减薄机的特点：先进加工制造业和光电子产业都是中国的特色产业和优势产业，也是中国重点发展产业，研磨加工技术对这两个产业的发展都具有重要作用。项目组研制出的采用本项新技术的减薄机，即新型高速减薄机。由于性能先进，有关的减薄机样机已在国内十几家单位得到了应用，而且还两次出口到澳大利亚，受到了国内外用户的普遍好评。本项技术只限于用于个别件的加工中，应用得还不够普遍，还应进一步完善加工工艺，优化研磨工艺参数，扩大研磨加工范围；还要完善减薄机，提高减薄机性能，改进减薄机造型，使其达到实用化、商品化的程度，以便更普遍地推广应用。减薄机为下研磨盘升降方式。研磨减薄机之化学机械研磨技术综合了化学研磨和机械研磨的优势。上海全自动化学减薄机
研磨减薄机主要用于两面平行的晶体或其它机械零件进行双面研磨，特别是薄脆性材料的加工。适用于各种材质的机械密封环、陶瓷片、气缸活塞环、油泵叶片轴承端面及硅、锗、石英晶体、石墨、蓝宝石、光学水晶、玻璃、铌酸锂、硬质合金、不锈钢、粉灰冶金等金属材料的平面研磨和抛光。其主要特点有：1、采用无级调速系统控制，可以轻易调整出适合研磨各种部件的研磨速度。采用电—气比例阀闭环反馈压力控制，可以调控压力装置。上盘设置的缓降功能，有效的防止薄脆工件的破碎。2、通过一个时间继电器与一个研磨计数器，可以按加工要求准确设置和控制研磨时间和研磨圈数。工作时可调整压力模式，达到研磨设定的时间或圈速的时候就会自动停机报警提示，实现半自动化的操作。通过增加厚度光栅尺形成闭环控制，达到设定的厚度会自动停机，实现在线控制生产。3、主机一般采用调速电机驱动，配置大功率减速系统，软启动、软停止，运转平稳。4、通过上、下研磨盘、太阳轮、游星轮在加工时形成四个方向、速度相互协调的研磨运动，达到上下表面同时研磨的高效运作。杭州小型化学减薄机种类研磨减薄机维修与保养:当出现异常和吃重现象时，要停止运转。
研磨减薄机主要特点： 1.在研磨减薄机中减薄机主机采用变频调速电机驱动，配置大功率减速系统，软启动、软停止，运转平稳。 2.在研磨减薄机中减薄机的太阳轮可以正反方向转动，游星轮自转方向可以改变，工件在载体内作既公转且自转的游星运动。 3.采用了自动供给研磨液装置，采用平面加压形式，在开放式设备上配备了加压气缸，研磨压力分轻、重、轻可随意调节压力，易于精密研磨。 4.研磨盘的平面度可以通过修整齿轮自动修正，研磨量由文本显示器计时控制，电机变频调速，启停平稳，并能选择理想的磨削速度， 5.在双减薄机中减薄机机床造型及内部结构充分考虑了操作和维修的方便性。
研磨减薄机为精密研磨抛光设备，被磨、抛材料放于平整的研磨盘上，研磨盘逆时钟转动，修正轮带动工件自转，重力加压或其它方式对工件施压，工件与研磨盘作相对运转磨擦，来达到研磨抛光目的。产生磨削作用的磨料颗粒有两种来源，一种来自于不断外加（常称为游离磨料）；另一种方法是将磨料颗粒固定在研磨盘中（常称为固着磨料）。减薄机是用涂上或嵌入磨料的研具对工件表面进行研磨的磨床。主要用于研磨工件中的高精度平面、内外圆柱面、圆锥面、球面、螺纹面和其他型面。研磨减薄机主机采用调速电机驱动，配置大功率减速系统，软启动、软停止，运转平稳。
研磨减薄机之化学机械研磨的特点： 研磨减薄机之化学机械研磨技术综合了化学研磨和机械研磨的优势。单纯的化学研磨，表面精度较高，损伤低，完整性好，不容易出现表面/亚表面损伤，但是研磨速率较慢，材料去除效率较低，不能修正表面型面精度，研磨一致性比较差；单纯的机械研磨，研磨一致性好，表面平整度高，研磨效率高，但是容易出现表面层/亚表面层损伤，表面粗糙度值比较低。化学机械研磨吸收了两者各自的优点，可以在保证材料去除效率的同时，获得较完美的表面，得到的平整度比单纯使用这两种研磨要高出1-2个数量级，并且可以实现纳米级到原子级的表面粗糙度。在研磨减薄机进行平面研磨时可以从采用游砂研磨方面来提高其研磨效率。硅片化学减薄机生产厂家
研磨盘的材质在过去的人们习惯地采用比研材料要软的材质。上海全自动化学减薄机
坂口电子机械（上海）有限公司的新一代研磨减薄机中采用超声波振动修整法，能使工件迅速达到理想的镜面效果，主要由超声波发生器、换能器等所组成，在进行修整的时候，会将超声波振动修整的装置调到振动状态，当修整磨粒的时候会通过砂轮与修整的元件之间的时候，会利用修整的元件进行能量的传递，能够有效的去除砂轮表面的几何级，使其磨粒会突出砂轮的表面。新一代研磨减薄机为精密研磨抛光设备，被磨、抛材料放于平整的研磨盘上，研磨盘逆时钟转动，修正轮带动工件自转，重力加压或其它方式对工件施压，工件与研磨盘作相对运转磨擦，来达到研磨抛光目的，由于这种方法主要是采用振动方式，在修整磨粒的本身会带有一定的能量，因此能够得到比较良好的修整效果。上海全自动化学减薄机
