白云区粗糙度激光干涉仪

高灵敏，高分辨，小型化。如将光谱仪集成到一块电路板上。

标准化。通讯接口过去常用GPIB，RS232，目前有可能成为替代物的高性能标准是USB、IEEE1394和VXI。现在，技术前面者设法控制技术标准，参与标准制订是仪器开发的基础研究工作之一。

配合数控设备的技术创新(如主轴速度，精度创成)

数控设备的主要误差来源可分为几何误差（共有21项）和热误差。对于重复出现的系统误差，可采用软件修正；对于随机误差较大的情况，要采用实时修正方法。对于热误差，一般要通过温度测量进行修正。 环境补偿模块（ECU）。白云区粗糙度激光干涉仪

干涉仪应用：几何精度检测可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。位置精度的检测及其自动补偿可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。利用雷尼绍ML10激光干涉仪不仅能自动测量机器的误差，而且还能通过RS232接口自动对其线性误差进行补偿，比通常的补偿方法节省了大量时间，并且避免了手工计算和手动数控键入而引起的操作者误差，同时可比较大限度地选用被测轴上的补偿点数，使机床达到比较好精度，另外操作者无需具有机床参数及补偿方法的知识。平台校准激光干涉仪位移虽然加速度计可用于测量频率> ~20 Hz @ 10 kHz的镜像虚拟仪。

5 指针不应弯曲，与标度盘表面间的距离要适当。对装有反射镜式读数装置的仪表应不大于(0.02L+1)MM；其余仪表应不大于(0.01L+1)MM。指针与标度尺在同一水平面上的仪表，其指针前列与标度尺边缘的间隙应不超过(0.01L+0.8)MM。其中L 是标度尺长度，MM。刀形和丝形指针的前列至少应盖住标度尺上较短分度线的1/2，矛形指针可为1/2～3/4；

6 检查有无封印，外壳密封是否良好。

三相仪表应在对称电压和平衡负载的条件下检验。三相系统中每一个线电压或相电压以及电流与系统中相应量的平均值之差均不应大于1%。各个相电流与对应相电压的相位差之间的差值不大于2°。

(4)计算机辅助测量理论。信号处理系统的标准化、模块化、兼容和集成。例如，目前多数采用ISA总线、IEEE488口，今后计算机可能取消ISA总线，用于笔记本电脑的USB接口将广泛应用。过去，中国生产的仪器满足于数字显示，没有数据交换接口，难以进入国际市场。国外生产的仪器普遍配备IEEE488(GPIB)口。RS232：目前有可能成为替代物的高性能标准是USB、IEEE1394和VXI。在此转折期为我们提供了机遇。目前虚拟仪器的工作频段在千赫数量级，对于干涉信号处理显得太低，可以采取联合互补的方法形成模块系列，同时降低成本，从总体上提高研发工作的效率。根据已有基础，发展特长，有利于克服重复研究。易于集成（只Ø1.2mm，重量只几克）。

电压影响

1 当电压自额定值偏离±10%(对比率表和由化学电源和交流电网作供电电源的兆欧表)、±15%(对整流系仪表和钳形表)或±20%(对其它仪表)时，由此引起仪表指示值的改变应不超过规定值。仪表辅助电路用电源、由内附手摇发电机作供电电源的兆欧表，当其电压自额定值偏离±10%时，指示值改变应不超过表7 规定值的一半。指示值改变的表示方法与基本误差表示方法相同。试验在标度尺的几何中心附近和上量限附近的两点进行，整步表在同步点进行。如果在仪表上注明额定电压范围，则在此范围内的任一电压下，仪表基本误差应不超过规定值。

2 检验电压影响时应遵守有关规定(对电压的规定除外)，且应除去变差影响(可轻敲表壳)。检验相位表和功率因数表时，在额定电流下进行；检验功率表时在额定功率因数下进行。 能够测量液体的表面运动，开启了在各科学和工业领域实现独特应用的可能性。浙江激光干涉仪彩色共焦技术

电机振动的非接触频率分析。白云区粗糙度激光干涉仪

引力波测量干涉仪也可以用于引力波探测(Saulson,1994)。激光干涉仪引力波探测器的概念是前苏联科学家Gertsenshtein和Pustovoit在1962年提出的（Gertsenshtein和Pustovoit 1962。1969年美国科学家Weiss和Forward则分别在1969年即于麻省理工和休斯实验室建造初步的试验系统（Weiss 1972）。截止jin ri，激光干涉仪引力波探测器已经发展了40余年。目前LIGO激光干涉仪实验宣称shou ci直接测量到了引力波 (LIGO collaboration 2016)。LIGO可以认为是两路光线的干涉仪，而另外一类引力波探测实验， 脉冲星测时阵列则可认为是多路光线干涉仪（Hellings和Downs,1983）。白云区粗糙度激光干涉仪