按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即变容真空泵和动量传输泵。变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。 动量传输泵（分子真空泵）依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。变容真空泵又分为：往复式，旋转式（旋片式、滑阀式、液环式、罗茨式、螺旋式、爪形转子式），其它型式。国产的各种机械真空泵的型号通常是用汉语拼音字母来表示。汉语拼音字母表示泵的类型；字母前的数字表示泵的级数，单级时“1”省略；字母后边横线后的数字表示泵的抽速(L/S) 。真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。泰州循环水多用真空泵
真空泵是一个量大面广的产品，产量很大，产值不高，但它确实是一个直接影响到真空成套设备性能质量的必不可少的基础产品。真空泵从高/超真空到粗/低真空，其产品大致可分14大类：高/超真空——低温泵、分子泵、溅射离子泵、钛升华泵、扩散泵。中真空——干泵、双级旋片泵、罗茨泵、油增压泵、水蒸气喷射泵。粗/低真空——单级旋片泵、滑阀泵、液环泵、往复式真空泵。真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化。市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。泰州循环水多用真空泵由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。
气缸内的气体随站活塞从右向左运动而逐渐被压缩，当气缸内气体的压力达到或稍大于一个大气压时，排气阀4被打开，将气体排到大气中，完成一个工作循环。当活塞再左向右运动时，又重复前一循环，如此反复下去，被抽容器内比较终达到某一稳定的平衡压力。为提高抽气效率，一般在气缸的两端均设有吸气阀和排气阀，然后用管路将气缸两端的吸气口和排气口并联起来。往复真空泵从安装形式来分，有卧式往复真空泵及立式往复真空泵；从油润滑来分，有有油往复真空泵及无油往复真空泵。卧式往复真空泵一般为有油式，立式多为无油式。
往复泵的结构主要部件有气缸及在其中做往复直线运动的活塞，活塞的驱动是用曲柄连杆机构来完成的。除上述主要部件外还有排气阀和吸气阀等重要部件，以及机座、曲轴箱、动密封和静密封等辅助部件。运转时，在电动机的驱动下，通过曲柄连杆机构的作用，使气缸内的活塞做往复运动。当活塞在气缸内从左端向右端运动时，由于气缸的左腔体积不断增大，气缸内气体的密度减小，而形成抽气过程，此时被抽容器中的气体经过吸气阀5进入泵体左腔。当活塞达到比较右位置时，气缸左腔内就完全充满了气体。接着活塞从右端向左端运动，此时吸气阀关闭。油扩散泵的比较大出口压强取决于比较后一级喷嘴的工作状态。
日常维护：1、每日检查泵的润滑油颜色、油位，若润滑油变脏、乳化、变稀要及时排查原因，更换新油。2、每日检查后轴承压盖温度，若温度突然升高要及时停车检查。3、时刻注意电机电流，若电流突然升高，要及时停机进行排查。4、每日检查冷却水，出水温度是否过高，高于55℃是要注意检查分析原因冷却水供应是否充足。5、真空泵在初次运行一个月后，无论润滑油是否异常，都要进行更换。6、被抽气体中含有可凝性气体，出口分离器内会有冷凝液积存，注意及时放，以免停机时倒吸进入泵腔内。7、每次停机时要注意观察螺杆真空泵是否快速返向转动超过2秒钟，如果是，请检查单向阀是否出现故障。根据系统工况配用合适的罗茨真空泵可组成干式真空泵机组，可很好地提高低压区的抽气速率并减小功耗。半导体真空泵预订
水环真空泵出口排水管路尽可能低，防止工作水不能顺畅排放，影响泵的性能。泰州循环水多用真空泵
螺杆真空泵与爪形真空泵的特点对比：共同点：同为干式真空泵，具备干式真空泵的共同优点；对被抽系统无污染，可获得洁净真空泵腔内无油，非常容易实现对溶剂的回收;结构紧凑，占地面积小。单泵即可达到30Pa~5Pa的极限压力，工作范围较宽;因工作过程中无废油、废水的排放，对环境无污染;对冷却水的要求较低，对于泵的冷却，普通的循环水即可满足要求，且冷却水量较小，根据系统工况配用合适的罗茨真空泵可组成干式真空泵机组，可很好地提高低压区的抽气速率并减小功耗。泰州循环水多用真空泵
