目前，国内气冷式直排大气罗茨泵进展很快，技术上已经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器，其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子，从而使压缩热得平衡，所以这种泵可以直排大气。为了满足不同极限真空度的要求，这种泵可以串联使用，一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵，所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质，实际上也是属于干泵。目前，这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡。真空泵的安装是需要注意的。北京循环式真空泵
在复合分子泵的设计中，必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。喷射真空泵：分水喷射泵、气体喷射泵和蒸汽喷射泵三大类喷射真空泵是利用液体或者气体的高速射流携带被抽气体，使被抽容器内获得一定真空度的一种低真空泵。水喷射泵是用水作为工作介质，通过高速射流来引射被抽气体，使容器达到一定真空度的粗真空获得设备。单级泵的极限压强为3.3kPa，两级串联可获得好一些的真空度，主要受水饱和蒸汽压的限制。可单独使用，也可作为其他真空泵的前级。温州压浆真空泵锆铝吸气泵的工作条件，压强低于10-3Pa时，抽活性气体的工作温度为400 ℃。
真空泵是比较主要的真空装备、从产生真空原理上分为：容积式真空泵（如液环泵，螺杆泵，罗茨泵等）；动量传递式真空泵（如分子泵：喷射真空泵:扩散泵均属于此类）；气体捕集式真空泵（如钛升华、锆铝合金吸气泵、低温泵溅射离子泵、热蒸发钛升华泵等）利用高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给被抽气体或气体分子，使气体不断地从入口传输到出口的真空泵。分子真空泵（分子泵）是1913年德国人盖德（W. Gaede）发明的，之后他又以气体的外摩擦作用为分子泵奠定了理论基础。—利用了气体的外摩擦输运现象，也就是分子牵引力，所以称为牵引分子泵。
干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业选择真空获得设备。传动轴连接主动转子，通过同步齿轮带动从动转子旋转，在壳体上开有冷却水通道，用来冷却转子和排气口温度，同步齿轮及轴承用油润滑，轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似，一般真空泵的排气端用机械式密封件，进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上，目前通用的是直连电机，用联轴器与转子连接，极少数用皮带或者传动链传动。变形也是真空泵零件常见的一种失效模式。
喷射真空泵工作原理：蒸汽喷射真空泵有一定压强的工作的真空泵设备，蒸汽通过拉瓦尔喷咀，减压增速，蒸汽的势能转变为动能并以超音速喷入混合室，与被抽介质混合，进行能量交换，混合后的气体进入扩压器，减速增压，动通转化为压强能，为了减少后级泵的抽气负荷，配置冷凝器，通过有一定温差的两种介质对流，进行热交换，达到冷凝高温介质目的，排到大气压。在压缩循环过程中，热传递到液环。为了使温度保持在工作液的蒸发点以下，必须进行冷却。通过连续不断地向液环添加冷的工作液来达到冷却的目的。添加的工作液量与经过排放口与压缩气体混合物一起排放的工作液排放量相等。气体混合物和工作液比较终经过泵出口进行分离。真空泵安装在连接管路中，用户可以在泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查泵的极限压力。久信泵费用
扩散泵抽速在很宽的压强范围内保持不变，但在压强较高或很低时，抽速下降很快。北京循环式真空泵
真空泵用的行业比较多，如医院里的消毒柜、啤酒行业、罐装饮料等地方。真空泵的形式比较多，一种是水环泵（以水位介质循环的），另外一种是干泵，像螺杆泵、罗茨泵。水环泵也叫粗泵，因为它对介质的要求比较普遍一些。像螺杆真空泵、罗茨泵，在电子行业用的比较多。它调的间隙比较小。这两种泵间隙调的不好的话，也是很容易坏的（注：间隙的调整是针对在组装真空泵缸体时，对转子与缸体的距离的一个调整，一般处于0.1-0.5个丝，正确的调整间隙有利于真空泵的使用寿命和有效的减少真空泵叶片跟缸体的非常规摩擦！一般来说，真空泵真空度不高、噪音大、漏油、喷烟都跟真空泵间隙有关系的！间隙也是真空泵比较关键的技术之一）。北京循环式真空泵
