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减薄机基本参数
  • 产地
  • 上海
  • 品牌
  • 坂口
  • 型号
  • 单双面研磨抛光
  • 是否定制
减薄机企业商机

由于在现有技术中,只在每段减薄完成后对晶圆片进行厚度测量,而每段减薄过程中设置的工艺参数并不完全精确,例如:若砂轮转速或者砂轮的前进速度设置的稍大,则对晶圆片的磨削将超过预期,导致该段减薄结束后,晶圆片的厚度小于该段设定的目标值;或者在减薄过程中自动减薄机出现故障导致对晶圆片造成损坏;或者其他异常问题。所以,如果*在每段减薄完成后对晶圆片进行厚度测量,容易出现每段减薄完成后,晶圆片厚度的实际值与该段设定值不符的问题,造成晶圆片的减薄良率下降。测量装置和自动减薄机,可以在晶圆片减薄过程中实时测量晶圆片的厚度,提高了晶圆片的减薄良率。横向减薄机可用于LED蓝宝石衬底、光学玻璃晶片、石英晶片、硅片、钨钢片等各种材料的快速减薄。横向减薄机磨削均匀生产效率高。上海精密减薄机厂家直销

液晶玻璃减薄机操作台的右端设有电动推杆,电动推杆活塞杆的端部与连接板的右侧面固定连接。利用电动推杆推动连接板,从而推动首先滑块顶部的夹具,对夹具上夹装的液晶玻璃进行工位的转移,转移至左侧立板的底部,对液晶玻璃进行刻蚀液的刻蚀,转移至右侧立板的底部,对液晶玻璃进行刻蚀后的清洗。支杆设有四个,且四个支杆均与直角梯形支座斜面相垂直。夹具包括固定设于支杆上的回字形框以及设于回字形框四个边角内侧的通过弹簧连接的直角夹板。利用直角夹板对液晶玻璃的四个角进行夹紧。立板顶部固定气缸的活塞杆的端部与第二滑块的顶部固定连接。利用气缸推动第二滑块下移,使得喷嘴以及导流板移至液晶玻璃右侧顶部,对液晶玻璃进行刻蚀以及清洗工艺处理。蓝宝石减薄机厂家直销当前主流晶圆减薄机的整体技术采用了磨削原理设计。

在LED芯片的制作流程中,将厚片减薄是关系到成品极终良率的关键,所谓厚片,是指经过前道工序但未经过厚度减薄处理的晶圆片。减薄工艺主要是利用自动减薄机将晶圆片的蓝宝石衬底部分减薄。自动减薄机通常包括:工作台和砂轮,其中,工作台上先放置陶瓷盘,再将厚片通过蜡粘贴在陶瓷盘上,砂轮用于磨削厚片,砂轮与工作台反向旋转。为了保证减薄后晶圆片的厚度及粗糙度达到要求,减薄过程通常分段进行,每段设置不同的工艺参数以及目标厚度,经过多段减薄极终达到工艺要求。在这过程中,对于晶圆片厚度的检测,是在每段减薄完成后自动减薄机停下来才进行测量的。

新型的减薄机吸盘装置,包括砂轮主轴及通过螺钉安装在砂轮主轴下方的砂轮,其砂轮主轴上端连接有动力驱动装置;其特征在于:的砂轮主轴通过螺钉与砂轮组成一体式结构的磨削装置,其的磨削装置下方设有磨削工作台,的磨削工作台包括真空装置及通过螺钉安装在真空装置上方的吸盘,由于真空装置的腔体与吸盘形成了一体式的真空吸盘,且吸盘上通过真空吸附有上设有簇状吸附孔的散热工作台,且散热工作台由铝或不锈钢或铝箔制成,其使吸盘的真空吸附通过簇状吸附孔将磨削工件吸附在散热工作台上。减薄机由吸盘、砂轮、砂轮主轴及驱动组件、丝杆进给组件等组成。

晶圆加工减薄机,其结构包括遮盖、研磨头、开合器、吸盘结构、机体、控制面板,机体前端面上设有控制面板,机体顶端一侧活动安装有遮盖,遮盖和机体之间开安装有开合器,遮盖内壁正中间安装有研磨头,和研磨头相对应的机体顶端面上安装有吸盘结构,吸盘结构和研磨头相互配合。吸盘结构设有输气器、吸盘、气管,吸盘位于输气器正上方,输气器和吸盘活动卡合,吸盘上设有两个以上的气管,气管和吸盘活动卡合。吸盘结构设有堵头,堵头和吸盘活动配合。输气器由抽气管、底盘、通气腔组成,底盘内部设有通气腔,通气腔另一端贯穿底盘另一端,底盘另一端正中间设有抽气管,抽气管和底盘互相垂直,抽气管和通气腔贯通,通气腔靠近抽气管的那端比另一端要窄。当减薄机研磨抛光后厚度均匀性较差时,我们要用平面度测量规测量盘面,用小块的砝码重力修正。上海精密减薄机厂家直销

硅片减薄机技术的原理:当前主流晶圆减薄机的整体技术采用了磨削原理设计。上海精密减薄机厂家直销

在显示屏制作工艺中增加减薄工艺,通过物理和化学方法使显示器厚度达到轻薄化的目的,目前玻璃化学腐蚀工艺主要使用氢氟酸混合物对液晶玻璃进行减薄,减薄时使用刻蚀液的刻蚀方式有浸泡式、液晶玻璃双面喷洒式以及以及单面的瀑布流式,由于浸泡式、液晶玻璃双面喷洒式都具有刻蚀后表面不光滑的现象,所以越来越多的使用瀑布流式。现有技术对于液晶玻璃减薄,液晶玻璃的刻蚀工艺以及清洗工艺是分开操作,操作过程较为繁琐,喷洒机构满足不了液晶玻璃的瀑布流式刻蚀,为此,我们提出一种集刻蚀工艺以及清洗工艺为一体的适用于瀑布流式玻璃减薄的液晶玻璃减薄机来解决上述问题。上海精密减薄机厂家直销

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