自以来真空泵行业结构转型趋势明显,干式螺杆真空泵的出现替代了大部分油螺杆真空泵,在制药、医疗器械、半导体行业均有应用。半导体制造中主要应用的真空泵类型包括干式真空泵以及涡轮分子泵。较早时,油式真空泵是半导体行业中常用的真空泵种类,目前干泵成为了半导体行业主要的真空泵类型。叠式真空泵组合是为了满足大抽气速率,干式压缩,高效节能需求而设计的。正是由于这种组合结构,干式真空管系统可调整无油爪式真空泵的数量和规格来适应不同的工艺条件。山东华中树立了良好的信誉,很大的地提升了用户对企业的满意度和忠诚度。青岛干式无油真空泵厂家

以甲苯为例,在1mmHg真空条件下,甲苯的冷凝温度为0℃,要在真空端冷凝甲苯,就必须使用-15℃以下的冷媒,由于换热温差小,需要很大冷凝换热面积才能有效冷凝回收甲苯,而甲苯在常压下,冷凝温度为110℃,只需要使用循环水和较小的冷凝换热面积就可有效冷凝回收甲苯,溶剂回收率一般都可提高到96%以上。非干式真空泵一般可分为油式真空泵、水循环真空泵。非干式真空泵共同点是它需要借助其他的物质(如水和油)达到理想的真空度,在实验室中使用多的是油式旋片泵,一般和冻干机、真空干燥箱等配套使用。青岛干式无油真空泵厂家华中真空“团结、拼搏、求实、创新”的企业精神,不断引进优秀人才,打造良好的服务团队。

螺杆真空泵的一个导程相当于一级泵,多个导程的螺杆真空泵相当于多级泵串联,相对于爪式真空泵及多级罗茨真空泵等多级串联的干式真空泵而言,螺杆真空泵因其各级泵之间无内部通道,直接将气体从吸气侧推送至排气侧,所以在抽除可凝性气体、带有粉尘及颗粒物的气体时不易堵塞且清洗方便。除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用相应型式的干式机械真空泵可以满足要求。干式真空泵也称为无油真空泵,特点是依靠机器自身的元件来达到需要的真空度,无污染、免保养。
因此泵工作时,运转平稳,安装在泵壳中,消耗功率更低,具有节能,工作腔无需润滑油,因此、两螺杆经精细动平衡校正。真空更高,其干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,螺杆与螺杆之间都有一定的间隙,噪音低,它是油封式真空泵的更新换代产品,免维修等优点,由轴承支撑,相互之间无磨擦。爪式真空泵与罗茨真空泵和螺杆真空泵一样,都是非接触式干式真空泵。一般为达到一定的压缩比、转速和动平衡,在泵壳内具有两个共轭啮合的爪形转子。与罗茨真空泵类似,转子由一对同步高精度齿轮来带动旋转并固定相位。淄博华中真空设备有限公司拥有施工、技术指导,及后续服务的跟进等实现完整的“一站式”服务。

实验室中用得较多是无油活塞式(多用于微生物实验室)和耐腐蚀隔膜式(多用于化学实验室)。无油真空泵的发展,为保障真空泵系统的清洁提供了新的思路。干式真空泵根据转子和泵腔内壁是否接触可以分为接触式和非接触式两类,非接触式的真空泵比接触式的真空泵在性能上更有优势,但价格也更贵,一般来说,非接触式的真空泵压缩气体的性能比接触式的要差,可能需要几个泵组合搭配工作才能达到工作要求。而爪泵虽然研制出来的时间比较晚,但因为它结构简单、运行平稳、可靠性高、后期维护简单和清洁度高等一系列优点,让其成为了目前发展的热点方向。华中真空设备致力于携手行业内伙伴,与客户以及同行业公司,建立长期稳定、互惠互利的友好合作关系。青岛干式无油真空泵厂家
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而且干式真空系统具有:运行效率高,运行能耗低,污水尾气近零排放,醇酮回收洁净,回收成本低、效率高等优点。设备利用干式变螺距螺杆真空泵,其转子与泵体采用较小间隙设计,无摩擦、噪音小、变螺距、工作腔无需密封水或密封油、功耗低、真空高。轴端采用无泄漏无磨损复合密封,轴承润滑油不易乳化,使用寿命长。这种泵也类似罗茨泵型式,两个转子与泵体之间形成泵腔的抽气容积,吸气口和排气口是固定在上下端盖的侧面上,由转子旋转过程中自动开关,它属于旋转式容积真空泵。华中真空设备厂家在线提供技术支持。青岛干式无油真空泵厂家
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