管式炉的分类：1.从管式炉的使用温度分，可分为：1800度管式炉，1600度管式炉，1400度管式炉，1700度管式炉等2.从管式炉使用的管子分，可分为：高温真空管式炉，立式真空管式炉，实验室管式炉等3.从管式炉炉体形态分，可分为：立式管式炉，卧式管式炉等4.管式炉还有单温区管式炉和多温区管式炉之分。5.一体式管式炉和分体式管式炉之分。6.旋转管式炉和普通管式炉之分。7.从管式炉使用的加热元件分，可分为：电炉丝管式炉，硅碳棒管式炉，硅钼棒管式炉等。炉体采用双层炉壳结构，双层炉壳之间装有风机，可以快速升降温，炉壳表面温度低。青海管式炉实验室**
管式炉如何正确的安装：1、炉体的安装。管式气氛炉可放置在工作台上，以适合工作人员的操作高度，工作台的有效承载应大于200kg。2、电气的安装。电源配置：220V。按用户的电控柜配置功率应大于6Kw。热电偶的安装：插入炉膛内深度为25mm，采用N分度号补偿导线与控温仪表联接。注意：应先装石英管后装热电偶，热电偶不能与石英管接触。电炉和控制柜整体接地，接地线接地电阻应小于4Ω。电阻丝接线方式：二根并联，电源：单相220V。同时由于运输等原因，应检查炉体各螺钉的紧固情况，确认无误。管式炉均系采用先进技术研制开发的高性能高节能的新型电炉，有单管、双管、卧式、可开启式、立式、单温区、双温区、三温区等多种管式炉型。主要应用于大专院校、科研院所、工矿企业等实验和小批量生产之用。具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空炉型等。茂名CVD管式炉高校**使用真空管式炉的操作：不能使用补偿导线的时候，则需要把机械零位调整到刻度零位。
管式炉的使用维护及培养温度：1、启动自色整定：本产品能适应绝大多数控制系统，只有控制效果特别不理想时方可启动自整定，按SET键3秒进入仪表内层菜单，选定参数At后配合△或▽键开启自整定，此时At指示灯开始闪烁仪表进入自动整定参数工作状态，仪表控制加热系统在设定点付近波动二次，当At灯灭时自整定结束，新的PID参数被锁存在芯片中。2、设定温度：按SET键可设定温度，按SET键至数码管下排数据闪动,表示仪表进入温度设定状态,按△键设定值增加，按▽键设定值减小，再按一下SET键仪表回到正常工作状态温度设定完毕。3、传感器误差的修正：在确认仪表显示的值不是正确的测量值时可对显示值进行修正。按SET键3秒进入仪表内层菜单，选定参数SC后配合△或▽键可修改此参数。传感器误差的修正的范围为+50到-50，修正完成后再按SET键3秒退出。仪表出厂时修正值为0，使用时要防止把显示正确的仪表修正至不正确。
PECVD管式炉的具体工艺流程？硅烷与氨气反应生成SiN淀积在硅片表面形成减反射膜。利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术。由于等离子体存在，促进气体分子的分解、化合、激发和电离，促进反应活性基团的生成，从而降低沉积温度。PECVD在200℃～500℃范围内成膜，远小于其它CVD在700℃～950℃范围内成膜。反应过程中有大量的氢离子注入到硅片中，使硅片中悬挂键饱和、缺陷失去活性，达到表面钝化和体钝化的目的。 管式炉充入气体注意：接通机械泵电源，打开管式炉出口阀和机械泵气路上的两个阀门，抽5分钟。
真空管式炉的工作原理：真空管式炉属于众多管式炉中的一种，为适应不同的设备需求，该企业在使用真空管式炉时，需要就其工作原理进行了解，从而合理的发挥出设备的使用效率，达到满意的使用需求。真空管式炉的炉内环境属于真空，再结合热处理技术，真空管式炉就能完成对产品的烧结工作。由于是真空状态，放入炉内的产品不会因为与空气发生反应，从而改变原有的使用性质。另外，根据不同的标准，可以将真空管式炉分为不同的类型，不同种类的真空管式炉适用的范围也有差别。而气氛箱式实验电炉则主要对于在特定气氛下，对材料进行加热。本文主要介绍，高温炉中的真空管式炉是如何工作的。提前预热真空管式炉是非常有必要的，不然真空管式炉的炉膛容易破损。上海CVD管式炉厂家
如何选择有质量保障的真空管式炉：售后服务质量。青海管式炉实验室**
管式炉以进口电阻丝为发热元件，额定温度500℃，采用K型热电偶测温和温控仪分上下两部分自动控温，左侧电路控制下半部分加热元件，右侧电路控制上半部分加热元件，既可分开使用也可同时使用。管式炉具有较高的控温精度（±1℃）。此外该炉具有真空装置，可在多种气氛下工作，较大提高了其使用范围。该炉具有使用温度高、高精度控温、操作简单、维修方便等优点，可普遍用于冶金、机械、轻工、商检、高等院校及科研部门。管式炉一般由三个主要部分组成：辐射室、对流室及烟囱，炉底的油气联合燃烧器(火嘴)喷出高达几米的火焰，温度高达1000~1500℃、主要以辐射传热的方式，将大部分热量传给辐射室(又叫炉膛)炉管(也叫辐射管)内流动的油品。管式炉烟气沿着辐射室上升到对流室，温度降到700~900℃。以对流传热的方式继续将部分热量传给对流室炉管内流动着的油品，较后温度降至200~450℃的烟气从烟囱排**气。油品则先进入对流管再进入辐射管，不断吸收高温烟气传给的热量，逐步升高到所需要的温度。青海管式炉实验室**
