真空泵基本参数
  • 产地
  • 上海
  • 品牌
  • 上海久信
  • 型号
  • 齐全
  • 是否定制
真空泵企业商机

真空泵用的行业比较多,如医院里的消毒柜、啤酒行业、罐装饮料等地方。真空泵的形式比较多,一种是水环泵(以水位介质循环的),另外一种是干泵,像螺杆泵、罗茨泵。水环泵也叫粗泵,因为它对介质的要求比较普遍一些。像螺杆真空泵、罗茨泵,在电子行业用的比较多。它调的间隙比较小。这两种泵间隙调的不好的话,也是很容易坏的(注:间隙的调整是针对在组装真空泵缸体时,对转子与缸体的距离的一个调整,一般处于0.1-0.5个丝,正确的调整间隙有利于真空泵的使用寿命和有效的减少真空泵叶片跟缸体的非常规摩擦!一般来说,真空泵真空度不高、噪音大、漏油、喷烟都跟真空泵间隙有关系的!间隙也是真空泵比较关键的技术之一)。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。油式真空泵费用

锆铝吸气泵采用锆铝合金材料在高温下吸附活性气体;锆铝吸气泵,优点:结构简单、体积小、造价低,操作安全可靠,维修方便,清洁无油,对活性气体,尤其是对氢具有很高的抽气能力。缺点:不能抽惰性气体,锆铝吸气泵对氢、氘、氚吸气是可逆的,其他活性气体则是以稳定的化合物形式扩散到吸气剂内。锆铝吸气泵的饱和与重启,锆铝吸气剂长期在高温下工作,会出现“饱和”,吸气率下降;甚至吸气剂表面形成氧化膜,失去吸气性能,当吸气速率降低到80%时,就需要进行再重启处理:在<1Pa的压强下,加热至750~850 ℃ ,使吸气剂表面的固体氧化膜分解,使金属和气体的产物向更深的体内扩散,生出高度活泼的金属表面,同时除去过量的氢一般的吸气带可以反复重启多次(~20次),直到全部的吸气剂饱和为止—更换锆铝合金吸气带。揭阳爪型真空泵经销商扩散泵抽速在很宽的压强范围内保持不变,但在压强较高或很低时,抽速下降很快。

真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩 复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速单为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满足不同场合的需要。空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。

扩散泵的性能:扩散泵抽速在很宽的压强范围内保持不变,但在压强较高或很低时,抽速下降很快。当泵入口压强很低时,气体从前级通过射流的反扩散会增加,同时工作油蒸汽的含气量和泵壁放气影响变得明显。入口压强较高时,大量气体分子进入射流与蒸汽分子碰撞,射流的定向速度衰减较大,增大了前级的反流,抽速降低;油扩散泵的极限压强与前级侧气体的反扩散、泵壁温度下泵油的饱和蒸汽压、泵油的裂化程度、蒸汽射流的放气量以及泵壁的放气量等因素密切相关,当泵的出口压强小于某一出口压强p2max时,泵的入口压强不受出口压强的影响,气体的反扩散对泵的极限压强影响不大。真空泵的安装可以找专业的人士进行。滑阀式机械真空泵厂家供应

真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。油式真空泵费用

随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽,大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求,由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽,因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围,只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求,使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要,有时将各种真空泵按其性能要求组合起来,以机组型式应用。油式真空泵费用

与真空泵相关的问答
信息来源于互联网 本站不为信息真实性负责