为获得平坦而均匀的光刻胶涂层并使光刻胶与晶片之间有良好的黏附性,通常在涂胶前对晶片进行预处理。预处理第一步常是脱水烘烤,在真空或干燥氮气的机台中,以150~200℃烘烤。工艺目的是除去晶片表面吸附的水分,在此温度下,晶片表面大约保留了一个单分子层的水。涂胶后,晶片须经过一次烘烤,称之软烘或前烘。工艺作用是除去胶中大部分溶剂并使胶的曝光特性固定。通常,软烘时间越短或温度越低会使得胶在显影剂中的溶解速率增加且感光度更高,但对比度会有降低。实际上软烘工艺需要通过优化对比度而保持可接受感光度的试凑法用实验确定,典型的软烘温度是90~100℃,时间从用热板的30秒到用烘箱的30分钟。在晶片显影后,为了后面的高能工艺,如离子注入和等离子体刻蚀,也须对晶片进行高温烘烤,称之后烘或硬烘。这一工艺目的在于:减少驻波效应;激发化学增强光刻胶PAG产生的酸与光刻胶上的保护基团发生反应并移除基团使之能溶解于显影液。 箱体闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。宁波真空烘箱调试调整
橡胶配方中硫化体系的类型按照制品不同性能的要求,橡胶配方选用不同的硫化体系。通常,普通硫磺硫化体系,其硫化温度选取范围为130-160℃,具体需要根据所使用的促进剂的活性温度和制品的物理机械性能来确定。有效、半有效硫化体系,硫化温度一般掌握在160-165℃之间,过氧化物及树脂等非硫磺硫化体系,硫化温度适合选择170-180℃.3.橡胶制品的结构橡胶属于热的不良导体,受热升温较慢。对于夹织物的橡胶制品,通常硫化温度不高于140℃.而发泡橡胶,需要按照发泡剂和发泡助剂的分解温度选择适宜的硫化温度。温州整体成型硅橡密封圈真空烘箱PID调节将真空泵与真空阀连接,开启真空阀,抽真空;
比起常规干燥技术具备以下优势:真空环境降低了需要驱逐的液体的沸点,所以真空干燥可以轻松应用于热敏性物质;对于不容易干燥的样品,例如粉末或其他颗粒状样品,使用真空干燥法可以有效缩短干燥时间;各种构造复杂的机械部件或其他多孔样品经过清洗后使用真空干燥法,完全干燥后不留任何参与物质;使用更安全――在真空或惰性条件下,完全消除氧化物遇热膨胀的可能;与依靠空气循环的普通干燥相比,粉末状样品不会被流动空气吹动或移动。控制特点:具有因停电、死机造成状态数据和保存的参数记忆丢失,来电恢复功能。产品材料及特点:采用流线型圆弧设计,外壳采用冷轧钢板制造,表面静电喷塑;本机温控系统采用微电脑单片机设计,具有温控、定时、超温报警功能;这款真空烘箱采用双屏高亮度数码管显示,示值准确直观,性能优越,触摸式按键设定调整参数;温度具有定时功能,定时时间长达9999分钟;内胆均为3mm厚不锈钢材料制成,半圆形四角设计更方便清洁;外箱采用,钢板外表面采用精密双层粉体烤漆处理,与通常的外表喷涂处理相比外观更加美观大方及增强了其防腐防生锈性能;加热方式为镍铬合金电加热器,均匀分布在工作室四周外壁,保证箱体内部温度均匀。
真空烘箱有以下特点:短加热时间,与传统干燥烘箱比加热时间减少50%以上。真空烘箱因为是由电力提供热能,而湿的物品是会导电的,故在使用上宜小心不要有漏电的现象发生,故一般烘箱都要接地使用,以保安全。若没有地线也要确认烘箱没有漏电的现象;若有轻微的漏电现象,可试着将插座拔起后将插脚以相反方向再插入,若没有漏电现象可小心使用,若仍有漏电现象则应立即停用。广泛应用于医药,冶金,电子五金,食品,化工,PCB烘烤等等行业。利用真空泵进行抽气抽湿,使工作室内形成真空状态,降低水的沸点,加快干燥的速度。
由外及里,干燥箱的内胆有两种选择,一是镀锌板,二是镜面不锈钢。镀锌板在长期使用过程中容易生锈,不利于保养;镜面不锈钢外观整洁,易于保养,使用寿命长,属市场上较好的内胆材质,但是价格要稍高于镀锌板。 内胆的样品架子一般有两层,可根据客户的要求增添。由于样品架的质量是由不锈钢压制而成,且多增加的架子不利于内部热风的循环,加大风机的质量要求,所以每加一个架子的成本在三百元之间。国内干燥箱的保温材质主要是以纤维棉为主,少数采用聚氨酯。微电脑智能温控仪设定参数。衢州真空泵抽湿真空烘箱监控系统
箱门可调节式松紧闭合。宁波真空烘箱调试调整
维护保养:13、尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内,以保证真空泵在高效率点运转,才能获得大的节能效果。14、真空泵在运行过程中,轴承温度不能超过环境温度35C,高温度不得超过80C。15、如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。16、真空泵要停止使用时,先关闭闸阀、压力表,然后停止电机。17、真空泵在工作一个月内,经100小时更换润滑油,以后每个500小时,换油一次。18、经常调整填料压盖,保证填料室内的滴漏情况正常(以成滴漏出为宜)。19、定期检查轴套的磨损情况,磨损较大后应及时更换。20、真空泵在寒冬季节使用时,停车后,需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。21、真空泵长期停用,需将泵全部拆开,擦干水分,将转动部位及结合处涂以油脂装好,妥善保管。宁波真空烘箱调试调整