半导体及电子行业接触的真空一般指的是气压比一标准大气压小的气体空间，是指稀薄的气体状态，又可分为极高真空、高真空、中真空和低真空。真空一般是用特制的抽气机获得，它的气体稀薄程度用真空计测定，现在已能用分子抽气机和扩散抽气机得到1*10-14pa大气压的极高真空。真空技术在芯片制造，太阳能电池片制造，光学膜制造、电真空仪器，电子管和其他电子仪器方面均有普遍应用。普通真空泵，压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为“粗”真空； 油泵，压强可达0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)为“次高”真空 ；扩散泵，压强可达0.133Pa以下，(10-3mmHg)为“高”真空。往复泵的结构主要部件有气缸及在其中做往复直线运动的活塞。天津真空吸污泵
气缸内的气体随站活塞从右向左运动而逐渐被压缩，当气缸内气体的压力达到或稍大于一个大气压时，排气阀4被打开，将气体排到大气中，完成一个工作循环。当活塞再左向右运动时，又重复前一循环，如此反复下去，被抽容器内比较终达到某一稳定的平衡压力。为提高抽气效率，一般在气缸的两端均设有吸气阀和排气阀，然后用管路将气缸两端的吸气口和排气口并联起来。往复真空泵从安装形式来分，有卧式往复真空泵及立式往复真空泵；从油润滑来分，有有油往复真空泵及无油往复真空泵。卧式往复真空泵一般为有油式，立式多为无油式。海口气环真空泵真空泵的特点有哪些？
液环式真空泵是带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时，把液体抛向泵壳并形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的旋转变容真空泵。液环真空泵就是这种靠偏置叶轮在泵腔内回转运动使工作室容积周期性变化以实现抽气的真空泵。它的工作室由旋转液环和叶轮构成，其结构和工作原理与液环压缩机相似。真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。
真空泵是比较主要的真空装备、从产生真空原理上分为：容积式真空泵（如液环泵，螺杆泵，罗茨泵等）；动量传递式真空泵（如分子泵：喷射真空泵:扩散泵均属于此类）；气体捕集式真空泵（如钛升华、锆铝合金吸气泵、低温泵溅射离子泵、热蒸发钛升华泵等）利用高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给被抽气体或气体分子，使气体不断地从入口传输到出口的真空泵。分子真空泵（分子泵）是1913年德国人盖德（W. Gaede）发明的，之后他又以气体的外摩擦作用为分子泵奠定了理论基础。—利用了气体的外摩擦输运现象，也就是分子牵引力，所以称为牵引分子泵。在结冰的环境中使用时，停泵后将泵内工作水排放彻底，以防结冰冻裂真空泵。
喷射真空泵是利用液体或者气体的高速射流携带被抽气体，使被抽容器内获得一定真空度的一种低真空泵。按工作介质可分为水喷射泵、大气喷射泵和水蒸汽喷射泵。喷射泵特点：结构简单、工作稳定可靠；可抽除含有水蒸汽、粉尘的气体、易燃易爆气体和腐蚀性气体；抽气量大，应用普遍：冶金、化工、食品制造等领域；缺点：抽气效率低，能量损失大。水喷射泵是用水作为工作介质，通过高速射流来引射被抽气体，使容器达到一定真空度的粗真空获得设备。单级泵的极限压强为3.3kPa，两级串联可获得好一些的真空度，主要受水饱和蒸汽压的限制。真空泵换油时应将泵体内使用过的油品排尽。贵阳工业级真空泵
真空泵在较宽的压力范围内有较大的抽速。天津真空吸污泵
真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。天津真空吸污泵
