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减薄机基本参数
  • 产地
  • 上海
  • 品牌
  • 坂口
  • 型号
  • 单双面研磨抛光
  • 是否定制
减薄机企业商机

硅片酸洗减薄机,包括用于盛装混酸液体的箱体,其特征在于:箱体内设有支架并利用支架支撑有用于装夹硅片的旋转提篮,旋转提篮由两个圆形固定板、横向连接于两个圆形固定板之间的圆柱状围笼、设于两个圆形固定板外侧面的转轴及对称设于两个圆形固定板外周面上的提手组成,圆形固定板、圆柱状围笼和转轴的轴心线重合,圆柱状围笼由围笼本体、与围笼本体铰接的半圆状笼盖组成,半圆状笼盖的开口侧边沿与围笼本体利用锁扣连接,围笼本体底面极低位置处沿围笼本体长度方向均匀间隔设置多个隔棱,箱体外侧一端固定有滑道且滑道上方滑动连接有支座,支座的水平板面延伸向箱体内顶部且水平板面上固定有倒置的伺服电机,伺服电机的电机轴通过传动机构与旋转提篮的其中一侧转轴相连,箱体的内侧壁上另固定有调节温度的耐腐蚀循环水管。在减薄机使用前我们应该检查真空压力值,砂轮环使用一段时间后应该及时做修锐工作。杭州自动减薄机厂家

随着半导体技术的快速发展,半导体设备也在一代接一代的创新和发展,当今半导体设备的制造和使用涉及50多个学科和60多种化学元素等诸多方面的高技术,具有较强的技术综合性。如:硅、锗晶片(半导体器件),铌、钽酸锂晶片(声表面波器件),兰宝石(LED元件)、电子陶瓷(各种传感器)等脆性材料。脆性材料的应用越来越极广,尤其是在高新技术应用领域和前端技术应用领域发挥着不可代替的作用,半导体硅等材料作为集成电路制造的重要基体材料这时候的减薄机就需要发挥他的作用。杭州自动减薄机厂家横向减薄机磨削阻力小、工件不会破损。

除线减薄机采用了在机架上左右对称加工有弧形槽,大电机的输出轴穿过弧形槽与大刀盘连接,电机固定架的外侧设置有滚轮,滚轮可沿着安装在机架上的轨道滑行,从而带动电机固定架移动,使得大电机的输出轴在弧形槽内滑动,大刀盘收缩或者伸展,避开机场跑道上设置的照明灯,大刀盘和小刀盘呈品字形排列,这种排列方式使刀盘的刮擦去除效果更佳,在机架后部设置小刀盘,小刀盘可以弥补刮擦两个大刀盘中间没有去除的标线。本实用新型具有结构简单、操作灵活、成本低、效率高、不易产生粉尘等优点,可推广应用到已完成路面标线清楚设备或装置领域。减薄机减薄后厚度均匀性需要对砂轮进行修平,校正砂轮环中心固定螺母及球轴承主轴。

吸盘式晶元硅片减薄机,在现有的酸洗减薄机的基础上进行设计,通过增加能够对单晶硅片进行安装固定的吸气盘,并且配合上整体的圆形回转式的结构,能够通过电机驱动带动设备进行工作,也能通过增加密封圈防止硅片出行偏移,吸盘的强力吸附力,能减少硅片出现破裂损坏,也不会因为硅片的破裂对其他的硅片造成伤害,一次性能够加工多个硅片,加快加工的速度,提升加工的效率,提高产品质量产量的同时,减少运营成本的投入。对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型。为了提高减薄工艺的效率,进给系统在满足低速进给的前提下,要尽可能实现高速返回。

硅片酸洗减薄机箱体内支撑有旋转提篮,旋转提篮由两个圆形固定板、横向连接于两个圆形固定板之间的圆柱状围笼、设于两个圆形固定板外侧面的转轴及提手组成,圆柱状围笼由围笼本体、与围笼本体铰接的半圆状笼盖组成,半圆状笼盖的开口侧边沿与围笼本体利用锁扣连接,围笼本体底面均匀间隔设置多个隔棱,箱体外侧一端固定有滑道且滑道上方滑动连接有支座,支座的水平板面上固定有倒置的伺服电机,伺服电机的电机轴通过传动机构与旋转提篮的转轴相连,箱体的内侧壁上另固定有循环水管。结构设计合理、操作方便,实现硅片单面化学减薄,不只生产批量大,而且提高了成品率,节省资源,降低生产成本。减薄机尽量减少洁净间的占地面积。减薄机减薄到一定的厚度有利于后期封装工艺。上海研磨减薄机多少钱

通常在集成电路封装前,需要对晶片背面多余的基体材料去除一定的厚度。杭州自动减薄机厂家

由于在现有技术中,只在每段减薄完成后对晶圆片进行厚度测量,而每段减薄过程中设置的工艺参数并不完全精确,例如:若砂轮转速或者砂轮的前进速度设置的稍大,则对晶圆片的磨削将超过预期,导致该段减薄结束后,晶圆片的厚度小于该段设定的目标值;或者在减薄过程中自动减薄机出现故障导致对晶圆片造成损坏;或者其他异常问题。所以,如果*在每段减薄完成后对晶圆片进行厚度测量,容易出现每段减薄完成后,晶圆片厚度的实际值与该段设定值不符的问题,造成晶圆片的减薄良率下降。测量装置和自动减薄机,可以在晶圆片减薄过程中实时测量晶圆片的厚度,提高了晶圆片的减薄良率。横向减薄机可用于LED蓝宝石衬底、光学玻璃晶片、石英晶片、硅片、钨钢片等各种材料的快速减薄。杭州自动减薄机厂家

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