目前，国内气冷式直排大气罗茨泵进展很快，技术上已经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器，其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子，从而使压缩热得平衡，所以这种泵可以直排大气。为了满足不同极限真空度的要求，这种泵可以串联使用，一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵，所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质，实际上也是属于干泵。目前，这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡。水环真空泵的排气管路不能安装阀门，以免误操作让泵出口带压运行。真空抽吸泵厂家直销
干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业选择真空获得设备。传动轴连接主动转子，通过同步齿轮带动从动转子旋转，在壳体上开有冷却水通道，用来冷却转子和排气口温度，同步齿轮及轴承用油润滑，轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似，一般真空泵的排气端用机械式密封件，进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上，目前通用的是直连电机，用联轴器与转子连接，极少数用皮带或者传动链传动。东莞滑阀式真空泵订做真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
半导体及电子行业接触的真空一般指的是气压比一标准大气压小的气体空间，是指稀薄的气体状态，又可分为极高真空、高真空、中真空和低真空。真空一般是用特制的抽气机获得，它的气体稀薄程度用真空计测定，现在已能用分子抽气机和扩散抽气机得到1*10-14pa大气压的极高真空。真空技术在芯片制造，太阳能电池片制造，光学膜制造、电真空仪器，电子管和其他电子仪器方面均有普遍应用。普通真空泵，压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为“粗”真空； 油泵，压强可达0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)为“次高”真空 ；扩散泵，压强可达0.133Pa以下，(10-3mmHg)为“高”真空。
锆铝吸气泵采用锆铝合金材料在高温下吸附活性气体；锆铝吸气泵，优点：结构简单、体积小、造价低，操作安全可靠，维修方便，清洁无油，对活性气体，尤其是对氢具有很高的抽气能力。缺点：不能抽惰性气体,锆铝吸气泵对氢、氘、氚吸气是可逆的，其他活性气体则是以稳定的化合物形式扩散到吸气剂内。锆铝吸气泵的饱和与重启，锆铝吸气剂长期在高温下工作，会出现“饱和”，吸气率下降；甚至吸气剂表面形成氧化膜，失去吸气性能,当吸气速率降低到80%时，就需要进行再重启处理：在<1Pa的压强下，加热至750~850 ℃ ，使吸气剂表面的固体氧化膜分解，使金属和气体的产物向更深的体内扩散，生出高度活泼的金属表面，同时除去过量的氢一般的吸气带可以反复重启多次(~20次)，直到全部的吸气剂饱和为止—更换锆铝合金吸气带。往复泵的结构主要部件有气缸及在其中做往复直线运动的活塞。
螺杆真空泵因其排气通道简单，进入泵内的液体可迅速排出，且轴功率无明显增加。因爪形真空泵为多级串联结构，上级与下级之间均需安装中壁形成内部通道，该内部通道在抽除粉尘等时易堵塞且不易清洗；而螺杆真空泵的级间无需通道，是直接将气体从吸气侧推送至排气侧，在抽除可凝性气体及粉尘等时不易堵塞且泵腔清洗非常方便：启动泵后直接从泵口充入水或合适的清洗剂即可将泵清洗干净。其它部分真空泵的特点：水环式真空泵的优点：结构简单，成本低，应用范围较宽，适合抽除大量水蒸汽，有机溶剂等，对粉尘，颗粒物不敏感，可以实现对易燃易爆的气体的抽除、压缩。真空泵安装的时候周围应留有充分的余地。佛山小型抽真空泵
螺杆真空泵对装配人员要求相对较低，设备运行更稳定，检修更方便。真空抽吸泵厂家直销
低温吸附泵：利用低温表面上的吸附剂和打在其上的气体分子发生吸附以达到抽气作用的泵。按吸附剂不同，分为三类：1.非金属吸气剂：活性炭、分子筛等位吸附剂，2.金属吸附剂：以蒸发或升华在冷表面上的钛、锆、钼等金属或合金作为吸气剂，3.气体霜的捕集吸气：以CO2、水蒸气等易冷凝的气体在低温表面上成霜作为吸附剂，这些气体成霜的同时，将不易冷凝的气体一起埋葬或吸附抽除，低温泵抽混合气体比单一气体效果好，实际使用的是将冷凝和吸附结合，构成冷凝吸附泵而获得极高真空。真空抽吸泵厂家直销
