福建发展解决方案

平面度：

形位误差中的形状误差。

平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。公差带是距离为公差值t的两平行平面之间的区域。平面度属于形位误差中的形状误差。

平面度测量是指被测实际表面对其理想平面的变动量。平面度误差是将被测实际表面与理想平面进行比较，两者之间的线值距离即为平面 度误差值；或通过测量实际表面上若干点的相对高度差，再换算以线值表示的平面度误差值。

平面度误差测量的常用方法有如下几种：平晶干涉法、打表测量法、液平面法、光束平面法、激光平面度测量仪、利用数据采集仪连接百分表测量平面度误差的方法。 解决方案营销的市场细分。福建发展解决方案

日常保养

改变管理方式防止”假期综合症”三坐标测量机的组成比较复杂，主要有机械部件、电气控制部件、计算机系统组成。平时我们在使用三坐标测量机测量工件的同时，也要注意机器的保养，以延长机器的使用寿命。下面我们从三个方面说明三坐标测量机的基本保养。机械部件三坐标测量机的机械部件有多种，我们需要日常保养的是传动系统和气路系统的部件，保养的频率应该根据测量机所处的环境决定。一般在环境比较好的精测间中的测量机，我们推荐每三个月进行一次常规保养，而如果用户的使用环境中灰尘比较多，测量间的温度湿度不能完全满足测量机使用环境要求，那应该每月进行一次常规保养，对测量机的常规保养，应了解影响测量机的因素 福建发展解决方案旧产品在新市场的开展策略。

11.水平臂移动型(Movingramhorizotalarmtype)

水平臂移动型，轴悬臂在水平方向移动，支撑水平臂的厢形架沿着支柱在轴方向移动，而支柱垂直轴。支柱沿着水平面的导槽在轴方向移动，且垂直轴和轴，故不适合高精度的测量。除非水平臂在伸出或回收时，对因重量而造成的误差有所补偿。大多数情况应用在车辆检验工作。12.闭环桥架型(Ringbridgetype)

闭环桥架型，由于它的驱动方式在工作台中心，可减少因桥架移动所造成冲击，为所有三坐标测量仪中较稳定的一种。

1. 未经培训并取得操作资格的人员禁止使用该三坐标测量机。

2. 每天开机前首先检查供气压力达到要求后才能开控制柜：气源供压≥0.65Mpa，机器气压≥0.4Mpa。

3. 当三联体存水杯中油水混合物高度超过5mm时需要手动放水。机器的供气压力正常，而三联体处压力不能调到正常值时，则需要换滤芯。4. 三坐标使用环境：温度20±2℃，相对湿度40-75%。

5. 稳压电源的输出电压为220±10V。

6. 机器导轨内不得放置任何物品，不要用手直接接触导轨工作面，每天开机前用高织纱纯棉布沾无水酒精清洁三轴导轨面，待导轨面干燥后才能运行机器。严禁用酒精清洁喷漆表面及光栅尺。 信息化行业市场拓展策略。

三坐标测量仪:精密测量模具装备的仪器.

三坐标测量仪三轴均有气源制动开关及微动装置，可实现单轴的精密传动，采用高性能数据采集系统。应用于产品设计、模具装备、齿轮测量、叶片测量机械制造、工装夹具、汽模配件、电子电器等精密测量。

三坐标测量仪是指在一个六面体的空间范围内，能够表现几何形状、长度及圆周分度等测量能力的仪器，又称为三坐标测量机或三坐标量床。三坐标测量仪又可定义“一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传递讯号，三个轴的位移测量系统（如光栅尺）经数据处理器或计算机等计算出工件的各点（x，y，z）及各项功能测量的仪器”。三坐标测量仪的测量功能应包括尺寸精度、定位精度、几何精度及轮廓精度等。 从某种程度来说，解决方案执行是相互交互影响，执行的效果应该及时反馈，并对原方案做出修正性参考和建议。智能解决方案用途

晶圆测厚仪运用解决方案。福建发展解决方案

三坐标测量仪机型介绍

结构型式：三轴花岗岩、四面全环抱的德式活动桥式结构.

传动方式：直流伺服系统 + 预载荷高精度空气轴承

长度测量系统：RENISHAW开放式光栅尺，分辨率为0.1μm

测头系统：雷尼绍控制器、雷尼绍测头、雷尼绍测针机 台：高精度（00级）

花岗岩平台使用环境：温度(20±2)℃，湿度40%-70% ，温度梯度1℃/m，温度变化 1℃/h

空气压力：0.4 MPa - 0.6 Mpa

空气流量：25 L/min

长度精度MPEe： ≤2.1+L/350 (μm)

探测球精度MPEp： ≤2.1μm 福建发展解决方案

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