扩散泵的性能：扩散泵抽速在很宽的压强范围内保持不变，但在压强较高或很低时，抽速下降很快。当泵入口压强很低时，气体从前级通过射流的反扩散会增加，同时工作油蒸汽的含气量和泵壁放气影响变得明显。入口压强较高时，大量气体分子进入射流与蒸汽分子碰撞，射流的定向速度衰减较大，增大了前级的反流，抽速降低；油扩散泵的极限压强与前级侧气体的反扩散、泵壁温度下泵油的饱和蒸汽压、泵油的裂化程度、蒸汽射流的放气量以及泵壁的放气量等因素密切相关，当泵的出口压强小于某一出口压强p2max时，泵的入口压强不受出口压强的影响，气体的反扩散对泵的极限压强影响不大。真空泵要注意什么问题？韶关水式真空泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩 复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速单为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。长沙膜片式真空泵低温泵使被抽空间的压强很好地降低，获得并维持真空状态的抽气装置。
还有一种抽真空的设备叫水射机组，它是离心泵通过喷射器直接达到抽真空的目的（补充：水射机组也叫水喷射泵。工作原理为具有一定压力的工作介质水，通过喷嘴向吸入室高速喷出，将水的压力变为动能，形成高速射流；吸入室中的气体被高速射流强制携带与之混合，形成气液混合流，进入扩压器，从而使吸入室压力降低，形成真空，在扩压器的扩张段内，混合射流的动能转变为压力能，速度降低压力升高，气体被进一步压缩，与水一起排出泵外，在水箱中气水分离，气体释放入大气，水由水泵循环再利用，周而复始达到抽真空的目的）。
真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。螺杆真空泵因其排气通道简单，进入泵内的液体可迅速排出，且轴功率无明显增加。
油扩散泵的至大出口压强取决于比较后一级喷嘴的工作状态，与蒸汽射流密度、喷嘴蒸汽流量以及比较后一级喷嘴的结构有关。比较大出口压强：油扩散泵的比较大出口压强取决于比较后一级喷嘴的工作状态，与蒸汽射流密度、喷嘴蒸汽流量以及比较后一级喷嘴的结构有关。减少返油的措施，(1) 返油源于以下四个方面，凝结于顶喷嘴表面的油膜蒸发，占总返油量的70%左右；泵壁上凝结油膜的蒸发，与泵壁的冷却状况有关；蒸汽射流碰壁后的散射，与射流强度有关；蒸汽射流中油分子向高真空侧的扩散，与射流温度有关，在顶喷嘴上加挡油帽，可大幅减少顶喷嘴表面油膜的蒸发返油量，且对泵的抽速影响不大——现代扩散泵的标配；(2) 减少返油的措施，在泵入口处加挡油环或者挡油阱，可以减少泵壁上凝结油膜的蒸发返油量。真空泵需要注意正确的使用。韶关水式真空泵
真空泵的使用是需要注意的。韶关水式真空泵
干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业选择真空获得设备。传动轴连接主动转子，通过同步齿轮带动从动转子旋转，在壳体上开有冷却水通道，用来冷却转子和排气口温度，同步齿轮及轴承用油润滑，轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似，一般真空泵的排气端用机械式密封件，进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上，目前通用的是直连电机，用联轴器与转子连接，极少数用皮带或者传动链传动。韶关水式真空泵
