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实验室分析仪基本参数
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而化学机械抛光(Chemical mechanical polishing,CMP)是集成电路芯片的一个关键制程,国内抛光所用关键材料CMP抛光垫,几乎全部依赖进口。CMP典型的抛光浆料都是纳米级发烟硅石(5Vol%,170-230nm)、高纯硅胶(9Vol%,6-80nm)、氧化铈(6Vol%,200-240nm)或氧化铝颗粒,它们的粒度或粒度分布必须小心地进行控制以免在抛光面上产生刮痕。CMP浆料的分散稳定性和保存期也是必须被认真考虑的重要环节。这种纳米浆料的使用浓度一般在(5-30W%),容易聚集。随着贮存时间延长,它的粒度可能增大从而导致损害的产生。山东驰光机电科技有限公司始终以适应和促进工业发展为宗旨。海南高灵敏度纳米粒度分析仪厂家

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提供数量、面积和体积等指标的平率分布图和表、累计分布图和表格粒度和粒型参数分布的结果;能够自动产生实验结果world报告。激光和视频分析产生的信息,很容易通过直观的数据报表软件得到。测量结果可以各种表格和图显示出来,这些表格和图可以由用户选择,以便正确显示需要的信息。通过数据挖掘技术,很容易实现数据比较和分析,允许对覆盖图和比较表进行编辑。轻点一下鼠标,就能生成Word格式的样品分析报告,该文件包括样品制备、粒径和粒形结果,还带有图像或视频信息。江苏激光粒度分析仪驰光机电周边生态环境状况好。

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应用实例:测量高纯氧化铝粉。一般来说,含量大于99%的氧化铝称为高纯氧化铝,其特性有耐化学腐蚀、耐高温(正常使用在1600℃,短期1800℃)、耐骤冷骤热、密度高等。99.995%高纯氧化铝粉主要用于LED人造蓝宝石晶体、高级陶瓷、PDP荧光粉及其他高性能材料;99.99%高纯氧化铝粉用于高压钠灯、新型发光材料、特殊陶瓷、高级涂层、三基色、催化剂及其他高性能材料。粒度是高纯氧化铝粉产品的重要指标,CPS纳米粒度分析仪能给您带来确切稳定的测量结果。使用CPS分析仪平行测定3次高纯氧化铝粉得到的叠加图。

使用CPS分析仪平行测定3次高纯氧化铝粉得到的叠加图,表明仪器的重复性较好,样品的粒径为0.586微米。分析氧化铝粉末时,为防止样品发生凝聚,需要添加入少量的乙酸。氧化锌ZnO粉末:氧化锌俗称锌白,是锌的一种氧化物。氧化锌是一种常用的化学添加剂,大量地应用于塑料、硅酸盐制品、合成橡胶、润滑油、油漆涂料、药膏、粘合剂、食品、电池、阻燃剂等产品的制作中。氧化锌的能带隙和激子束缚能较大,透明度高,有优良的常温发光性能,在半导体领域的液晶显示器、薄膜晶体管、发光二极管等产品中均有应用。山东驰光机电科技有限公司累积点滴改进,迈向优良品质!

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为了提高粒径的测量精度,需要较高的圆盘转速,目前市面上常见的运行速度较高在15000RPM,而国内在1500RPM,无法满足CPM化学机械抛光的需求。CPS-24000纳米粒度仪的最高转速为24000转,测试范围在5nm-75um,每次加样只需要0.1ml,降低样液的测试成本,可连续测量多达40个样品。CPS纳米粒度分析仪的使用方法已经列入国标,包括《金属粉末粒度分布的测量-重力沉淀光透法》、《煤矿粉尘粒度分布测定方法》、《橡胶配合剂-炭黑-聚集体尺寸的测定-使用光跟踪盘式离心沉淀仪法》等。驰光机电科技有限公司不断从事技术革新,改进生产工艺,提高技术水平。内蒙古激光粒度粒形分析仪哪家好

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仪器的主要参数为:测量范围:0.005-75μm,光源:405nmLED,旋转速度可选:12.000RPM、18.000RPM、24.000RPM,标准分析圆盘:CR-39聚合物(耐有机溶剂和水溶液),可选配:低密度样品分析扩展、变速圆盘;自动密度梯度液生成器(型号AG300);自动进样器(型号AS200);标定用标准颗粒。激光粒度仪根据光学衍射和散射的原理,从激光器发出的激光束经显微物镜聚集,滤波和准直后,变成直径约10mm的平行光束,该光束照射到待测的颗粒上,就发生了散射,散射光经傅立叶透镜后,照射到光电探测器上的任一点都对应于某一确定的散射角。海南高灵敏度纳米粒度分析仪厂家

山东驰光机电科技有限公司是一家机电科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务;机电设备、仪器仪表设计、生产、销售;阀门、换热器设备销售。公司生产销售分析仪表,引进德国技术和零配件完全原装进口,高标准生产。产品为浊度分析仪, 色度分析仪,浓度分析仪,水中油分析仪,油中水分析仪,微量水分析仪,适用于压力比较高 325bar,温度比较高 240℃的场合。的公司,致力于发展为创新务实、诚实可信的企业。公司自创立以来,投身于分析仪,在线监测,在线分析,流量计,是仪器仪表的主力军。驰光科技供应始终以本分踏实的精神和必胜的信念,影响并带动团队取得成功。驰光科技供应创始人祁俊,始终关注客户,创新科技,竭诚为客户提供良好的服务。

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CMP(化学机械抛光)工艺中磨料颗粒的高精度粒径表征随着半导体工业飞速发展,电子器件尺寸缩小,要求晶片表面平整度达到纳米级。CMP工艺作为芯片制造业不可或缺的一个部分,其对于磨料的颗粒粒度表征要求十分重要。CMP过程中使用的磨料颗粒典型尺寸范围是10-200nm,其颗粒表征要求精确地确定纳米级颗粒的尺寸,因此高分辨率纳米粒度分析仪是磨料颗粒表征的完美解决方案。磨料对CMP工艺起着至关重要的作用!欢迎选用CPS纳米粒度分析仪为您完美解决磨料颗粒问题!驰光产品适用范围广,产品规格齐全,欢迎咨询。江苏粒度分析仪哪家好UHR型可达1%,良好性能:CPS高精度纳米粒度分析仪能够提供高分辨率准确的分析结果...

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