而CMP工艺离不开研磨料的发展,那么对于磨料的颗粒粒度表征就显得尤为重要了。CMP就是用化学腐蚀和机械力对加工过程中的硅晶圆或其它衬底材料进行平滑处理。将硅片固定在抛光头的较下面,将抛光垫放置在研磨盘上,抛光时,旋转的抛光头以一定的压力压在旋转的抛光垫上,由亚微米或纳米磨粒和化学溶液组成的研磨液在硅片表面和抛光垫之间流动,然后研磨液在抛光垫的传输和离心力的作用下,均匀分布其上,在硅片和抛光垫之间形成一层研磨液液体薄膜。驰光机电科技以质量求生存,以信誉求发展!贵州病毒颗粒分析仪厂家
这个关系可以用散点图显示,用以观察样品粒径和形状之间的关系。形状过滤功能可以根据粒径或形状特性放大观察样品的特定部分。可以根据数据挖掘,对比分析粒度粒型数据分析,给除对比图与表格。图像分析软件的特征:测量过程中可观察颗粒;对已存图片或录像可重新分析;可根据粒径或形状对颗粒分类和过滤;对非球形颗粒可以提供多种形状参数;可提供纤维测量模块;验证工具-较大程度减少样品预处理对测量结果的影响,颗粒形状信息是很重要的。湖北高精度纳米粒度分析仪价格驰光机电科技具备雄厚的实力和丰富的实践经验,驰光机电科技以发展求壮大,一定会赢得更好的明天。
为了提高粒径的测量精度,需要较高的圆盘转速,目前市面上常见的运行速度较高在15000RPM,而国内在1500RPM,无法满足CPM化学机械抛光的需求。CPS-24000纳米粒度仪的最高转速为24000转,测试范围在5nm-75um,每次加样只需要0.1ml,降低样液的测试成本,可连续测量多达40个样品。CPS纳米粒度分析仪的使用方法已经列入国标,包括《金属粉末粒度分布的测量-重力沉淀光透法》、《煤矿粉尘粒度分布测定方法》、《橡胶配合剂-炭黑-聚集体尺寸的测定-使用光跟踪盘式离心沉淀仪法》等。
升降台式样品池送进定位及环境光遮蔽系统,使光子相关谱探测系统不只体积小,而且具有很强的抗干扰能力。高精度的测试温度控制系统:单独的循环温控槽可在2-95℃范围内任意设定,其控制精度达0.1℃。微量样品池/标准样品池:可以使用3.5ML的标准样品池外,还有适应于稀有贵重样品的0.3ML微样池。环境温度:在5-35℃的环境中,本仪器都能正常使用。纳米粒度仪样品池恒温箱及恒温DI水供应系统:有利于提高测试温度控制精度同时减少等待样品池热平衡的时间,提高仪器的实际测试精度和工作效率。驰光机电科技有限公司不断从事技术革新,改进生产工艺,提高技术水平。
磨料的粒度测量:以上我们了解到磨料在CMP工艺中起到了关键性的作用,CMP磨料颗粒的典型尺寸范围是50-250纳米,典型的过大聚集体为1-10微米,并出现在ppm范围内。颗粒表征的挑战来自于精确确定纳米级颗粒尺寸,同时还识别出相对较少的微米级聚集体。CPS纳米粒度分析仪表征磨料颗粒粒度的有力工具。它可以分析任何粒度分布介于0.005和75微米的颗粒,提供比其他粒度分析方法好2到10倍的分辨率。较小峰值宽度可小至峰值直径的2%,粒径差别在大于3%的窄峰可以被完全分辨出来。驰光机电提供周到的解决方案,满足客户不同的服务需要。贵州病毒颗粒分析仪厂家
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CPS纳米粒度分析仪操作权限和文件存取安全设置;屏显离心转速控制;高级数据分析功能,包括噪声过滤和分辨率加强。样品应用:地质学,土壤、粘土、沙、高岭土;环境;制药/生化;化学,杀虫剂、分散剂、催化剂、树脂、乳液、防腐剂、颜料、涂料、;陶瓷和金属,铝、硅、磁粉、钨、烧结制品、不锈钢、钴;能源,煤、燃料、浆液、页岩油乳剂;粉煤灰;食品;重工业,聚合物、油滴、磨损颗粒、白垩、填料、调色剂、纸浆/纸、PVC、水泥;生命科学。贵州病毒颗粒分析仪厂家
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