AVI200-SAVI200-S的基本配置
包括两个单个承载模块和一个控制单元,蕞大可以负载400公斤。通过增加隔离模块的数量,可以轻松承受更高的负载。
为了使AVI200-M适应用户特定的应用,可以按特殊顺序提供不同长度的单个模块。AVI200-M的隔离始于1,2Hz,超过10HZ以上迅速增加至35db减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能AVI200-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性AVI200-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式AVI200-M隔振模块不需要任何大型工具即可安装。
我们努力提供一种简单,友好的概念-避免在安装出现中比较复杂的过程技术指标:频率:1.2-200Hz负载范围:0-400千克(0-200千克单个元件) 振动分析系统VA-2C是带有远程测量头的系统,可轻松测量三个正交方向上的加速度,速度或位移。AVI-600MLP隔振台电子显微镜TEM
TS-150支撑面测试:尽管这些系统几乎可以在任何支撑面上运行,但采用软支撑结构共振放大某些建筑物的振动频率,因此这些振动频率会降低隔离的。您可以通过观察诊断信号来了解支持结构的适用性同时推动支持。此测试应禁用隔离。如果支撑是刚性的信号几乎不应响应任何方向对支撑的推动。现在尝试点击支持激发其内部共鸣。通常,支架会对水平隆头产生更强烈的反应而不是垂直的。一个非常共振的支撑将显示长寿命的共振,并且隔离将在这些频率上受到严重影响。更好的支撑将显示出良好的阻尼共振。隔振台应用LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。
AVI400-MAVI400-M的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元,最大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。
为了使AVI400-M适应用户特定的应用,可以使用不同长度的紧凑型装置。
AVI400-M的隔离始于1,2Hz,超过10HZ以上迅速增加至35db减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能AVI400-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性AVI400-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式AVI400-M紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单,友好的概念-因此,在装置上放置沉重的设备(例如SEM)时,避免了任何复杂的过程。
技术指标:频率:1.2-200Hz负载范围:0-800公斤(单件):400公斤
LFS-2传感器测量两个轴的水平加速度,直至频率为约0.2Hz传感器直接放置在地板上,并用于前馈回路中与标准AVI/LP系统结合使用,可在非常低的情况下提高隔振效果频率。LFS-2可以改装为现有的AVI-LP系统。下表显示了在AVI/LP上测得的水平隔离度(透射率)有和没有LFS的系统。将传感器连接到AVI/系统?传感器LFS-2具有单独的电源,该电源通过D-Sub25插座连接到LFS-2控制单元。用D-Sub25将电源连接到传感器电缆。每个AVI元素必须连接到背面的D-Sub15插座之一传感器的LFS的实际位置并不重要,但必须放置它在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上部D-Sub15插座连接到传感器。LFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。
技术指标:频率负载范围尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米隔离:动态(超过1kHz)透射率:参见附件曲线10Hz以上的透射率<(-40dB)矫正力:垂直+/-8N水平+/-4N静态合规性:大约垂直约12µm/N水平30-40µm/N最大负载:140公斤尺寸:500x600x84毫米重量:28.5kg电的安全等级:1个能量消耗:蕞大10W负载调整时20W输入电压:115-230VAC+/-10%50-60Hz超载:显示屏指示负载过重或严重失衡监控信号:示波器上显示的多路复用信号显示有无隔离的振动水平-瑾用于诊断目的前面板显示菜单:显示仪器状态,包括:-高度调节-隔离开/关-过载-运输锁定-技术热线桌上尺寸:500x600毫米。AVI 的隔振性能在负载低于 30Hz 以下时是一个重要的参照。光学显微镜隔振台摩擦学应用
必须改善测量环境,以发挥仪器的极大效能,达到蕞佳成果。AVI-600MLP隔振台电子显微镜TEM
TS-150安全守则只能将系统插入具有单独接地的插座。不要断开此连接通过插座或使用不接地的延长线接地。在打开本设备之前,请确保已将其连接到正确的电源电压。请勿卸下任何盖子或让任何金属物体进入设备的任何开口。请勿拆卸或尝试维修系统。这可能会导致电击或损坏到系统。卸下任何主机盖之前,请先断开电源。请把维修交给合格的人员。请勿在有BZ危险的环境中使用。请勿在顶板上钻任何孔。这会损坏系统。如果您怀疑系统有任何不安全之处,请拔下电源插头并防止可能发生的意外事故用法。请与您蕞近的服务中心联系。AVI-600MLP隔振台电子显微镜TEM
岱美仪器技术服务(上海)有限公司专注技术创新和产品研发,发展规模团队不断壮大。公司目前拥有较多的高技术人才,以不断增强企业重点竞争力,加快企业技术创新,实现稳健生产经营。岱美仪器技术服务(上海)有限公司主营业务涵盖半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪,坚持“质量保证、良好服务、顾客满意”的质量方针,赢得广大客户的支持和信赖。公司深耕半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪,正积蓄着更大的能量,向更广阔的空间、更宽泛的领域拓展。