PECVD管式炉的主要特点：1.气体预热——增加前端气体预热区，沉积速度更快，成膜效果更好；2.AIO控制系统——加热控制、等离子射频控制、气体流量控制、真空系统控制集中于一个7英寸触摸屏进行统一集中调节和操控，协调控制——科探AIO控制系统；3.管内压力自动平衡——管内压力实时监测，自动平衡管内压力。4.智能气路通断——每路气体均可定时通断，省时省力；5.射频功率和开关定时控制——预先设定好功率的大小和打开与关闭的时间，自动运行；6.炉膛移动速度可调——根据实验要求，用户可设定炉膛左右移动的速度可距离；7.整机结构融为一体——移动方便，避免分散组装的困扰。管式炉充入气体注意：确认各阀门都处于关闭状态，接通氢气气路时，对各接头处用肥皂水检漏，确认不漏气。内蒙古箱式气氛炉实验室**
加热管式炉经历了一段发生、发展的过程。随着炼油和石油化工技术的发展，对加热炉的要求不断提高。我们按照‘单独自主、自力更生、艰苦奋斗、勤俭建国”的方针，必须不断地对现行的加热炉进行革新、挖潜、改造。也应采用一些新型的加热炉以适应工业生产发展的需要。管式炉具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空炉型等，运用于冶金，玻璃，热处理，锂电正负极材料，新能源，LED发光材料，磨具等行业测定材料在一定气氛条件下的专业实验设备。陕西CVD管式炉批发价真空管式炉操作之前提前做好检查，不能存在侥幸心理。
管式炉炉膛为一长方形，采用u形硅碳棒两侧加热，共4根，装置运用便利。其两头开有圆孔，便于刚玉炉管穿过炉膛。炉膛资料采用1500型陶瓷纤维,其他保温采用1260陶瓷纤维资料，具有的节能功能和疾速升温功能。管式炉采用双层壳体结构和多段程序控温系统，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶体纤维材料，双层炉壳间配有风冷系统，能快速升降温，采用耐高温不锈钢、两端用不锈钢法兰密封，可通氮气、氢气、氨气、氯气等，用浮子流量计控制进气流量、该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。
PECVD管式炉的具体工艺流程？硅烷与氨气反应生成SiN淀积在硅片表面形成减反射膜。利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术。由于等离子体存在，促进气体分子的分解、化合、激发和电离，促进反应活性基团的生成，从而降低沉积温度。PECVD在200℃～500℃范围内成膜，远小于其它CVD在700℃～950℃范围内成膜。反应过程中有大量的氢离子注入到硅片中，使硅片中悬挂键饱和、缺陷失去活性，达到表面钝化和体钝化的目的。对于管式炉这样的一种设备，在实际的这个过程中，为了节省成本，通常都需要使用到大量的炉衬。
真空管式炉的操作流程：1、控制好气压。真空管式炉在打开之前，一定要保证各个东西的作业情况，包括水，电，气体，等等，保证电压在380伏特左右，另外，这种电压不能够偏差超过10%，而且，气压能够达到0.6毫帕以上，水压的要维持在0.5毫帕左右以上，同样，整个管式炉满足上述要求之后，然后再通电，在这种情况之下再进行操作。2、加热室保持干净。在真空管式炉操作之前，如果要放一些东西的话，首先应该查看加热室，加热室须保证在洁净的环境当中。另外，里面不能够有任何的杂物，不能有一些油污，也不能用水，在里面查看各类不同的商品，须要干燥清洗。整个设备在装入料子之前，就应该把旋转按钮扭到相关的方位，然后再发动机械泵和抽阀，这样，就可以接通整个设备的电源！当整个管式炉的高度达到了1000帕的时候，也要及时地对他的监测点进行检测，如果条件达不到的话，那么，整个泵就不可能敞开，点击按钮，基本上不可能有任何的反响。等到泵的家里有时刻能够达到九十分钟的时候，就可以看一下触摸屏上的计数器，翻开高阀，抽高真空。当管式炉里面开始进行作业的时候，要留意监测点的位置。使用真空管式炉的操作：升温和定温分别是以红灯和绿灯表示的，红灯表示恒温，绿灯则表示升温。青海多温区管式炉价格
炉子初次使用或长时间不用后，要在 120℃左右烘烤 1 小时，在 300℃左右烘烤 2 小时后方可使用。内蒙古箱式气氛炉实验室**
pecvd管式炉烟囱和烟道：其作用是将炉膛的烟气排入大气中，cvd管式炉，内部均用耐火和保温材料衬里。为调节烟气排除速度，还装有可活动挡板。烟气流动为上抽式的加热炉烟囱安装在对流室上部；烟气流动为下行式的加热炉，烟囱安装在炉侧，并设有烟道。吹灰器：其主要作用是防止积灰，管式炉膛，尽量保持炉管表面始终干净，pecvd管式炉，用以强化对流管的对流传热，管式炉，提高炉的热效率。炼厂应用的吹灰器有自动伸缩式和固定旋转式两种。内蒙古箱式气氛炉实验室**
