喷射真空泵是利用液体或者气体的高速射流携带被抽气体，使被抽容器内获得一定真空度的一种低真空泵。按工作介质可分为水喷射泵、大气喷射泵和水蒸汽喷射泵。喷射泵特点：结构简单、工作稳定可靠；可抽除含有水蒸汽、粉尘的气体、易燃易爆气体和腐蚀性气体；抽气量大，应用普遍：冶金、化工、食品制造等领域；缺点：抽气效率低，能量损失大。水喷射泵是用水作为工作介质，通过高速射流来引射被抽气体，使容器达到一定真空度的粗真空获得设备。单级泵的极限压强为3.3kPa，两级串联可获得好一些的真空度，主要受水饱和蒸汽压的限制。四级爪形真空泵有8个端面，不宜抽除大量可凝性气体。苏州滑阀式机械真空泵
锆铝吸气泵采用锆铝合金材料在高温下吸附活性气体；锆铝吸气泵，优点：结构简单、体积小、造价低，操作安全可靠，维修方便，清洁无油，对活性气体，尤其是对氢具有很高的抽气能力。缺点：不能抽惰性气体,锆铝吸气泵对氢、氘、氚吸气是可逆的，其他活性气体则是以稳定的化合物形式扩散到吸气剂内。锆铝吸气泵的饱和与重启，锆铝吸气剂长期在高温下工作，会出现“饱和”，吸气率下降；甚至吸气剂表面形成氧化膜，失去吸气性能,当吸气速率降低到80%时，就需要进行再重启处理：在<1Pa的压强下，加热至750~850 ℃ ，使吸气剂表面的固体氧化膜分解，使金属和气体的产物向更深的体内扩散，生出高度活泼的金属表面，同时除去过量的氢一般的吸气带可以反复重启多次(~20次)，直到全部的吸气剂饱和为止—更换锆铝合金吸气带。简易真空泵费用真空泵安装的时候周围应留有充分的余地。
油扩散泵的至大出口压强取决于比较后一级喷嘴的工作状态，与蒸汽射流密度、喷嘴蒸汽流量以及比较后一级喷嘴的结构有关。比较大出口压强：油扩散泵的比较大出口压强取决于比较后一级喷嘴的工作状态，与蒸汽射流密度、喷嘴蒸汽流量以及比较后一级喷嘴的结构有关。减少返油的措施，(1) 返油源于以下四个方面，凝结于顶喷嘴表面的油膜蒸发，占总返油量的70%左右；泵壁上凝结油膜的蒸发，与泵壁的冷却状况有关；蒸汽射流碰壁后的散射，与射流强度有关；蒸汽射流中油分子向高真空侧的扩散，与射流温度有关，在顶喷嘴上加挡油帽，可大幅减少顶喷嘴表面油膜的蒸发返油量，且对泵的抽速影响不大——现代扩散泵的标配；(2) 减少返油的措施，在泵入口处加挡油环或者挡油阱，可以减少泵壁上凝结油膜的蒸发返油量。
石油，用于抽取液面上方挥发气体的泵就是螺杆真空泵。水环式真空泵的结构比较简单，两面有两个圆盘，旁边是膜片，中间就是叶轮。水环式真空泵可用于抽真空、电厂脱硫等。氧化铝行业中，由于各种原因离心机不能用，可以用真空泵对铝粉做干燥处理。其实水环式真空泵可以当压缩机，不知道冶金方面是不是这样的。因为水环式压缩机和水环式真空泵的原理是一样的，只不过在进出口、结构方面有些区别。有些原材料是易燃易爆物品，如氢气，就可以使用水环式压缩机。由于油气不能和水混合，所以现在油库里油气的回收使用的就是干泵，如螺杆泵。工艺要求达到的真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求。
由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。真空泵要经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。井用真空泵
真空泵需要注意正确的使用。苏州滑阀式机械真空泵
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。苏州滑阀式机械真空泵
