研磨减薄机为精密研磨抛光设备,被磨、抛材料放于平整的研磨盘上,研磨盘逆时钟转动,修正轮带动工件自转,重力加压或其它方式对工件施压,工件与研磨盘作相对运转磨擦,来达到研磨抛光目的。产生磨削作用的磨料颗粒有两种来源,一种来自于不断外加(常称为游离磨料);另一种方法是将磨料颗粒固定在研磨盘中(常称为固着磨料)。减薄机是用涂上或嵌入磨料的研具对工件表面进行研磨的磨床。坂口电子机械(上海)有限公司的主要用于研磨工件中的高精度平面、内外圆柱面、圆锥面、球面、螺纹面和其他型面。减薄机工作原理和特点:采用伺服调速及丝杆升降,使整机工作时起动平稳、运转稳定。硅片化学减薄机设备
减薄机、抛光机在很大程度上已经实现全自动,这样可以提高生产的效率以及生产的产品质量。而这种控制着新型机器的程序就是PLC,PLC较基本的功能是逻辑运算、定时、计数等,用来对机器的逻辑控制,可以取代传统的继电器控制。而大中型PLC都有多路的模拟量输入输出和PID控制,甚至有的小型PC也带有模拟量输入输出。这样,PLC可以作为模拟量控制,用于过程控制。而且,用PLC经验构成监控系统,进行数据采集和处理,监控生产过程。减薄机属于典型的自动化设备,它的结构包括工件工作台进给机构、工件调整机构、研磨轮进给及压力控制机构和自动控制系统四大部分。研磨加工过程就是利用游离磨粒对零件表面进行刮削和挤压去除材料的过程,达到提高平面度和降低表面粗糙度的目的。杭州平面化学减薄机研磨减薄机又为高速减薄机,精密减薄机。
研磨减薄机由法兰、压盖、活动垫圈、调节手柄、定位盘、静磨片、法兰II、动磨片、输送推进器、冷却水循环系统、机械密封件、水冲式机械密封装置、电动机、调节盘、壳体、在位清洗装置、底座组成,水冲式机械密封装置设在主轴上,机械密封件设在水冲式机械密封装置两端;冷却水循环系统设在水冲式机械密封装置外部,与输送器一端相连接;动磨片设在输送器的另一端,动磨片制成锥形;静磨片与动磨片相配合,静磨片对应制成锥形;活动垫圈位于静磨片的后面和调节盘前方,耐磨、抗腐蚀、难变形、调整灵巧、稳定性好、精度高、操作简单、高效节能。
减薄机出现阻塞的原因以及消除这种阻塞的办法:1、砂带接头部分呈现阻塞,砂带的接头厚度超过一定外表,有用的研磨残存率变小,柔软度下降,都会呈现阻塞,需求查看其接头的厚度、质量以及接头本身的柔软度。2、正常阻塞,是在平面研磨抛光机加工中呈现的正常阻塞。3、砂带呈现纵向部分阻塞,都需求及时的查看修整以及替换。4、砂带的单侧呈现过早阻塞,主要是因为与工作台的平行度呈现差异,需求调整两者之间的平行度;压板的某些部分呈现缺点等都需求查看、修整或许及时替换。5、过早阻塞的原因有多种,平面研磨抛光机研磨中压力过大,需求下降压力;砂带的粒度使其压力过大,也需求下降研磨压力;对加工工件来说,挑选的砂带粒度不合适,需求选用正确的粒度;粘胶的硬度不合适或许是呈现老化,需求替换压磨板;砂带的温度过高,需求恰当的枯燥,下降砂带温度。在减薄机处于开机或者关机时的状态,工作人员是确定还能接触工作的表面。
研磨减薄机之化学机械研磨的特点:研磨减薄机之化学机械研磨技术综合了化学研磨和机械研磨的优势。单纯的化学研磨,表面精度较高,损伤低,完整性好,不容易出现表面/亚表面损伤,但是研磨速率较慢,材料去除效率较低,不能修正表面型面精度,研磨一致性比较差;单纯的机械研磨,研磨一致性好,表面平整度高,研磨效率高,但是容易出现表面层/亚表面层损伤,表面粗糙度值比较低。化学机械研磨吸收了两者各自的优点,可以在保证材料去除效率的同时,获得较完美的表面,得到的平整度比单纯使用这两种研磨要高出1-2个数量级,并且可以实现纳米级到原子级的表面粗糙度。减薄机在磨削时具有的优点:砂轮与硅片的接触长度,面积。杭州平面化学减薄机
研磨线速越高其发热量就越大,随着热量的增大,研磨盘的不平面容易影响工件的平面度。硅片化学减薄机设备
研磨减薄机主要用于两面平行的晶体或其它机械零件进行双面研磨,特别是薄脆性材料的加工。适用于各种材质的机械密封环、陶瓷片、气缸活塞环、油泵叶片轴承端面及硅、锗、石英晶体、石墨、蓝宝石、光学水晶、玻璃、铌酸锂、硬质合金、不锈钢、粉灰冶金等金属材料的平面研磨和抛光。其主要特点有:1、采用无级调速系统控制,可以轻易调整出适合研磨各种部件的研磨速度。采用电—气比例阀闭环反馈压力控制,可以调控压力装置。上盘设置的缓降功能,有效的防止薄脆工件的破碎。2、通过一个时间继电器与一个研磨计数器,可以按加工要求准确设置和控制研磨时间和研磨圈数。工作时可调整压力模式,达到研磨设定的时间或圈速的时候就会自动停机报警提示,实现半自动化的操作。通过增加厚度光栅尺形成闭环控制,达到设定的厚度会自动停机,实现在线控制生产。3、主机一般采用调速电机驱动,配置大功率减速系统,软启动、软停止,运转平稳。4、通过上、下研磨盘、太阳轮、游星轮在加工时形成四个方向、速度相互协调的研磨运动,达到上下表面同时研磨的高效运作。硅片化学减薄机设备