芯片研发制造过程链条漫长,很多重要工艺环节需进行精密检测以确保良率,降低生产成本。提高制造控制工艺,并通过不断研发迭代和测试,才能制造性能更优异的芯片,走向市场并逐渐应用到生活和工作的方方面面。由于芯片尺寸小,在温度循环下的应力,传统测试方法难以获取;高精度三维显微应变测量技术的发展,打破了原先在微观尺寸测量领域的限制,特别是在半导体材料、芯片结构变化细微的测量条件下,三维应变测量技术分析尤为重要。电阻应变测量(电测法)是实验应力分析中使用比较广和适应性比较强的方法之一。江苏扫描电镜非接触式应变测量
变形测量是指对监视对象或物体(变形体)的变形进行测量,从中了解变形的大小、空间分布及随时间发展的情况,并做出正确的分析与预报,又称变形测量。监视对象和变形体可大可小,可以是整个地球,也可以是一个区域或某一工程建(构)筑物,因此变形观测可分为全球性变形观测、区域性变形观测和工程变形观测。另外,对于工程变形观测而言,变形体和监视对象又可以是各种建(构)筑物,也可以是机器设备及其他与工程建设有关的自然或人工对象。江苏扫描电镜非接触式应变测量光学非接触应变测量适用于测量材料拉伸大变形测量。
DIC(Digital Image Correlation)数字图像相关技术,是一种通过图像相关点进行对比的算法,通过该方法可计算出物体表面位移及应变分布,(图形中用红色标出)。整个测量过程,只需以一台或两台图像采集器,拍摄变形前后待测物图像,经运算后3D全场应变数据分布即可一目了然。不像应变片需花费大量时间做表面的磨平及黏贴,同时也只能测量到一个点某个方向的应变数据。也不像条纹干涉法对环境要求严格。DIC方法获得的数据为全场范围内的3D数据。用于分析、计算、记录变形数据。采用图形化显示测量结果,便于更好地理解和分析被测材料的性能。
采用三维光学测量技术,通过非接触应变测量获取重载汽车车桥在负载下的全场位移应变,分析其在不同工况下结构受力过程位移变化,及其材料表面的应变情况,对于车桥材料以及结构的失效提供了可靠的数据分析。使用全场变形测量方式,对车桥加载变形测试,结合有限元分析情况,可以准确地验证车桥结构中应力值较高的单元集,有助于判断车桥结构危险点的疲劳情况及寿命,分析车桥受力加载过程的结构应力应变情况,变形关键位置和裂纹演化,是非常效率高、精确的测试方法。应变测量是机械结构和机械强度分析里的重要手段。
垂直位移的变形监测技术就是对建筑物进行垂直方向上的变形监测。一般情况下,由于不是很均匀的垂直方向上的位移,会让建筑物产生裂缝。这种监测异常,很可能就是建筑物基础或局部破坏的前奏,因此,垂直位移的变形监测是非常必要的。在进行垂直位移变形监测时,要先监测工作基点的稳定程度,在此基础上再进行垂直位移的变形监测。现有的水利工程用的垂直位移变形监测方法有三种,第1种是几何水准测量的方法,第2种是三角高程测量的方法,第3种为液体静力水准的测量方法。可以通过数字散斑的光学非接触应变测量方式,获取强烈地震作用下模型表面的三维全场位移及应变数据。新疆哪里有卖光学非接触测量
三维应变测量技术对于塑性材料研究是非常重要的工具。江苏扫描电镜非接触式应变测量
注塑件模具是塑料加工工业中塑料成型机配套,赋予塑料制品以完整构型和精确尺寸的工具。模具形状决定着注塑件的外形,模具的加工质量与精度也决定着注塑件产品质量。精密模具生产客户希望通过采用三维光学非接触全场应变测量获取数据,准确定位形变部位及具体数值。注塑件模具整体轮廓复杂、孔径、凹槽、自由曲面多,客户希望全尺寸精确的测量出模具的数据,精度要求高,c注塑件模具复杂形状,有不少曲面或狭窄的沟槽等,标准的通用量具难以到达准确的测量位置,无法获取可用的三维数据。江苏扫描电镜非接触式应变测量
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