微泰真空卡盘精密的半导体晶圆真空吸盘是半导体制造设备的关键部件,可确保晶圆表面的平坦度和平行度,从而在半导体制造过程中安全地固定晶圆,使各种制造过程顺利进行。微泰使无氧铜、铝、SUS 材料的半导体晶圆真空吸盘的平坦度保持在 3 微米以下;支持 6 英寸、 8 英寸和 12 英寸尺寸的晶圆加工;支持 2 层和 3 层的高级加工技术。 提供 4 层连接。尺寸: 6 英寸, 8 英寸.12 英寸。材料: AL6061, AL7075, SUS304, SUS316OFHC(Oxygen free High Conductivity Copper) 平面度公差:小于 3 um 连接: 2floor, 3floor, 4floor 表面处理: Anodizing, Electroless Nickel Plating,Gold Plating, Mirror Polishing。无氧铜 (OFHC) 半导体晶圆真空卡盘,无氧铜 (OFHC) 材料可延长晶圆卡盘的使用寿命,并可MAX限度地减少杂质进入半导体材料,从而防止潜在污染,而且易于加工和成型,可精确匹配卡盘设计。 可加工 。 然而,这种材料的加工要求极高,需要特别小心和精确才能获得光滑的表面光洁度,例如翘曲或毛刺、易变形和加工过程中的硬化。激光束可以聚焦到很小的尺寸,因而特别适合于超精密加工。激光精密加工质量的影响因素少,加工精度高。韩国加工超精密镜头夹持器
微泰拥有激光超精密钻探技术。 随着电子和半导体行业的快速发展,对更小、更精细的微孔的要求越来越高,这使得该行业很难通过机械加工来实现。 自 90 年代后期以来,微泰一直专注于使用激光的微孔领域,并越来越多地寻求 超精密业务。 客户越来越多。 我们将为您提供 25 年的精细钻孔技术,包括使用纳秒激光的超精密钻孔技术,以及使用 飞秒激光的超精密激光技术。纳秒红外激光器套钻系统-功率:50W,脉冲能量:100uJ,频率:100Hz,在利用现有的纳秒激光加工微孔时,由于长激光脉冲产生的热量积累,会在孔周围生成颗粒。出现了表面物性值变形等各种问题。飞秒绿色激光先进的螺旋钻进系统-功率:5W,脉冲能量:13 uJ,频率:100Hz,飞秒激光利用相对较短的激光脉冲,热损伤很小,加工对象没有物性变形层,表面平整,实现超精密微孔加工。本系统的技术是先进的螺旋钻孔技术,采用高速螺旋钻削技术。半导体加工超精密超精细超精密加工常见的有CNC车床、研磨加工、放电及线切割加工等,由于大部分都由程式输入数据后加工。
刀片/刀具/(BLADE / CUTTER/ KNIFE)微泰生产和供应用于 MLCC 的各种工业刀具,包括垂直刀片、刀轮刀具、修剪刀片和镜头刀具。 我们拥有制造刀片的自主技术,并拥有使用飞秒激光的切割机边缘校正技术,飞秒激光抛光技术,实现了无比锋利和提高使用寿命。刀锋(刀刃)的无凹痕、无缺陷的边缘。通过自动化检测设备进行管理,并以很高水平的光照度和直度进行管理。应用MLCC切割,相机模块+垂直刀片,刀轮切割器,镜头浇注口修整刀片、透镜切割器。特别是塑料镜头浇注口切割刀片占韩国市场90%以上。
微泰,开发了一种创新的新技术,在PCD刀具上形成断屑槽,用于加工有色金属材料。使用独特的先进技术,现在可以在PCD刀具的切削刃上形成具有所需形状的断屑槽。该技术可用于从粗加工到精加工的范围,通过将加工过程中产生的切屑尺寸控制为任意小,从而提高了刀具寿命和表面光洁度。通过改变PCD的倾角以及形成的断屑槽,可以通过降低切削力和MAX限度地减少加工过程中产生的热量来MAX限度地减少工件的变形。该技术能够生产客户所需的高精度产品,提高生产力,提高质量并降低加工成本。
从加工周期来看,激光超精密加工操作简单,切缝宽度方便调控,可立即进行高速雕刻和切割、加工速度快。
微泰利用激光制造和提供超精密产品。 凭借高效率、高质量的专有加工技术,我们专门用于加工 Φ0.2 度以下的超精密微孔,并采用了Φ0.005 mm 激光钻孔技术,使用飞秒激光器。 此外,我们还在不断地开发技术,以提供更小的微米级孔。激光加工不同于常规的 MCT 钻孔加工,在热处理后,孔的加工容易,因此即使在极强度/高硬度或热处理过的产品中,也能够获得恒定质量的孔,如 PCD、PCBN 和 Cerama。 我可以用多种材料制成,包括硬质合金、不锈钢、热处理钢和钼。营业于半导体真空卡盘、吸膜板、COF绑定TOOL,倒装芯片键合、MLCC叠层吸膜板,MLCC印刷吸膜板,吸附板。超精密加工的精度比传统的精密加工提高了一个以上的数量级。纳米级超精密COF Bonding Tool
超精密加工是为了适应核能、大规模集成电路、激光和航天等技术的需要而发展起来的精度极高的一种加工技术。韩国加工超精密镜头夹持器
精密零件的加工生产离不开精密切削技术,半导体/LCD、MLCC、二次电池等领域尤其使用精密零件。一般磨削技术的问题是,磨削后要根据叶轮磨损量继续进行修整,修整后叶轮表面会发生细微变化,因此很难保持相同的质量。相反,ELID研磨技术可以解决这些问题,因为无需研磨即可连续工作。微泰的ELID(在线砂轮修正)技术和经验为基础,实现高精度的切削加工技术,由此生产的产品具有一般难以生产的高精度平坦度和质量。提高真空板(VACUUM 板)表面粗糙度,改善刀片的表面粗糙度,减少研磨时的Burr,无需手动调整可以连续稳定作业。刀片可以做到,材料:碳化钨、氧化锆等。刀片厚度(t1):100㎛叶片 。边缘厚度(t2):低于0.2㎛。刀刃线性度:低于5㎛。刀刃对称性:低于3㎛。刀片边缘粗糙度:Ra0.02㎛。角度(θ)精度:±0.3°韩国加工超精密镜头夹持器