低温抽气原理：设法使某一固体表面温度足够低，使其低于空气中主要气体成分的饱和蒸汽压温度，则大部分气体被凝结，从而达到抽真空的目的。抽气机原理：速度分布决定捕获率的学说，认为飞到冷表面的气体分子中，单单是能量低于某一临界值的分子才被捕获；动态平衡学说，认为飞到冷表面上的气体分子停留在冷表面上，同时另外一些分子从表面蒸发，离开表面，被捕集和离开表面的分子之差就是抽气速率。低温冷凝泵：按低温冷凝原理抽真空的泵，构成：低温介质冷却的抽气表面；辐射屏；泵体。真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。南昌机械真空泵
扩散泵的性能：扩散泵抽速在很宽的压强范围内保持不变，但在压强较高或很低时，抽速下降很快。当泵入口压强很低时，气体从前级通过射流的反扩散会增加，同时工作油蒸汽的含气量和泵壁放气影响变得明显。入口压强较高时，大量气体分子进入射流与蒸汽分子碰撞，射流的定向速度衰减较大，增大了前级的反流，抽速降低；油扩散泵的极限压强与前级侧气体的反扩散、泵壁温度下泵油的饱和蒸汽压、泵油的裂化程度、蒸汽射流的放气量以及泵壁的放气量等因素密切相关，当泵的出口压强小于某一出口压强p2max时，泵的入口压强不受出口压强的影响，气体的反扩散对泵的极限压强影响不大。河源螺杆真空泵哪里有爪式泵的多级串联的结构特性决定了其装配的复杂性，一般人员很难达到装配要求。
螺杆真空泵因其排气通道简单，进入泵内的液体可迅速排出，且轴功率无明显增加。因爪形真空泵为多级串联结构，上级与下级之间均需安装中壁形成内部通道，该内部通道在抽除粉尘等时易堵塞且不易清洗；而螺杆真空泵的级间无需通道，是直接将气体从吸气侧推送至排气侧，在抽除可凝性气体及粉尘等时不易堵塞且泵腔清洗非常方便：启动泵后直接从泵口充入水或合适的清洗剂即可将泵清洗干净。其它部分真空泵的特点：水环式真空泵的优点：结构简单，成本低，应用范围较宽，适合抽除大量水蒸汽，有机溶剂等，对粉尘，颗粒物不敏感，可以实现对易燃易爆的气体的抽除、压缩。
半导体及电子行业接触的真空一般指的是气压比一标准大气压小的气体空间，是指稀薄的气体状态，又可分为极高真空、高真空、中真空和低真空。真空一般是用特制的抽气机获得，它的气体稀薄程度用真空计测定，现在已能用分子抽气机和扩散抽气机得到1*10-14pa大气压的极高真空。真空技术在芯片制造，太阳能电池片制造，光学膜制造、电真空仪器，电子管和其他电子仪器方面均有普遍应用。普通真空泵，压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为“粗”真空； 油泵，压强可达0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)为“次高”真空 ；扩散泵，压强可达0.133Pa以下，(10-3mmHg)为“高”真空。真空泵的泵腔内无压缩，无排气阀。
目前，国内气冷式直排大气罗茨泵进展很快，技术上已经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器，其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子，从而使压缩热得平衡，所以这种泵可以直排大气。为了满足不同极限真空度的要求，这种泵可以串联使用，一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵，所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质，实际上也是属于干泵。目前，这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡。合格的真空泵需要注意铸件质量。无刷真空泵
真空泵的使用场合是比较多的。南昌机械真空泵
水环真空泵，开泵前要进行手动盘车； 进水温度不能太高，比较好不要超过30℃；工作水硬度尽可能小，否则泵内容易结垢；水环真空泵的排气管路不能安装阀门，以免误操作让泵出口带压运行；水环真空泵出口排水管路尽可能低（距泵中心高度不超过一米），防止工作水不能顺畅排放，影响泵的性能；水环泵使用真空要避开气蚀条件，否则会影响泵的寿命；水环真空泵的供水管路要加装手动阀，调节泵的供水大小；停泵前先关供水阀，让泵内过多的工作水排出；泵的入口加装单向阀或其它类似阀门，防止停泵时工作水倒灌入系统中；在结冰的环境中使用时，停泵后将泵内工作水排放彻底，以防结冰冻裂真空泵。南昌机械真空泵
