真空泵是比较主要的真空装备、从产生真空原理上分为：容积式真空泵（如液环泵，螺杆泵，罗茨泵等）；动量传递式真空泵（如分子泵：喷射真空泵:扩散泵均属于此类）；气体捕集式真空泵（如钛升华、锆铝合金吸气泵、低温泵溅射离子泵、热蒸发钛升华泵等）利用高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给被抽气体或气体分子，使气体不断地从入口传输到出口的真空泵。分子真空泵（分子泵）是1913年德国人盖德（W. Gaede）发明的，之后他又以气体的外摩擦作用为分子泵奠定了理论基础。—利用了气体的外摩擦输运现象，也就是分子牵引力，所以称为牵引分子泵。蒸汽喷射真空泵有一定压强的工作的真空泵设备。真空泵刮片
真空泵按工作介质可分为水喷射泵、大气喷射泵和水蒸汽喷射泵，喷射泵特点：结构简单、工作稳定可靠。可抽除含有水蒸汽、粉尘的气体、易燃易爆气体和腐蚀性气体。抽气量大，应用普遍：冶金、化工、食品制造等领域：缺点：抽气效率低，能量损失大：扩散泵：以油或汞蒸汽作为工作介质。汞扩散泵不带分馏装置，油扩散泵有分馏装置。在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。蒸馏真空泵生产厂商水喷射真空泵的动设备为一台高压水泵，关键部件为喷嘴，所以此泵结构简单，维修频率低。
真空泵是一个量大面广的产品，产量很大，产值不高，但它确实是一个直接影响到真空成套设备性能质量的必不可少的基础产品。真空泵从高/超真空到粗/低真空，其产品大致可分14大类：高/超真空——低温泵、分子泵、溅射离子泵、钛升华泵、扩散泵。中真空——干泵、双级旋片泵、罗茨泵、油增压泵、水蒸气喷射泵。粗/低真空——单级旋片泵、滑阀泵、液环泵、往复式真空泵。真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化。市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。
真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，比较好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。低温泵使被抽空间的压强很好地降低，获得并维持真空状态的抽气装置。
低温抽气原理：设法使某一固体表面温度足够低，使其低于空气中主要气体成分的饱和蒸汽压温度，则大部分气体被凝结，从而达到抽真空的目的。抽气机原理：速度分布决定捕获率的学说，认为飞到冷表面的气体分子中，单单是能量低于某一临界值的分子才被捕获；动态平衡学说，认为飞到冷表面上的气体分子停留在冷表面上，同时另外一些分子从表面蒸发，离开表面，被捕集和离开表面的分子之差就是抽气速率。低温冷凝泵：按低温冷凝原理抽真空的泵，构成：低温介质冷却的抽气表面；辐射屏；泵体。真空泵在其工作压力下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。重庆制冷真空泵
真空泵的配件有哪些？真空泵刮片
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即变容真空泵和动量传输泵。变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。 动量传输泵（分子真空泵）依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。变容真空泵又分为：往复式，旋转式（旋片式、滑阀式、液环式、罗茨式、螺旋式、爪形转子式），其它型式。国产的各种机械真空泵的型号通常是用汉语拼音字母来表示。汉语拼音字母表示泵的类型；字母前的数字表示泵的级数，单级时“1”省略；字母后边横线后的数字表示泵的抽速(L/S) 。真空泵刮片
