硅片自旋转减薄机的特点:(1)可实现延性域磨削.在加工脆性材料时,,当磨削深度小于某--临界值时,可以实现延性域磨削通过大量试验表明,Si材料的脆性、塑性转换临界值约为0.06m.进给速度厂控制在10~m/min,承片台转速取200r/min,则每转切割深度可达到0.05m.对于自旋转磨削由公式可知,对给定的轴向进给速度,如果,工作台的转速足够高,就可以实现极微小磨削深度。(2)可实现高效磨削.由公式可知,通过同时提高硅片转速和砂轮轴向进给速度,可以在保持与普通磨削同样的磨削深度情况下,达到较高的材料去除率,适用于大余量磨削。当减薄机减薄后片子出现裂痕我们需要对砂轮进行修锐并检查减薄步进速率。杭州硅片减薄机价格优惠
硅片酸洗减薄机箱体内支撑有旋转提篮,旋转提篮由两个圆形固定板、横向连接于两个圆形固定板之间的圆柱状围笼、设于两个圆形固定板外侧面的转轴及提手组成,圆柱状围笼由围笼本体、与围笼本体铰接的半圆状笼盖组成,半圆状笼盖的开口侧边沿与围笼本体利用锁扣连接,围笼本体底面均匀间隔设置多个隔棱,箱体外侧一端固定有滑道且滑道上方滑动连接有支座,支座的水平板面上固定有倒置的伺服电机,伺服电机的电机轴通过传动机构与旋转提篮的转轴相连,箱体的内侧壁上另固定有循环水管。结构设计合理、操作方便,实现硅片单面化学减薄,不生产批量大,而且提高了成品率,节省资源,降低生产成本。减薄机减薄后厚度均匀性需要对砂轮进行修平,校正砂轮环中心固定螺母及球轴承主轴。陶瓷减薄机公司晶圆减薄机,是在制作集成电路中的晶圆体减小尺寸,为了制作更复杂的集成电路。
吸盘式晶元硅片减薄机,在现有的酸洗减薄机的基础上进行了设计,通过增加能够对单晶硅片进行安装固定的吸气盘,并且配合上整体的圆形回转式的结构,能够通过电机驱动带动设备进行工作,也能通过增加密封圈防止硅片出行偏移,吸盘的强力吸附力,能减少硅片出现破裂损坏,也不会因为硅片的破裂对其他的硅片造成伤害,一次性能够加工多个硅片,加快加工的速度,提升加工的效率,提高产品质量产量的同时,减少运营成本的投入。对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型。
晶圆加工减薄机,其结构包括遮盖、研磨头、开合器、吸盘结构、机体、控制面板,机体前端面上设有控制面板,机体顶端一侧活动安装有遮盖,遮盖和机体之间开安装有开合器,遮盖内壁正中间安装有研磨头,和研磨头相对应的机体顶端面上安装有吸盘结构,吸盘结构和研磨头相互配合。吸盘结构设有输气器、吸盘、气管,吸盘位于输气器正上方,输气器和吸盘活动卡合,吸盘上设有两个以上的气管,气管和吸盘活动卡合。吸盘结构设有堵头,堵头和吸盘活动配合。输气器由抽气管、底盘、通气腔组成,底盘内部设有通气腔,通气腔另一端贯穿底盘另一端,底盘另一端正中间设有抽气管,抽气管和底盘互相垂直,抽气管和通气腔贯通,通气腔靠近抽气管的那端比另一端要窄。减薄机吸盘装置,其解决了脆性材料难磨削的问题,使用方便、安全。
立式减薄机采用高精密丝杆及导轨组件,驱动方式是伺服驱动,可根据不同材质的工件及工艺要求由PLC控制的驱动模式而相应的改变丝杆的转速,也就是砂轮的进刀速度,速度0.001-5mm/min可调,控制进给精度由高分辨率光柵尺检测。采用先进的中国台湾品牌PLC和触摸屏,自动化程度高,实现人机对话,操作简单一目了然。设备可检测磨削扭力、自动调节工件磨削速度,从而防止工件磨削过程中因压力过大产生变形及破损,自动补偿砂轮磨损厚度尺寸,可使直径150晶片厚度减薄到0.08mm厚而不会破碎。蓝宝石减薄机由吸盘、砂轮、砂轮主轴及驱动组件、丝杆进给组件等组成。石英玻璃减薄机价格
减薄机PC工控机系统,触摸屏控制,除手动上、下片外一键式自动完成研削加工。杭州硅片减薄机价格优惠
多工位减薄机工件轴包括负压吸盘、负压吸盘驱动轴和固定连接驱动轴上的工件轴齿轮,负压吸盘底部设置有气管旋转接头。对接驱动机构包括固定座、支撑块、工件轴驱动电机、齿轮轴、摆齿齿轮座、驱动主齿轮和驱动从齿轮,其中,工件轴驱动电机安装在固定座上,齿轮轴与工件轴驱动电机的输出轴连接,驱动主齿轮固定在齿轮轴上,摆齿齿轮座安装在齿轮轴上,且摆齿齿轮座可绕齿轮轴自由摆动,驱动从齿轮安装在摆齿齿轮座上且可自由转动,驱动从齿轮与驱动主齿轮啮合连接,摆齿齿轮座在远离驱动从齿轮的一端和支撑块之间连接有弹簧,支撑块上安装有用于对摆齿齿轮座摆动时位置进行限定的限位装置。杭州硅片减薄机价格优惠