激光干涉仪平台

体型半导体应变片这种半导体应变片是将单晶硅锭切片、研磨、腐蚀压焊引线，结尾粘贴在锌酚醛树脂或聚酰亚胺的衬底上制成的。体型半导体应变片可分为6种。①普通型：它适合于一般应力测量；②温度自动补偿型：它能使温度引起的导致应变电阻变化的各种因素自动抵消，只适用于特定的试件材料；③灵敏度补偿型：通过选择适当的衬底材料（例如不锈钢），并采用稳流电路，使温度引起的灵敏度变化极小；④高输出（高电阻）型：它的阻值很高（2～10千欧）,可接成电桥以高电压供电而获得高输出电压，因而可不经放大而直接接入指示仪表。⑤超线性型：它在比较宽的应力范围内，呈现较宽的应变线性区域，适用于大应变范围的场合；⑥P-N组合温度补偿型：它选用配对的P型和N型两种转换元件作为电桥的相邻两臂，从而使温度特性和非线性特性有较大改善。检测轴承误差在±5μm之间，由轴承误差引起。激光干涉仪平台

干涉仪维护：1、仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内，防止振动，仪器搬动时，应托住底座，以防导轨变形。2、光学零件不用时，应存放在清洁的干燥盆内，以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭，必要擦拭时，须先用备件毛刷小心掸去灰尘，再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和yi mi混合液轻拭。3、传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分，应用T5精密仪表油润滑。4、使用时，各调整部位用力要适当，不要强旋、硬扳。5、导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀，用毕后，仍保持不失油状态。6、经过精密调整的仪器部件上的螺丝，都涂有红漆，不要擅自转动。江苏激光干涉仪金线检测但IDS3010干涉仪可诊断非接触式pm位移@ 10 MHz 安装的高功率激光反射镜。

利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何干涉仪路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精度，干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长（～10-7米）。所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的，其测量精度之高是任何其他测量方法所无法比拟的。

利用不同构形的弹性敏感元件可测量各种物体的应力、应变、压力、扭矩、加速度等机械量。半导体应变片与电阻应变片(见电阻应变片相比，具有灵敏系数高（约高 50～100倍）、机械滞后小、体积小、耗电少等优点。P型和N型硅的灵敏系数符号相反，适于接成电桥的相邻两臂测量同一应力。早期的半导体应变片采用机械加工、化学腐蚀等方法制成，称为体型半导体应变片。它的缺点是电阻和灵敏系数的温度系数大、非线性大和分散性大等。这曾限制了它的应用和发展。自70年代以来，随着半导体集成电路工艺的迅速发展，相继出现扩散型、外延型和薄膜型半导体应变片，上述缺点得到一定克服。半导体应变片主要应用于飞机、导弹、车辆、船舶、机床、桥梁等各种设备的机械量测量。超精密和非接触式表面分析。

单频激光干涉仪:从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式[356-11]式中λ为激光波长(N为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。当干扰信号不敏感时，调制信号的幅度对位移敏感。白云区翘曲度激光干涉仪

为展示IDS3010在测量短距离和长距离位移方面的优势。激光干涉仪平台

电测量指示仪表的分类可分为：（1）按相别分：单相、三相三线、三相四线等。（2）按功能及用途分：有功电表、无功电表、比较大需量表、复费率电表、多功能电表、铜损表、铁损表等。（3）按工作原理分：感应式、电子式、机电式等。电力系统各类电表的技术要求（1）接入中注点绝缘系统的电能计量装置，应采用三相三线有功、无功电表。接入非中性点绝缘系统的电能计量装置，应采用三相四线有功、无功电表或3只感应式无止逆单相电表。（2）接入中性点绝缘系统的3台电压互感器，35kV及以上的宜采用Y/y方式接线；35kV以下的宜采用V/V方式接线。接入非中性点绝缘系统的3台电压互感器，宜采用Y0/y0方式接线。其一次侧接地方式和系统接地方式相一致。（3）低压供电，负荷电流为50A 及以下时，宜采用直接接入式电表；负荷电流为50A以上时，宜采用经电流互感器接入式的接线方式。（4）对三相三线制接线的电能计量装置，其2台电流互感器二次绕组与电表之间宜采用四线连接。对三相四线制连接的电能计量装置，其3台电流互感器二次绕组与电表之间宜采用六线连接。激光干涉仪平台