晶圆减薄机,是在制作集成电路中的晶圆体减小尺寸,为了制作更复杂的集成电路。集成电路制造技术的进步首先来源于市场需求的要求,其次是竞争的要求。在集成电路制造中,半导体硅材料由于其资源丰富,制造成本低,工艺性好,是集成电路重要的基体材料。从集成电路断面结构来看,大部分集成电路是在硅基体材料的浅表面层上制造。由于制造工艺的要求,对晶片的尺寸精度、几何精度、表面洁净度以及表面微晶格结构提出比较高要求。因此在几百道工艺流程中,不可采用较薄的晶片,只能采用一定厚度的晶片在工艺过程中传递、流片。当减薄机研磨抛光后厚度均匀性较差时,我们要用平面度测量规测量盘面,用小块的砝码重力修正。上海硅片减薄机供应商
减薄机采用真空吸盘,硅片等脆性材料要求减薄厚度在微米之间,比较容易损坏,甚至可能在磨削过程中已经损坏,比较难磨削达到要求。并且硅片、兰宝石在磨削过程中产生热量比较小,它们本身自带散热性,而陶瓷片等不具有散热性或散热性比较小,片子磨削较薄,在磨削产生热量和冷却过程中,由于表面和内部产生温差,膨胀程度不同而形成过大的内应力,将会引起片子的变形和损坏,减薄的片子本身材料脆,厚度薄,比较难确保在厚度达标的情况下保证片子完好无损。蓝宝石减薄机由吸盘、砂轮、砂轮主轴及驱动组件、丝杆进给组件等组成。双面减薄机厂家半自动双轴减薄机两个砂轮轴,无需更换砂轮即可完成粗磨+精磨加工;
在显示屏制作工艺中增加了减薄工艺,通过物理和化学方法使显示器厚度达到轻薄化的目的,目前玻璃化学腐蚀工艺主要使用氢氟酸混合物对液晶玻璃进行减薄,减薄时使用刻蚀液的刻蚀方式有浸泡式、液晶玻璃双面喷洒式以及以及单面的瀑布流式,由于浸泡式、液晶玻璃双面喷洒式都具有刻蚀后表面不光滑的现象,所以越来越多的使用瀑布流式。现有技术对于液晶玻璃减薄,液晶玻璃的刻蚀工艺以及清洗工艺是分开操作,操作过程较为繁琐,喷洒机构满足不了液晶玻璃的瀑布流式刻蚀,为此,我们提出一种集刻蚀工艺以及清洗工艺为一体的适用于瀑布流式玻璃减薄的液晶玻璃减薄机来解决上述问题。
单晶硅片是由纯度极高的单晶硅制成,是一种具有基本完整的点阵结构的晶体,单晶硅圆片也成为晶元,是生产集成电路所用的载体,在集成电路的生产过程中起着至关重要的作用。在晶元硅片的使用过程中,有时需要对晶元表面进行减薄处理。然而,现有市场上的晶元减薄机一般是直接将单晶硅片放进清洗设备的内部,通过直接对设备内部加注进行辅助加工的酸性溶液进行工作,但是直接的摆放硅片可能会在进行加工的过程中对其造成损伤,并且飞溅的碎屑也会对其他的硅片造成损伤,无法保证加工产品的质量和加工效率,浪费资源增加了运营的成本。减薄机减薄到一定的厚度有利于后期封装工艺。减薄机具有自动测厚补偿、多段研削程序、超负载等待等功能,满足各类工艺需求;
立式减薄机采用高精密丝杆及导轨组件,驱动方式是伺服驱动,可根据不同材质的工件及工艺要求由PLC控制的驱动模式而相应的改变丝杆的转速,也就是砂轮的进刀速度,速度0.001-5mm/min可调,控制进给精度由高分辨率光柵尺检测。采用先进的中国品牌PLC和触摸屏,自动化程度高,实现人机对话,操作简单一目了然。设备可检测磨削扭力、自动调节工件磨削速度,从而防止工件磨削过程中因压力过大产生变形及破损,自动补偿砂轮磨损厚度尺寸,可使直径150晶片厚度减薄到0.08mm厚而不会破碎。蓝宝石减薄机砂轮的大小事根据蓝宝石减薄机直径大小来定,一般有150-170-210mm的规格。浙江双面减薄机公司
全自动减薄机产品特点:兼容性好。上海硅片减薄机供应商
硅片减薄技术主要应用于6500V高压系列的可控硅、整流二极管、高密度二极管的生产工艺,单面减薄的作用是提高硅片单面的表面毫伏数,以便于下一步磷扩散工序的顺利完成。目前,国内其他企业都采用常规减薄工艺,即用磨床减薄,其存在如下问题:减薄的均匀性差,减去的厚度难以精确控制,容易碎片,而且经过金刚砂研磨,又引入杂质,造成硅片表面态难以控制。在磨削工件与吸盘之间设置了由铝、不锈钢或铝箔制成的散热工作台的新型的减薄机吸盘装置,其解决了脆性材料难磨削的问题,使用方便、安全。上海硅片减薄机供应商