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河南PECVD管式炉研究所专用

发布时间:2020/10/18

真空箱式炉以1800型硅钼棒为加热元件,采用双层壳体结构和厦门宇电50段程序控温系统,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,真空电阻炉普遍应用于金属材料在低真空、还原性、保护性气氛下的热处理;也可以用于特殊材料的热处理。 二、设备特点 1、设计理念 本系列陶瓷纤维炉衬热处理炉引进国外先进技术、秉承欧洲工业炉高性能、自动化程度高、操作界面简单易学的特点; 2、自动化控制 1.控温方式:控温热电偶和智能数显温控仪表、可控硅模块和移相触发系统、电加热元件组成闭环控制系统,自动控制炉内各区的温度,并保持全炉膛内温度均匀一致; 2.负载恒流、恒压、恒功控制技术,根据不同负载特性,有效的保护断电引起损坏负载问题; 3.可设置多条时间曲线,曲线总段数多达20段; 4.具有“给定值+时间值”和“升温段+恒温段”两种程序设置模式可选; 5.所有参数可按键设定,数据自动保存不丢失; 3、一体化结构 电控系统与炉体一体化结构、操作简单,减少占位; 炉子拆、装碳棒时,切勿用力过大,以免碳棒脆断。河南PECVD管式炉研究所专用

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箱式炉注意事项: 1. 送排气时,不得在炉门正面操作,以防喷火孔突然爆炸喷火伤人 2. 应经常用火把检验炉体各部位的泄漏情况 3. 原料气罐、气瓶周围严禁明火,应有防火、防爆、防触电等装置或灭火器材 4. 管路应该用浓肥皂试漏,严禁用火把、丙烷气在压力小于200kPa时使用,丁烷气压力在5kPa禁用 零件的清理、检验、装夹要求同井式炉渗碳基本相同,但还应注意下列几点: 1. 该种炉型渗碳无中间试棒,用控制炉气碳势和渗碳时间的长短来确定渗碳层深,终检试样同零件装在同一筐夹具中 2. 检查炉内电阻板,辐射管是否开裂变形,是否水平,炉内抗渗碳砖的完好情况,砖缝漏气情况 3. 淬火升降机构升降平稳、制动可靠,工件进出炉轨道畅通 4. 淬火油槽的油加热系统、循环系统、冷却系统正常。油量充足,油中不得有水和碳黑,油循环定向导板应将油流向料管 5. 吸热式气氛碳势(组分体积分数)应在0.8%以上(露点0~-5ºC),氮基气氛中氮气体积分数大于98%,用净化后氮基气氛中氮气体积分数大于99.99%上海真空管式炉高校专用立式炉升温快、高节能、高精度、高稳定性、保温性能好。

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管式炉的使用规范和注意事项有哪些一.管式炉具有抗干扰能力强,控制精度高,冲温值小的特点 二.与立式炉相比智能控制仪,管式炉仪表采用模块化结构,EMI克制技术模糊PID调节,具有抗干扰能力强,控制精度高,冲温值小。 三.双四位LED数码显示,加热功率光柱显示。 四.管式炉具有手动\自动无干扰切换控制参数自整定功能,而箱式电炉却没有这种功能。可编程满足10个时段连续控温和恒温的要求,实现定时自动升温和恒温。 五.真空系统采用特种密封技术,真空度大,空气泄露小,真空度达0.1MPa。充分体现快速、准确、随意、人性化设计。

PECVD管式炉的使用注意事项: 炉管内气压不可高于0.02MPa。 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议选购减压阀,使用时会更加安全。 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态。 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。 石英管的长时间使用温度<1100℃。 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生。炉子初次使用或长时间不用后,要在 120℃左右烘烤 1 小时,在 300℃左右烘烤 2 小时后使用。

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管式炉均系采用国际先进技术,自行研制开发的高性能高节能的新型电炉,有单管、双管、卧式、可开启式、立式、单温区、双温区、三温区等多种管式炉型。主要应用于大专院校、科研院所、工矿企业等实验和小批量生产之用。具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空炉型等。管式炉的特点 1、外观采用耐高温、耐腐蚀油漆处理。 2、控制台采用智能PID数显控制器、稳定性好、精度高,配有电流表、结构新颖。 3、炉门采用加厚、加固处理,防止变形4、炉衬采用高纯氧化铝和保温棉,保温效果好 5、炉膛温度时时检测功能(不加热情况下同样显示炉膛实际温度,便于随时观察炉膛温度情况)。具有过载保护和短路保护6、炉壳选用不错钢板折边焊接制成,工作室为耐火材料制成的炉膛,加热元件置于其中,炉与壳间用保温材料砌筑。箱式气氛炉可选择进口单设定点或40段可编程控制器。四川PECVD管式炉操作规程

多温区管式炉以1800型硅钼棒为加热元件,采用双层壳体结构和40段程序控温系统。河南PECVD管式炉研究所专用

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