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聚焦离子束（FIB）显微镜

随着纳米科技的发展，纳米尺度制造业发展迅速，而纳米加工就是纳米制造业的重要部分，纳米加工的代表性方法就是聚焦离子束。近年来发展起来的聚焦离子束（FIB）技术利用聚焦离子束对材料进行纳米加工，配合扫描电镜（SEM）等高倍数电子显微镜实时观察，成为了纳米级分析、制造的主要方法。目前已广泛应用于半导体集成电路修改、切割和故障分析等。

技术特征

1、比较高束流可以达到100nA,且加工性能优异。可以实现快速切割和纳米加工。

2、最高分辨率小于3nm，可以实现精细加工，并显示优异的FIB成像质量。

3、电压范围在500V-30KV可调，可以实现精细抛光，降低样品表面非晶层厚度。

4、离子源比较稳定，使用寿命长。行业内**长离子源寿命1500小时（3000uAh），72小时束流变化在5%以内。5、与SEM镜筒完美配合，可以实现FIB加工过程中可以利用SEM进行实时观察。 显微镜系统维护保养；视频显微镜分类

扫描探针显微镜的特点：

扫描探针显微镜是除了场离子显微镜和高分辨率透射电子显微镜之后的第三种以原子尺度观察物质结构的显微镜。以扫描隧道显微镜(STM)为例，其横向分辨率为0.1~0.2nm，纵向深度分辨率则为0.01nm，这样的分辨率可以清楚地观测到分布在样品表面的单个原子或分子。同时，扫描探针显微镜还可以在空气，其他气体或液体环境下进行观察研究。扫描探针显微镜拥有原子分辨、原子搬运、纳米微加工等特点，但是由于细部各种扫描显微镜的工作原理不同，它们得到的结果所反映的样品表面信息是很不同的。扫描隧道显微镜测量的是样品表面的电子台分布信息，具有原子级别的分辨率但仍得不到样品的真结构。而原子显微镜探测的是原子之间的相互作用信息，因此可以得到样品表面原子分布的排列信息即样品的真实结构。但另一方面，原子力显微镜测不到可以和理论比较的电子态信息，因此二者各有短长。 成都显微镜技术改造显微镜的使用方法及步骤；

显微镜使用注意事项：

▪显微镜样本一定要保持干净，如有盖片样本，一定要干净干燥，以免样本上的试剂污染物镜。

▪不要用手直接触摸光学部件的表面（如物镜，荧光滤块，目镜等）。

▪手动显微镜换物镜时，不要抓着物镜转，要转动物镜转盘。▪荧光光源金属卤化物灯使用时注意开关间隔少30分钟。

▪样本用油镜观察后，如还需用空气镜观察，要把样本上的油擦干净再观察，以免样本上的油污染空气镜。▪油镜观察时，请使用与显微镜配套的专业镜油，不要使用其他介质（香柏油等），使用完显微镜后，及时擦掉物镜上的镜油，比较好将其他物镜也清洁一遍。清洁液以无水乙醇为主。

▪调焦时，为避免镜头撞到样本，先将物镜调到离样本近端，然后在镜下向离物镜远端调焦到样本清晰。▪显微镜使用过程中，镜体、灯箱及电源等位置应无遮挡或覆盖，以免影响散热从而损耗显微镜寿命。

▪显微镜使用完后，等灯箱部分冷却后，再盖上防尘罩。

▪显微镜包含很多光学部件，避免显微镜碰撞，以保护光学系统。

▪显微镜属精密仪器，如需搬动，拆修，请联系蔡司专业人员。

激光共聚焦显微镜不仅可以改善有效信号，而且可以降低噪声信号并获得高质量的荧光图像。基于共焦原理的小测量精度对正确读取反射光的峰值的能力有很大影响。共焦光学系统有许多结构方法。在几种形状测量激光显微镜系统中使用的“针（zhen）孔共聚焦模式”。针（zhen）孔共聚焦法在光接收元件之前设计一个针（zhen）孔。针（zhen）孔的直径只有几十微米，当反射光失去聚焦时，其作用是阻挡反射光。通常，光学系统和激光共焦光学系统的反射光进入光接收元件。在“非聚合”的情况下，光学系统的反射光(聚焦模糊光)通常进入光接收元件。并且激光共聚焦光学系统的反射光(聚焦模糊光)通过针（zhen）孔被切断。也就是说，只有在聚焦之后，反射光才能进入光接收元件，这是形成共焦光学系统的基础。显微镜的几种观察方法；

    显微镜的观察方式，你知道几种？明场成像是常见的显微镜观察方式，也是观察生物样品和材料样品常用的观察方式。观察不透明的材料样品，反射光明场是使用较多的观察方式。光源直接照射到样品表面，表面的结构对照射光有不同程度的反射和吸收，图像的亮暗就反映样品表面的粗糙度和吸光情况。暗场成像与明场成像相对应，顾名思义，人不会直接观察到照明光线，而是光线斜射到标本的表面，根据丁道尔(Tyndall)现象，微粒对斜射光进行反射或衍射，增大了人眼可见性，我们才能够观察到极其微小的物体。相差也是一种很常见的观察方式，用来进行活细胞成像。由于细胞在明场下轮廓不清，虽然可以观察到，但其边界或内部结构无法分辨清楚。相差利用光程差（相位）这种人眼无法区分的技巧，光通过不同厚度标本时的光程差转变为人眼可以观察到的明暗变化，从而对标本的结构有了区分。体视显微镜和视频显微镜。三丰显微镜种类

显微镜使用注意事项；视频显微镜分类

显微镜放置和使用环境的维护：

▪防潮：当空气太潮湿时，光学镜片容易生霉，起雾；机械零件受潮后，容易生锈。平时显微镜室应保证65%以下的湿度，潮湿地区应在室内配置除湿机。

▪控温：为避免热胀冷缩引起镜片开胶与脱落，显微镜室室温建议维持在20-24℃。

▪防尘：光学元件表面落入灰尘，不仅影响光线通过，而且经光学系统放大后，会生成很大的污斑，影响观察。灰尘、砂粒落入机械部分，还会增加磨损，危害同样很大。故显微镜室应该保持干净，显微镜不用时应用防尘罩罩住以防止落灰。

▪防腐蚀：显微镜不能和具有腐蚀性和强挥发性的化学试剂放在一起，如硫酸、盐酸、强碱等。

▪防震：显微镜的光学系统和机械系统都是经过精密校正的，在使用及保管期间要防震，同时也要注意避免阳光直射，避免空调直吹显微镜，以保证它固有的高性能。

▪稳压：显微镜室供电电压波动不应超过正常电压的±10%，电压不稳的地区应加装稳压电源，保护显微镜系统不受损害。 视频显微镜分类

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