网采用进口超细玻璃纤维,确保洁净柜内CLASS10~100（10级一般是指空柜或每层放置固定数量晶圆盒情况下，必潔淨度能逹到须满足每立方英尺内颗粒≦10ea@&≦20ea@）。2）TDH实验即存放在洁净柜内经过干燥2小时的硅片不能有不正常或超标返颗粒的现象产生(返颗粒取样测试后总数平均数与原有硅片颗粒数对比≦10ea(包括))3）降湿速度除湿性能可达到5%以下,空柜或每层放置固定数量晶圆盒，在氮气流量不大于70L/M的情况下，湿度从50%降至5%所需时间小于30min4)进口无尘风机：采用进口无尘室FFU风机，面风速：～；5）静电残余值测定松鑫全功能洁净氮气柜洁净氮气柜内放置的硅片盒，经过干燥2小时后，硅片盒取样及定点测试静电值必须≦1kv6）柜内风速均匀性洁净柜内不能有氮气的死角。氮气发生器，产氮湿度低。江苏高精度传感器智能充氮氮气柜适用范围

    用变压吸附法分离空气可以得到富氧空气和，耗电量均小于。用变压吸附法分离空气具有能耗低、流程短、开停车时间短、自动控制、产品浓度可调等等优点，可望有较大的发展。膜法分离空气利用的是渗透原理，即氧气和氮气在非多孔高分子膜内的扩散速率不同。当氧气和氮气吸附在高分子膜表面时，由于膜两侧存在着浓度梯度，使气体扩散并通过高分子膜，接着在膜的另一侧解吸。因为氧气分子的体积小于氮气分子，因而氧气在高分子膜内的扩散速率大于氮气，这样，当空气通入膜的一侧时，在另一侧就可以得到富氧空气，同一侧得到氮气。用膜法分离空气可以连续得到氮气和富氧空气。目前的高分子膜对氧、氮分离的选择性系数只有，渗透系数也较小。分离得到的产品氮气浓度为95～99%，氧气浓度为30～40%。膜法分离空气一般是在常温和压力为～×106pa的条件下操作的。温州高精度传感器智能充氮氮气柜安全警报新膜分离技术，电解池催化效率高，产气量大，氮气纯度高。

    氮气操作处置储存注意事项：密闭操作。密闭操作，提供良好的自然通风条件。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。防止气体泄漏到工作场所空气中。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。储存注意事项：储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。储区应备有泄漏应急处理设备。氮气接触控制监测方法：工程控制：密闭操作。提供良好的自然通风条件。呼吸系统防护：一般不需特殊防护。当作业场所空气中氧气浓度低于18%时，必须佩戴空气呼吸器、长管面具。眼睛防护：一般不需特殊防护。身体防护：穿一般作业工作服。手防护：戴一般作业防护手套。其它防护：避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。氮气运输信息危险货物编号：22005UN编号：1066包装标志：不燃气体包装类别：O53包装方法：钢质气瓶；安瓿瓶外普通木箱。运输注意事项：采用钢瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。严禁与易燃物或可燃物等混装混运。夏季应早晚运输，防止日光曝晒。铁路运输时要禁止溜放。

    可使用风速测定仪来检测内部硅片放置各点的风速，不能有较大差异。7）温湿度显示及记录管理。温湿度显示：采用4英寸超大LED显示，有效视距可达30米；温湿度记录:可对温湿度作24小时不间断的监控，在洁净柜在完全关闭的情况下，湿度不能有超过±5%RH的波动。洁净氮气柜主要特点：一、规格尺寸(尺寸可订制)1、材质：SUS304双镜面2、工作电压：220V3、温湿度显示器精度：相对湿度±3%Rh，温度±1℃二、主要特色SXD-COL系列是集快速除湿、除尘、防静电和氮气节约功能于一体的无尘室储存设备。洁净氮气柜产品说明：*控制方式：采用湿度/氧含量控制的方法。*高洁净过滤器FFU采用美国等进口品牌。*静音离心风机采用德国等进口品牌。*采用静电消除装置。*对氮气进行前期洁净预处理。*采用触摸式控制器，对箱内湿度或含氧量进行显示和控制。设备具有很好的密封性能，尘埃过滤，水平或垂直送风。*设备由湿度和氮浓度检测显示,氮气流量控制,防静电控制,高洁净过滤器受阻等多个系.*控制仪可进行温湿度含氮量数据的实时显示,存储和输出和报警功能。不锈钢洁净型有四项主要特色：1、模组化设计：本机器采用独特的模组化设计，温湿度显示器、控制系统、除尘系统及除静电系统均能快速更换。氮气经过控制系统，多点分散供气，氮气可根据设定值自动切断和打开供应 。

用途：航天航空、中电集团、兵器工业、核工业、船舶、科研院校所、半导体产业、LED产业、汽车、博物馆、档案馆、电子产品、精密部件、生物制药。1.2厚钢板防静电烤漆或不锈钢材质柜身，超底湿款1-60%RH设置，普通款20-60%RH可设置。采用“形状记忆合金”除湿原理，微电脑控制、省电、稳定除湿。采用高分子材料动态吸附，可循环吸湿，设备停电后仍可用化学材料进行吸湿。微电脑数码LED显示，温湿度可同时显示，LED显示工作状态，提供复位键归零运作功能。低功耗、不结霜、不滴水。温度对湿度有直接影响，本设备已做出相应补偿，使湿度有了可靠的保障。铁灰色防静电烤漆（表面电阻为105~109欧姆），另有地线和导静电刹车直接与大地相同，避免底湿所产生的静电，保护电子元件更周到。采用进口美国新一代数字温湿度传感器，精度可靠，十年内免校准。内置智能休眠技术。节能稳定。可根据客户要求配置温湿度监控系统，提供电脑接插件，配备自行研发的温湿度监控软件。自由选择采集数据时间间隔。电脑可对温湿度数据记录存档。氮气无法自行从空气中获得，需要借助一定的外力，如氮气发生机或者购买。舟山高精度传感器智能充氮氮气柜220V电压

根据客户要求配备温湿度监控系统，电脑连接监控系统，温湿度数据记录存档。江苏高精度传感器智能充氮氮气柜适用范围

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